气相法制备纳米粉体课件.ppt
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- 法制 纳米 课件
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1、8 化学气相沉积法化学气相沉积法 气相沉积制粉是通过某种形式气相沉积制粉是通过某种形式的能量输入,使气相物质发生气的能量输入,使气相物质发生气固相变或气相化学反应,生成金属固相变或气相化学反应,生成金属或陶瓷粉体。或陶瓷粉体。v 物理气相沉积法物理气相沉积法v 化学气相沉积法化学气相沉积法一、化学气相沉积的反应类型一、化学气相沉积的反应类型分解反应)()()(气固气nNmMaA8 化学气相沉积法化学气相沉积法)()()()(气固气气nNmMbBaA化合反应二、化学气相沉积制粉原理二、化学气相沉积制粉原理1.化学反应化学反应2.2.均相形核均相形核3.3.晶粒生长晶粒生长4.4.团团 聚聚制粉过
2、程包括四个步骤制粉过程包括四个步骤:0lnbBnNoPPRTGG化合反应化合反应由上式可知,化学气相沉积反应的控制因素包括:1)反应温度、2)气相反应物浓度、3)气相生成物浓度1.1.化学反应化学反应对一个确定的化学反应,判断其能否进行的热力学判据为:0lnaAnNoPPRTGG分解反应分解反应 气相反应发生后的瞬间,在反应区内形成了产物蒸气,气相反应发生后的瞬间,在反应区内形成了产物蒸气,当反应进行到一定程度时,产物蒸气浓度达到过饱和状态,当反应进行到一定程度时,产物蒸气浓度达到过饱和状态,这时产物晶核就会形成。由于体系中无晶种或晶核生成基这时产物晶核就会形成。由于体系中无晶种或晶核生成基底
3、,因此反应产物晶核的形成是个均匀形核过程。底,因此反应产物晶核的形成是个均匀形核过程。假设晶核为球形,半径为假设晶核为球形,半径为r r,则形成一个晶核,体系自由能,则形成一个晶核,体系自由能的变化为:的变化为:23434rGrGr2.2.均匀形核均匀形核为固气相的体积自由能差为晶核的表面能rG临界形核半径rr对应大小的晶核则被称为临界晶核Gr20ln2PPKTr202222ln316PPTKG晶核的表面能晶核中原子或分子的体积玻尔兹曼常数产物的气相分压产物的饱和蒸气压,过饱和程度。KPP0P/P0结论:温度越高,过饱和度越大,则临界晶核尺寸越小,晶核形成能越低,对晶体生成越有利。均相晶核形成
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