单晶硅介绍课件.pptx
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- 单晶硅 介绍 课件
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1、单晶硅太阳能电池2 单晶硅是一种比较活泼的非金属元素,是晶体材料的重要组成部分,处于新材料发展的前沿。其主要用途是用作半导体材料和利用太阳能光伏发电、供热等。由于太阳能具有清洁、环保、方便等诸多优势,近三十年来,太阳能利用技术在研究开发、商业化生产、市场开拓方面都获得了长足发展,成为世界快速、稳定发展的新兴产业之一。v单晶硅的基本知识单晶硅的基本知识单晶硅的应用 单晶硅在日常生活中是电子计算机、自动控制系统等现代科学技术中不可缺少的基本材料。电视、电脑、冰箱、电话、手表、汽车,处处都离不开单晶硅材料,单晶硅作为科技应用普及材料之一,已经渗透到人们生活中的各个角落。单晶硅在火星上是火星探测器中太
2、阳能转换器的制成材料。火星探测器在火星上的能量全部来自太阳光,探测器白天休息-利用太阳能电池板把光能转化为电能存储起来,晚上则进行科学研究活动。也就是说,只要有了单晶硅,在太阳光照到的地方,就有了能量来源。单晶硅在太空中是航天飞机、宇宙飞船、人造卫星必不可少的原材料。人类在征服宇宙的征途上,所取得的每一步进步,都有着单晶硅的身影。航天器材大部分的零部件都要以单晶硅为基础。离开单晶硅,卫星会没有能源,没有单晶硅,航天飞机和宇航员不会和地球取得联系,单晶硅作为人类科技进步的基石,为人类征服太空作出了不可磨灭的贡献。单晶硅在太阳能电池中的应用高纯的单晶硅是重要的半导体材料。在光伏技术和微小型半导体逆
3、变器技术飞速发展的今天,利用硅单晶所生产的太阳能电池可以直接把太阳能转化为光能,实现了迈向绿色能源革命的开始。3单晶硅的产业技术 单晶硅作为现代信息社会的关键性支撑材料,可以说是目前世界上最重要的单晶材料之一,国内对硅材料需求旺盛,年增长率为22%,但国内目前只能满足6英寸(150m m)以硅片需求量的30%,8英寸及其以上尺寸硅片100%依赖进口。从芯片尺寸上看,国内太阳能电池用硅片主要以6英寸为主;8英寸硅片用量次之;3英寸、4英寸、5英寸硅片用量则相对较少;而12英寸硅片目前还集中在半导体领域中,太阳能领域还没有应用。直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越低,但大尺寸晶
4、片对原材料和拉制技术的要求也越高。4目前生长单晶硅的工艺主要采用直拉法(CZ)、磁场直拉法(MCZ)、区熔法(F Z)以及双坩埚拉晶法,C Z、F Z和MCZ单晶各自适用于不同的电阻率范围的器件,而MC Z可完全代替C Z,可部分代替FZ。全球电子工业用CZ单晶硅约占单晶硅总用量的80%,F Z单晶硅约占15%,硅外延片(EPl)约占5%3。直拉法、区熔法用于生长单晶硅棒材,直拉法生长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池,晶体直径可控制在3 8英寸;区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系
5、列产品,晶体直径可控制在3 6英寸。单晶硅的产业市场 从市场布局来看,硅片市场的国际化和生产垄断化已经形成。20世纪90年代末,日本、德国和韩国(主要是日、德两国)控制的8大硅片公司销量占世界硅片销量的90%以上,其中,日本信越、德国瓦克、日本住友、美国M E M C公司和日本三菱材料公司,这5家公司2001年硅晶片的销售总额为42.73亿元,占全球销售额的79.1%,而其中的3家日本公司占据了全球市场份额的50.7%,表明日本在全球硅晶片行业中占据了主导地位。我国生产单晶硅所需要的多晶硅,90%尚需从国外进口;单晶硅产量虽然呈逐年稳步上升趋势,但跟国内巨大的市场需求相比,市场缺口仍然很大。5
