第2章-电阻应变式传感器讲义课件.pptx
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- 电阻 应变 传感器 讲义 课件
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1、1第一节第一节 电阻应变片的基本工作原理电阻应变片的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应、导电材料的应变电阻效应 2、电阻应变片的结构与类型、电阻应变片的结构与类型第二节第二节 电阻应变计的主要特性电阻应变计的主要特性 1、静态特性、静态特性 2、动态特性、动态特性 3、应变计主要特性的精度指标、应变计主要特性的精度指标第三节第三节 电阻应变计的温度效应及其补偿电阻应变计的温度效应及其补偿 1、温度效应及热输出、温度效应及热输出 2、温度补偿的方法、温度补偿的方法电阻应变电阻应变第第2章章 电阻应变式传感器电阻应变式传感器2电阻应变电阻应变第四节第四节 电阻应变计的选用电阻应变计的选用 1
2、、选择类型、选择类型 2、材料选择、材料选择 3、阻值选择、阻值选择 4、尺寸选择、尺寸选择 5、其它、其它第五节第五节 测量电路测量电路 1、直流电桥、直流电桥 2、交流电桥、交流电桥第六节第六节 电阻应变式传感器电阻应变式传感器 1、应变式力传感器、应变式力传感器 2、应变式压力传感器、应变式压力传感器3在传感器中,有一大类是在传感器中,有一大类是通过(材料的)电阻参数变化来实现通过(材料的)电阻参数变化来实现非电量电测非电量电测的目的。它们统称为的目的。它们统称为电阻式传感器电阻式传感器。第第2章章 电阻应变式传感器电阻应变式传感器电阻应变(计)式传感器电阻应变(计)式传感器其它电阻式传
3、感器本章不讨论其它电阻式传感器本章不讨论电位计式、应变计式、压阻式、光电式和热电阻式等。电位计式、应变计式、压阻式、光电式和热电阻式等。各种电阻材料,受被测量(如:位移、应变、压力、光、各种电阻材料,受被测量(如:位移、应变、压力、光、热等)的作用,将产生电阻参数的变化。热等)的作用,将产生电阻参数的变化。即将测量量转换成电阻参数。即将测量量转换成电阻参数。电阻式传感器的基本原理电阻式传感器的基本原理本章主要讨论:本章主要讨论:电阻式传感器有:电阻式传感器有:4第一节第一节 电阻应变计的基本工作原理电阻应变计的基本工作原理 1、导电材料的应变电阻效应、导电材料的应变电阻效应 (1)金属材料的应
4、变电阻效应)金属材料的应变电阻效应 (2)半导体材料的应变电阻效应)半导体材料的应变电阻效应 2、电阻应变片的结构与类型、电阻应变片的结构与类型 (1)应变片的结构)应变片的结构 (2)应变片的类型)应变片的类型5第一节第一节 电阻应变计的基本工作原理电阻应变计的基本工作原理1 1、导电材料的应变电阻效应、导电材料的应变电阻效应1856年,英国物理学家发现金属丝的电阻随它所受机械变形年,英国物理学家发现金属丝的电阻随它所受机械变形(拉伸或压缩)的大小发生变化,即金属丝电阻的应变效应。(拉伸或压缩)的大小发生变化,即金属丝电阻的应变效应。设:有一段长为设:有一段长为l,截面积为,截面积为A,电阻
5、率为,电阻率为的导体(如金属丝),的导体(如金属丝),它的电阻为:它的电阻为:式中:R 电阻()电阻率(mm2m-1)l 导体的长度(m)A 导体的截面积r2(m2)r 导体截面的半径(m)(式(式2-1)AlRl2r6当它受到轴向力当它受到轴向力F 拉伸(或压缩)时,其拉伸(或压缩)时,其A、l、均发生变化,导均发生变化,导体的电阻也随之发生变化。体的电阻也随之发生变化。AlRl2rl+dl2(r-dr)FF当它受到轴向力当它受到轴向力F 拉伸时拉伸时其其r 截面积半径变小截面积半径变小A 截面积变小截面积变小l 长长度变长度变长发生变化发生变化导体的电阻也随之发生变化导体的电阻也随之发生变
