半导体器件物理-双极结型晶体管-课件.ppt
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- 半导体器件 物理 双极结型 晶体管 课件
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1、第三章第三章双极结型晶体管双极结型晶体管1ppt课件第三章第三章双极结型晶体管双极结型晶体管 发展历史发展历史:1947.12.231947.12.23日第一只点接触晶体管诞生日第一只点接触晶体管诞生-Bell Lab.(BardeenBell Lab.(Bardeen、ShockleyShockley、Brattain)Brattain)19491949年提出年提出PNPN结和双极结型晶体管理论结和双极结型晶体管理论-Bell Lab.(Shockley)Bell Lab.(Shockley)19511951年制造出第一只锗结型晶体管年制造出第一只锗结型晶体管-Bell Lab.(Shock
2、ley)Bell Lab.(Shockley)1951956 6年制造出第一只硅结型晶体管年制造出第一只硅结型晶体管-美得洲仪器公司(美得洲仪器公司(TITI)19561956年年BardeenBardeen、ShockleyShockley、BrattainBrattain获诺贝尔奖获诺贝尔奖19561956年中国制造出第一只锗结型晶体管年中国制造出第一只锗结型晶体管-(吉林大学(吉林大学 高鼎三)高鼎三)19701970年硅平面工艺成熟,双极结型晶体管大批量生产年硅平面工艺成熟,双极结型晶体管大批量生产2ppt课件3.13.1双极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构3ppt课件晶体管的种类
3、很多,按使用的要求,一般分为晶体管的种类很多,按使用的要求,一般分为低频管低频管和和高高频管频管,小功率管小功率管和和大功率管大功率管,高反压管高反压管和和开关管开关管等等。等等。但从基本结构来看,它们都由两个十分靠近的,分别但从基本结构来看,它们都由两个十分靠近的,分别称为发射结和集电结的称为发射结和集电结的P-NP-N结组成。结组成。两个两个P-NP-N结将晶体管划分为三个区:发射区、基区和结将晶体管划分为三个区:发射区、基区和集电区。由三个区引出的电极分别称为发射极、基极和集集电区。由三个区引出的电极分别称为发射极、基极和集电极,用符号电极,用符号E E、B B、C C(e e、b b、
4、c c)表示。)表示。晶体管的基本形式可分为晶体管的基本形式可分为PNPPNP型和型和NPNNPN型两种。型两种。4ppt课件3.13.1双极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构 E E C C 发射区 集电区 基区 N N p(a)C B 发射区 集电区 基区 p p N(c)B C(b)B E(d)B E 图 3-2(a)理想的一维NPN双极结晶体管,(b)图(a)的电路符号(c)理想的一维PNP双极结晶体管,(d)图(c)的电路符号 5ppt课件 合金管是早期发展起来的晶体管。其结构是在合金管是早期发展起来的晶体管。其结构是在N型型锗片上,一边放受主杂质铟镓球,另一边放铟球,加热锗片上,
5、一边放受主杂质铟镓球,另一边放铟球,加热形成液态合金后,再慢慢冷却。冷却时,锗在铟中的溶形成液态合金后,再慢慢冷却。冷却时,锗在铟中的溶解度降低,析出的锗将在晶片上再结晶。再结晶区中含解度降低,析出的锗将在晶片上再结晶。再结晶区中含大量的铟镓而形成大量的铟镓而形成P型半导体,从而形成型半导体,从而形成PNP结构,如结构,如图所示。图中图所示。图中Wb为基区宽度,为基区宽度,Xje和和Xjc分别为发射结和分别为发射结和集电结的结深。集电结的结深。合金结的杂质分布特点是:三个区的杂质分布近似合金结的杂质分布特点是:三个区的杂质分布近似为均匀分布,基区的杂质浓度最低,且两个为均匀分布,基区的杂质浓度
