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磁控溅射

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8、磁控溅射镀膜技术1概述2溅射镀膜的基本原理3磁控溅射目录CONTENT3一概述1,1,定义定义溅射镀膜是利用气体放电产生的正离子在电场作用下高速轰击阴极靶,使靶材中的原子或分子逸出而淀积到被镀衬底或工件的表面,形成所需要的薄膜,2,2,特。

9、1真空镀膜技术,磁控溅射2009,11,252主要内容真空镀膜系统蒸发镀膜技术,磁控,溅射镀膜技术重点掌握镀膜原理3镀膜技术溶液镀膜技术溶液镀膜技术真空镀膜技术真空镀膜技术蒸发镀膜蒸发镀膜溅射镀膜溅射镀膜化学反应沉积Sol,Gel技术阳极氧。

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