6、化7取一小段导体,当其受拉力取一小段导体,当其受拉力F作用时作用时长度长度 l 伸长伸长 dl截面积截面积 A 相应减少相应减少 dA电阻率电阻率 因金属晶格畸变的影响也将改变因金属晶格畸变的影响也将改变 d从而引起导体电阻改变从而引起导体电阻改变 dR(式(式2-2)dAldAAldlAdR2将将 (式(式2-1)微分可得:微分可得:AlR用用 R 除(式除(式2-2)左式)左式用用l/A 除(式除(式2-2)右式)右式得:得:(式(式2-3)dAdAldlRdRl2rl+dl2(r-dr)FF8式中:式中:dR/R 金属丝电阻的相对变化金属丝电阻的相对变化d/金属丝电阻率的相对变化金属丝电
7、阻率的相对变化dA/A 金属丝截面积的相对变化金属丝截面积的相对变化dl/l=x 金属丝长度的相对变化金属丝长度的相对变化 用用x 表示,称为金属丝长度方向的应变,简称轴向线应变表示,称为金属丝长度方向的应变,简称轴向线应变 常用单位常用单位(1=10-6 mm/mm)dr/r=y 金属丝截面积上半径的相对变化,金属丝截面积上半径的相对变化,用用y 表示,称为金属丝截面积上径向应变,简称径向应变表示,称为金属丝截面积上径向应变,简称径向应变因为因为A=r2,dA=2rdr(式(式2-4)yrdrAdA22dAdAldlRdRl2rl+dl2(r-dr)FF9由由材料力学材料力学知道,在金属丝弹
8、性范围内,沿其长度方向拉伸时,知道,在金属丝弹性范围内,沿其长度方向拉伸时,金属丝沿轴向伸长,沿径向缩短,反之亦然;轴向应变金属丝沿轴向伸长,沿径向缩短,反之亦然;轴向应变x 与径向应与径向应变变y 两者之间存在下列关系:两者之间存在下列关系:(式(式2-5)式中:式中:金属材料的金属材料的泊松系数泊松系数(由试验测取)(由试验测取)将(式将(式2-4)、(式)、(式2-5)代入(式)代入(式2-3),经整理得:),经整理得:(式(式2-6)xyddRdRxyx)21(2令令 x=dl/l 金属丝轴向应变金属丝轴向应变 y=dr/r 金属丝径向应变金属丝径向应变dAdAldlRdR金属丝的轴向
9、应变金属丝的轴向应变x 与径向应变与径向应变y 的关系(泊松系数)的关系(泊松系数)yrdrAdA22(式(式2-3)(式(式2-4)10对于金属导体或半导体,上式中应力作用下电阻率相对变化的应力对于金属导体或半导体,上式中应力作用下电阻率相对变化的应力效应是不一样的,现分别讨论如下:效应是不一样的,现分别讨论如下:勃底特兹明(勃底特兹明()通过试验研究发现,)通过试验研究发现,金属材料的电阻率金属材料的电阻率相对变化相对变化d/与其体积相对变化与其体积相对变化dV/V之间有如下关系:之间有如下关系:(式(式2-7)式中:C 金属材料的某一常数,由其材料和其加工工艺处理方式决定 如:康铜(铜镍
10、合金)C1 V 金属丝体积 dV/V 金属丝体积的相对变化dRdRx)21(VdVCd(1)金属材料的应变电阻效应)金属材料的应变电阻效应金属材料电阻率金属材料电阻率的相对变化的相对变化d/与应变与应变x 的关系的关系在(应力在(应力F)应变)应变作用下,金属导体和半导体电阻率相对变化作用下,金属导体和半导体电阻率相对变化d/11金属丝体积相对变化金属丝体积相对变化dV/V与轴向应变与轴向应变x 和径向应变和径向应变y 有下列的关有下列的关系:系:V=l AdV/V=dA/A+dl/l =2y+x =-2x+x =(1-2)xA=r2dA=2rdrdA/A=2dr/rdA/A=2yy=-xl2