6、最低,且两个P-N结都是结都是突变结。突变结。合金结的主要缺点是基区较宽,一般只能做到合金结的主要缺点是基区较宽,一般只能做到10微微米左右。因此频率特性较差,只能用于低频区。米左右。因此频率特性较差,只能用于低频区。6ppt课件7ppt课件8ppt课件9ppt课件 平面晶体管的发平面晶体管的发射区和基区是用杂质射区和基区是用杂质扩散的方法制造得到扩散的方法制造得到的,所以在平面管的的,所以在平面管的三层结构即三个区域三层结构即三个区域的杂质分布是不均匀的杂质分布是不均匀的。的。其杂质分布可根其杂质分布可根据扩散工艺推算出来,据扩散工艺推算出来,如图所示。如图所示。10ppt课件3.13.1双
7、极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构芯片是通过以下步骤制造出来的芯片是通过以下步骤制造出来的1)衬底制备衬底制备 衬底为低阻衬底为低阻N型硅,电阻率在型硅,电阻率在 左右,沿(左右,沿(111)面切成厚约)面切成厚约 的圆片,研磨抛光到表面光亮如镜。的圆片,研磨抛光到表面光亮如镜。2)外延外延 外延层为外延层为N N型,按电参数要求确定其电阻率及厚度。型,按电参数要求确定其电阻率及厚度。3)一次氧化一次氧化 高温生长的氧化层用来阻挡硼、磷等杂质向硅中扩散,同时也起表面钝高温生长的氧化层用来阻挡硼、磷等杂质向硅中扩散,同时也起表面钝化作用。化作用。4)光刻硼扩散窗口光刻硼扩散窗口 cm001.
8、0m40011ppt课件3.13.1双极结型晶体管的结构双极结型晶体管的结构5)硼扩散和二次氧化硼扩散和二次氧化 硼扩散后在外延层上形成硼扩散后在外延层上形成P型区,热生长的氧化层用来阻挡磷向硅中型区,热生长的氧化层用来阻挡磷向硅中扩散,并起钝化作用。扩散,并起钝化作用。6)光刻磷扩散窗口光刻磷扩散窗口 7)磷扩散和三次氧化磷扩散和三次氧化 磷扩散后在磷扩散后在P P型区磷杂质补偿硼而形成型区磷杂质补偿硼而形成N N+区,热氧化层用作金属与硅区,热氧化层用作金属与硅片间电绝缘介质。片间电绝缘介质。8)光刻发射极和基极接触孔光刻发射极和基极接触孔9)蒸发铝蒸发铝 10)在铝上光刻出电极图形在铝上
9、光刻出电极图形 12ppt课件 晶体管的基区杂质分布有两种形式:晶体管的基区杂质分布有两种形式:均匀分布(如合金管),称为均匀基区晶体管。均均匀分布(如合金管),称为均匀基区晶体管。均匀基区晶体管中,载流子在基区内的传输主要靠扩散匀基区晶体管中,载流子在基区内的传输主要靠扩散进行,故又称为扩散型晶体管。进行,故又称为扩散型晶体管。基区杂质是缓变的(如平面管),称为缓变基区晶基区杂质是缓变的(如平面管),称为缓变基区晶体管。这类晶体管的基区存在自建电场,载流子在基体管。这类晶体管的基区存在自建电场,载流子在基区内除了扩散运动外,还存在漂移运动,而且往往以区内除了扩散运动外,还存在漂移运动,而且往
10、往以漂移运动为主。所以又称为漂移型晶体管。漂移运动为主。所以又称为漂移型晶体管。13ppt课件3.3.2 2基本工作原理基本工作原理14ppt课件3.3.2 2基本工作原理基本工作原理 双极晶体管有四种工作模式,相应地称为四个工作区。令,双极晶体管有四种工作模式,相应地称为四个工作区。令,分别为基极分别为基极对发射极和基对发射极和基 极对集电极的电压。则四种工作模式是:极对集电极的电压。则四种工作模式是:EBBEEVVVVCBBCCVVVV(1 1)正向有源模式:正向有源模式:0 0,0 0;(2 2)反向有源模式:反向有源模式:0 0,0 0;(3 3)饱和模式:饱和模式:0 0,0 0;(