11、r可见可见金属丝体积的相对变化金属丝体积的相对变化 dV/V 与轴向应变与轴向应变x 成正比关系成正比关系12金属丝电阻率相对变化金属丝电阻率相对变化d/与轴向应变与轴向应变x 有下列的关系:有下列的关系:dV/V=(1-2)xl2r可见可见金属丝电阻率的相对变化金属丝电阻率的相对变化 d/与轴向应变与轴向应变x 成正比关系成正比关系将上述结果代入将上述结果代入 (式(式2-7)得:)得:VdVCdd/=C dV/V =C(1-2)x13将上式代入(式将上式代入(式2-6)得)得金属材料在轴向应变金属材料在轴向应变x 的作用下电阻相对变化的作用下电阻相对变化dR/R为:为:(式(式2-8)式中
12、:式中:Km=(1+2)+C(1-2)金属材料的应变灵敏度系数(简称灵敏系数)金属材料的应变灵敏度系数(简称灵敏系数)xmxKCRdR)21()21(xCAdAldlCVdVCd)21()(上式表明:上式表明:在应力作用下,金属材料的在应力作用下,金属材料的电阻相对变化与其轴向应变成正比电阻相对变化与其轴向应变成正比。这就是金属材料的应变效应。这就是金属材料的应变效应。dRdRx)21(金属材料电阻率相对变化金属材料电阻率相对变化d/与轴向应变与轴向应变x 的关系为:的关系为:结论:结论:结论:结论:(式(式2-6)14半导体材料电阻率半导体材料电阻率相相对变化对变化d/与轴向应变与轴向应变x
13、 x 的关系的关系(式(式2-9)式中:半导体材料在受力方向的压阻系数 E 半导体材料的弹性模量N/m2(弹性模量定义见后页)xEd(2)半导体材料的应变电阻效应半导体材料的应变电阻效应半导体材料电阻率相对变化半导体材料电阻率相对变化d/与轴向应变与轴向应变x 之间有如下关系:之间有如下关系:史密斯(史密斯(C.S.Smith)等学者很早就发现,锗、硅等单晶)等学者很早就发现,锗、硅等单晶半导体半导体材料具有压阻效应材料具有压阻效应。15 弹性模量弹性模量 弹性模量的定义弹性模量的定义 弹性形变、塑性形变弹性形变、塑性形变在外力作用下,物体发生形状(大小)变化(应变),在外力作用下,物体发生形
14、状(大小)变化(应变),在除去作用在物体的外力时,在除去作用在物体的外力时,物体可以恢复原形的称为弹性形变。物体可以恢复原形的称为弹性形变。物体不能恢复原形的称为塑性形变物体不能恢复原形的称为塑性形变。单位弹性应变时所需的应力单位弹性应变时所需的应力(单位:N/m2)弹性模量反映物体抵抗弹性形变的能力弹性模量反映物体抵抗弹性形变的能力16将将(式式2-9)代入代入(式式2-6)得得半导体材料在轴向应变半导体材料在轴向应变x 作用下电阻相对变化作用下电阻相对变化dR/R为:为:(式(式2-10)式中:Ks=1+2+E 半导体材料的应变灵敏度系数xsxKERdR)21(上式表明:上式表明:在应力作
15、用下,半导体材料的在应力作用下,半导体材料的电阻相对变化与其轴向应变成正比电阻相对变化与其轴向应变成正比。这就是半导体材料的应变效应。这就是半导体材料的应变效应。结论:结论:xEddRdRx)21((式(式2-9)(式(式2-6)17对于金属材料,对于金属材料,K0=Km=(1+2)+C(1-2)。可见它由两部分组成:。可见它由两部分组成:前部分为受力后金属丝几何尺寸变化所致前部分为受力后金属丝几何尺寸变化所致 一般金属泊松系数一般金属泊松系数0.3,因此,因此(1+2)1.6 金属材料:金属材料:xmxKCRdR)21()21(综合(式综合(式2-8)、(式)、(式2-10)可得导电丝材料的