11、4 4)截止模式:截止模式:0 0,0 0。EVCVEVEVEVCVCVCV15ppt课件工作模式和少子分布工作模式和少子分布(1)(1)正向有源工作模式:正向有源工作模式:0,0 基区少子满足的边界条件为 ,(2)(2)反向有源工作模式:反向有源工作模式:0 相应的边界条件为:,(3)(3)饱和工作模式:饱和工作模式:0 0,0 0 相应的边界条件为:,(4)截止工作模式截止工作模式:0 0,0 0 相应的边界条件为:前面指出,双极晶体管有四种工作模式,取决于发射结和集电结的偏置状况。EVCV TEVVppenn00 0BpxnEVCV 00 pnTCVVpBpenxn0EVCV TEVVp
12、penn00 TCVVpBpenxn0EVCV 00Bppxnn16ppt课件NPN晶体管作为放大应用时,少数载流子浓度分布示意图晶体管作为放大应用时,少数载流子浓度分布示意图17ppt课件 发射结正偏发射结正偏,发射区将向基区注入非平衡少子。,发射区将向基区注入非平衡少子。注入的少子在基区边界积累,并向基区体内扩散。边注入的少子在基区边界积累,并向基区体内扩散。边扩散,边复合,最后形成一稳定分布,记作扩散,边复合,最后形成一稳定分布,记作nB(x)。同。同样,基区也向发射区注入空穴,并形成一定的分布,样,基区也向发射区注入空穴,并形成一定的分布,记作记作pE(x)。集电结反偏集电结反偏,集电
13、结势垒区对载流子起抽取作用。,集电结势垒区对载流子起抽取作用。当反向偏压足够高时,在基区一边,凡是能够扩散到当反向偏压足够高时,在基区一边,凡是能够扩散到集电结势垒区集电结势垒区XmC的电子,都被势垒区电场拉向集电的电子,都被势垒区电场拉向集电区。因此,势垒区边界区。因此,势垒区边界X3处少子浓度下降为零;同样,处少子浓度下降为零;同样,在集电区一边,凡是能够扩散到在集电区一边,凡是能够扩散到XmC的空穴,也被电的空穴,也被电场拉向基区,在场拉向基区,在X4处少子浓度也下降为零,其少子浓处少子浓度也下降为零,其少子浓度分布为度分布为pC(x)。18ppt课件3.43.4爱拜耳斯爱拜耳斯-莫尔方
14、程莫尔方程四种工作模式及相应的少子分布四种工作模式及相应的少子分布 此外此外,0EEEpxpTEVVEEEePWP0 0CCpp0正向有源饱 和截 止反向有源图图3-14 晶体管四种不同工作模式对应的少数载流子分布晶体管四种不同工作模式对应的少数载流子分布/()0CTVVCCCP xP e19ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 共基极连接晶体管的放大作用共基极连接晶体管的放大作用 晶体管共基极放大电路图3-6(a)NPN 20ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 共基极连接晶体管的放大作用共基极连接晶体管的放大作用 BEqV BCqV E B C(b)图图3-6 3-6(
15、b b)NPNNPN晶体管共基极能带图晶体管共基极能带图 当晶体管作为放大运用时当晶体管作为放大运用时发射结加正向偏压发射结加正向偏压VE集电结加反向偏压集电结加反向偏压VC21ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 电流分量电流分量 22ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 电流分量电流分量 是从发射区注入到基区中的电子流。是从发射区注入到基区中的电子流。是到达集电结的电子流。是到达集电结的电子流。是基区注入电子通过基区时复合所引起的复合电流是基区注入电子通过基区时复合所引起的复合电流是从基区注入到发射区的空穴电流是从基区注入到发射区的空穴电流是发射结空间电荷区内的复合电流