16、应变电阻效应为:)可得导电丝材料的应变电阻效应为:(式(式2-11)式中:K0 导电丝材料的应变灵敏度系数0KRdR 后部分为电阻率随应变而变的部分后部分为电阻率随应变而变的部分 如康铜,如康铜,C1,C(1-2)0.4此时此时K0=Km2.0显然,显然,金属丝材料的应变电阻效应以尺寸变化为主金属丝材料的应变电阻效应以尺寸变化为主。对于金属,对于金属,Km=1.84.8。金属丝的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化金属丝的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化量,其金属丝制成又细又长。量,其金属丝制成又细又长。18而且而且E(1+2),因此半导体丝材料的,因此半导体丝
17、材料的K0=KSE。显然,显然,半导体材料的应变电阻主要基于压阻效应半导体材料的应变电阻主要基于压阻效应。通常通常Ks=(5080)Km。对于半导体材料,对于半导体材料,K0=KS=(1+2)+E。它也由两部分组成:。它也由两部分组成:前部分为尺寸变化所致前部分为尺寸变化所致 半导体材料:半导体材料:xsxKERdR)21(综合(式综合(式2-8)、(式)、(式2-10)可得导电丝材料的应变电阻效应为:)可得导电丝材料的应变电阻效应为:(式(式2-11)式中:K0 导电丝材料的应变灵敏度系数0KRdR 后部分为半导体材料的压阻效应所引起后部分为半导体材料的压阻效应所引起结论:结论:半导体材料的
18、应变灵敏系数比金属材料的应变灵敏系数大半导体材料的应变灵敏系数比金属材料的应变灵敏系数大5080倍倍半导体的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化半导体的应变片在测取应变量的应用中,为了获得较大的电阻变化量,其半导体丝制成较粗较短。量,其半导体丝制成较粗较短。192、电阻应变片的结构与类型、电阻应变片的结构与类型(1)应变片的结构)应变片的结构金属丝电阻应变片结构金属丝电阻应变片结构电阻应变片结构繁多,形式各异,但其基本结构大体相同。见下图。电阻应变片结构繁多,形式各异,但其基本结构大体相同。见下图。盖片 敏感栅(金属丝):应变片是敏感栅(金属丝):应变片是应变应变-电阻转换的敏感
19、元件电阻转换的敏感元件。通常它是直径为。通常它是直径为0.0150.05mm的金属丝或金属箔腐蚀成栅状,其阻值一般为的金属丝或金属箔腐蚀成栅状,其阻值一般为100以上。以上。基底:为了保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置,通过粘合剂将其固定在基基底:为了保持敏感栅固定的形状、尺寸和位置,通过粘合剂将其固定在基底上。应变片工作时,基底起着把所测试应变准确传递给敏感栅的作用。底上。应变片工作时,基底起着把所测试应变准确传递给敏感栅的作用。引线:它起着敏感栅与测量电路之间的连接作用。可以用焊接的方法连接。引线:它起着敏感栅与测量电路之间的连接作用。可以用焊接的方法连接。盖片:覆盖在敏感栅上的保护层,起到
20、防潮、防尘、防蚀和防机械损伤的作用。盖片:覆盖在敏感栅上的保护层,起到防潮、防尘、防蚀和防机械损伤的作用。粘合剂:在制作应变片时,用粘合剂将盖片、敏感栅和基底牢固地粘合在一起。粘合剂:在制作应变片时,用粘合剂将盖片、敏感栅和基底牢固地粘合在一起。半导体半导体应变片结构应变片结构引线半导体应变片引线基底敏感栅金属丝20常用应变片的结构形式常用应变片的结构形式短接式应变片丝绕式应变片箔式应变片21应变片按敏感栅的材料可分为金属应变片和半导体应变片两大类,见下表:应变片按敏感栅的材料可分为金属应变片和半导体应变片两大类,见下表:(2)应变片的类型)应变片的类型大大 类类分类方法分类方法 应应 变变