16、。是发射结空间电荷区内的复合电流。是集电结反向电流,它包括集电结反向饱和电流和集电结空间电荷区是集电结反向电流,它包括集电结反向饱和电流和集电结空间电荷区产生电流产生电流。nEInCInCnEIIpEIrgI0CI23ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 电流分量电流分量 rgpEnEEIIII0CnCnErgpEBIIIIII0CnCCIII0BCEIII(3-1)(3-2)(3-3)(3-4)24ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 电流增益 为描述晶体管的增益特性引进以下物理量 发射极注射效率(3-5)(3-7)基区输运因子 共基极直流电流增益 nEnEEnEpErg
17、IIrIIIITnCTnEIIEccIII0(3-6)25ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 电流增益 显然 (3-8)(3-10)利用(3-3)式,(3-7)式可以改写成 考虑到集电结正反两种偏压条件 的完全表达式为 TrgpEnEnCIIII0CECIII(3-9)CI01CTVVCECIIIe 26ppt课件减小基区体内复合电流是提高减小基区体内复合电流是提高 T T的有效途径,主要措的有效途径,主要措施是减薄基区宽度施是减薄基区宽度WWB B,使基区宽度远小于少子在基区,使基区宽度远小于少子在基区的扩散长度的扩散长度L LnBnB,即,即WWB B远小于远小于L LnBnB
18、。所以,在晶体管生产中,必须严格控制基区宽度,所以,在晶体管生产中,必须严格控制基区宽度,从而得到合适的电流放大系数。若基区太宽,甚至比从而得到合适的电流放大系数。若基区太宽,甚至比基区少子扩散长度大得多,则晶体管相当于两个背靠基区少子扩散长度大得多,则晶体管相当于两个背靠背的二极管。发射结相当于一只正向偏压二极管,集背的二极管。发射结相当于一只正向偏压二极管,集电结相当于一只反向偏压二极管,互不相干。这样,电结相当于一只反向偏压二极管,互不相干。这样,晶体管就失去放大电流、电压的能力。晶体管就失去放大电流、电压的能力。27ppt课件3.23.2基本工作原理基本工作原理 式中定义式中定义 共发
19、射极接法共发射极接法 0CBCCIIII0011CEBFECBCIIhIII1FEh100CCEII28ppt课件晶体管的放大作用晶体管的放大作用 晶体管在共射极运用时,晶体管在共射极运用时,IC=hFEIB。由于。由于h hFEFE远大于远大于1,输入端电流,输入端电流IB的微小变化,将引的微小变化,将引起输出端电流起输出端电流IC较大的变化,因此具有放大电较大的变化,因此具有放大电流的能力。流的能力。在共基极运用时,在共基极运用时,IC=IE。由于。由于接近于接近于1,当输入端电流当输入端电流IE变化变化IE时,引起输出端电流时,引起输出端电流IC的变化量的变化量IC小于等于小于等于IE。
20、所以起不到电。所以起不到电流放大作用。但是可以进行电压和功率的放大。流放大作用。但是可以进行电压和功率的放大。29ppt课件晶体管具有放大能力,必须具有下面条件晶体管具有放大能力,必须具有下面条件(1)发射区杂质浓度比基区杂质浓度高得多,)发射区杂质浓度比基区杂质浓度高得多,即即NE远大于远大于NB,以保证发射效率,以保证发射效率1;(2)基区宽度)基区宽度WB远小于远小于LnB,保证基区输运系数保证基区输运系数T1;(3)发射结必须正偏,使)发射结必须正偏,使re很小;很小;集电结反偏,使集电结反偏,使rc很大,很大,rc远大于远大于re。30ppt课件晶体管的特性曲线晶体管的特性曲线 晶体
21、管的特性曲线形象地表示出晶体管晶体管的特性曲线形象地表示出晶体管各电极电流与电压间的关系,反映晶体管内各电极电流与电压间的关系,反映晶体管内部所发生的物理过程,以及晶体管各直流参部所发生的物理过程,以及晶体管各直流参数的优劣。数的优劣。所以,在生产过程中常用特性曲线来判所以,在生产过程中常用特性曲线来判断晶体管的质量好坏。断晶体管的质量好坏。晶体管的接法不同,其特性曲线也各不晶体管的接法不同,其特性曲线也各不相同。相同。31ppt课件共基极输入特性曲线共基极输入特性曲线 输出电压输出电压VCB一一定时,输入电流与定时,输入电流与输入电压的关系曲输入电压的关系曲线,即线,即IEVBE关系关系曲线
22、曲线32ppt课件 由于发射结正向偏置,所以,由于发射结正向偏置,所以,IEVBE输入特性输入特性实际上就是正向实际上就是正向P-N结的特性,因而结的特性,因而IE随随VBE指数增大。指数增大。但它与单独但它与单独P-N结间存在差别,这是由于集电结结间存在差别,这是由于集电结反向偏置反向偏置VCB影响的结果。若影响的结果。若VCB增大,则集电结的增大,则集电结的势垒变宽,势垒区向基区扩展,这样就使有效基区宽势垒变宽,势垒区向基区扩展,这样就使有效基区宽度随度随VCB增加而减小(这种现象称为基区宽变效应)。增加而减小(这种现象称为基区宽变效应)。由于由于WB减小,使少子在基区的浓度梯度增加,从而
23、减小,使少子在基区的浓度梯度增加,从而引起发射区向基区注入的电子电流引起发射区向基区注入的电子电流InE增加,因而发增加,因而发射极电流射极电流IE就增大。就增大。所以,所以,输入特性曲线随输入特性曲线随VCB增大而左移增大而左移。33ppt课件共射极输入特性曲线共射极输入特性曲线 在输出电压在输出电压VCE一定时,输一定时,输入端电流入端电流IB与输与输入端电压入端电压VBE的的关系曲线,即关系曲线,即IBVBE曲线。曲线。34ppt课件 由于发射结正偏,如将输出端短路,由于发射结正偏,如将输出端短路,VCE=0时,就相当于将发射结与集电结两个正向时,就相当于将发射结与集电结两个正向P-N结
24、结并联。并联。所以,输入特性曲线与正向所以,输入特性曲线与正向P-N结伏安特性结伏安特性相似。相似。当集电结处于反偏时,由于基区宽度减小,当集电结处于反偏时,由于基区宽度减小,基区内载流子的复合损失减少,基区内载流子的复合损失减少,IB也就减少。所也就减少。所以,特性曲线随以,特性曲线随VCE的增加而右移。的增加而右移。而且,当而且,当VBE=0时,时,IpE和和IVR都等于零,故都等于零,故IB=-ICBO。因而在。因而在VBE=0处,特性曲线下移至处,特性曲线下移至ICBO。35ppt课件共基极输出特性曲线共基极输出特性曲线输出端电流随输出端电流随输出电压变化输出电压变化的关系曲线,的关系
25、曲线,即即ICVCB关系关系曲线。曲线。36ppt课件 当当IE=0,即发射结不发射载流子时,输出电流,即发射结不发射载流子时,输出电流IC=ICBO,这时的输出特性就是集电结的反向特性,这时的输出特性就是集电结的反向特性,即图中最靠近水平坐标而且基本上平行于坐标轴的即图中最靠近水平坐标而且基本上平行于坐标轴的曲线。曲线。当当IE0时,随着时,随着IE的增加,的增加,IC按按IE的规律增大。的规律增大。若若IE取不同的数值,就得到一组基本上互相平行的取不同的数值,就得到一组基本上互相平行的ICVCB关系曲线,这就是共基极输出特性曲线。关系曲线,这就是共基极输出特性曲线。37ppt课件共射极输出
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