21、片片 名名 称称金属金属应变片应变片敏感栅结构单轴应变片;多轴应变片基底材料胶基应变片;金属基应变片;浸胶基应变片;纸制应变片制栅工艺丝绕式应变片;短接式应变片;箔式应变片;薄膜式应变片使用温度低温应变片(-30以下);常温应变片(-3060);中温应变片(+60+350);高温应变片(+350以上)安装方式粘贴式应变片;焊接式应变片;喷涂式应变片;埋入式应变片用 途一般用途应变片;特殊用途应变片(水下、疲劳寿命、抗磁感应、裂缝扩展等)半导体半导体应变片应变片制造工艺体形半导体应变片;扩散硅型半导体应变片;薄膜型半导体应变片;N-P元件半导体型应变片22第二节第二节 电阻应变片的主要特性电阻应
22、变片的主要特性 1、静态特性、静态特性 (1)灵敏系数)灵敏系数 K (2)横向效应和横向效应系数)横向效应和横向效应系数 H (3)机械滞后)机械滞后 Zi (4)蠕变)蠕变和零漂和零漂P0 (5)应变极限)应变极限lim 2、动态特性、动态特性 (1)对正弦波的响应对正弦波的响应 (2)对阶跃应变的响应对阶跃应变的响应 (3)疲劳寿命疲劳寿命N 3、应变计主要特性的精度指标、应变计主要特性的精度指标23第二节第二节 电阻应变片的主要特性电阻应变片的主要特性1 1、静态特性、静态特性本节讨论应变片的特性,其特性是指用以表达应变片工作性能及本节讨论应变片的特性,其特性是指用以表达应变片工作性能
23、及其特性的参数或曲线。其特性的参数或曲线。静态特性是指应变片感受试件不随时间变化或应变缓慢的应变时静态特性是指应变片感受试件不随时间变化或应变缓慢的应变时的输出特性。的输出特性。表征应变片静态特性的主要参数有:表征应变片静态特性的主要参数有:灵敏系数(灵敏度指标)灵敏系数(灵敏度指标)横向效应和横向效应系数横向效应和横向效应系数H机械滞后(迟滞指标)机械滞后(迟滞指标)蠕变(稳定性指标)蠕变(稳定性指标)零漂零漂应变极限等应变极限等24具有初始电阻值具有初始电阻值R的应变片粘贴于试件表面时,试件受力引起的的应变片粘贴于试件表面时,试件受力引起的表面应变,将传递给应变片的敏感栅,使其产生电阻相对
24、变化表面应变,将传递给应变片的敏感栅,使其产生电阻相对变化R/R。实验证明,在一定的应变范围内,有下列关系:实验证明,在一定的应变范围内,有下列关系:(式(式2-12)式中:x 应变片轴向应变 K=R/(Rx)应变片的灵敏系数(应变片包括:应变栅、基底、粘合剂)它表示在被测试件上的应变片,在其轴向受到单向应力时引起的电阻相对变化(R/R),与此单向应力引起的试件表面轴向应变(x)之比。xKRR(1)灵敏系数)灵敏系数 K(标定灵敏系数)标定灵敏系数)25必须指出,应变片的灵敏系数必须指出,应变片的灵敏系数 K 并不等于其敏感栅(金属丝)的并不等于其敏感栅(金属丝)的应变丝灵敏系数应变丝灵敏系数
25、 K0(Km),一般情况下,),一般情况下,K K0。xKRR上述规定的标定条件是:上述规定的标定条件是:试件材料取泊松系数试件材料取泊松系数0=0.285 的钢的钢试件单向受力试件单向受力应变片轴向与主应力应变片轴向与主应力(应变)(应变)方向一致方向一致这是因为,在单向力产生双向应变的情况下,这是因为,在单向力产生双向应变的情况下,应变片的灵敏系数应变片的灵敏系数 K 除受到敏感栅结构形状、成型工艺、粘结剂和基底性能的影响除受到敏感栅结构形状、成型工艺、粘结剂和基底性能的影响外,尤其受到栅端圆弧部分横向效应的影响。外,尤其受到栅端圆弧部分横向效应的影响。应变片的灵敏系数应变片的灵敏系数 K
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