6、目前,我国硅材料行业与世水平相比还存在相当大的差距约相当于国际上20世纪80年代中期的水平,大约落后25年左右。我国单晶硅生产厂发展的制约因素,主要是缺乏优质多晶硅材料、性能优良的大单晶炉和一些关键技术。在大直径单晶硅的生长及硅片加工方面,我国还有许多国际先进技术尚未掌握,如单晶硅制备中的控氧技术、大直径单晶硅线切割技术、硅边缘抛光技术、硅片吸除技术、硅片大生产的计算机系统管理技术等。单晶硅太阳能电池 单晶硅太阳能电池,是以高纯的单晶硅棒为原料的太阳能电池,是当前开发得最快的一种太阳能电池。它的构造和生产工艺已定型,产品已广泛用于空间和地面。为了降低生产成本,现在地面应用的太阳能电池等采用太阳
7、能级的单晶硅棒,材料性能指标有所放宽。有的也可使用半导体器件加工的头尾料和废次单晶硅材料,经过复拉制成太阳能电池专用的单晶硅棒。将单晶硅棒切成片,一般片厚约0.3毫米。硅片经过抛磨、清洗等工序,制成待加工的原料硅片。加工太阳能电池片,首先要在硅片上掺杂和扩散,一般掺杂物为微量的硼、磷、锑等。扩散是在石英管制成的高温扩散炉中进行。这样就硅片上形成PN结。然后采用丝网印刷法,精配好的银浆印在硅片上做成栅线,经过烧结,同时制成背电极,并在有栅线的面涂覆减反射源,以防大量的光子被光滑的硅片表面反射掉。因此,单晶硅太阳能电池的单体片就制成了。单体片经过抽查检验,即可按所需要的规格组装成太阳能电池组件(太
8、阳能电池板),用串联和并联的方法构成一定的输出电压和电流。最后用框架和材料进行封装。用户根据系统设计,可将太阳能电池组件组成各种大小不同的太阳能电池方阵,亦称太阳能电池阵列。目前单晶硅太阳能电池的光电转换效率为15左右,实验室成果也有20以上的。单晶硅太阳能电池制作工艺流程7用常规的硅片清洗方法清洗然后用酸(或碱)溶液将硅片表面切割损伤层除去3050um。用碱溶液对硅片进行各向异性腐蚀在硅片表面制备绒面。采用涂布源(或液态源,或固态氮化磷片状源)进行扩散,制成PN结,结深一般为0.30.5um。扩散时在硅片周边表面形成的扩散层,会使电池上下电极短路,用掩蔽湿法腐蚀或等离子干法腐蚀去除周边扩散层
9、常用湿法腐蚀或磨片法除去背面PN结。用真空蒸镀、化学镀镍或铝浆印刷烧结等工艺。先制作下电极,然后制作上电极。铝浆印刷是大量采用的工艺方法。为了减少入反射损失,要在硅片表面上覆盖一层减反射膜。制作减反射膜的材料有MgF2,SiO2,Al2O3,SiO,Si3N4,TiO2,Ta2O5等。工艺方法可用真空镀膜法、离子镀膜法,溅射法、印刷法、PECVD法或喷涂法等。将电池芯片烧结于镍或铜的底板上。按规定参数规范,测试分类。生产电池片的工艺 生产电池片的工艺比较复杂,一般要经过硅片检测、表面制绒、扩散制结、去磷硅玻璃、等离子刻蚀、镀减反射膜、丝网印刷、快速烧结和检测分装等主要步骤。下面介绍晶硅太阳能电
10、池片生产的一般工艺与设备。(一)硅片检测 硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,因此需要对来料硅片进行检测。该工序主要用来对硅片的一些技术参数进行在线测量,这些参数主要包括硅片表面不平整度、少子寿命、电阻率、P/N型和微裂纹等。该组设备分自动上下料、硅片传输、系统整合部分和四个检测模块。8(二)表面制绒 单晶硅绒面的制备是利用硅的各向异性腐蚀,在每平方厘米硅表面形成几百万个四面方锥体也即金字塔结构。由于入射光在表面的多次反射和折射,增加了光的吸收,提高了电池的短路电流和转换效率。硅的各向异性腐蚀液通常用热的碱性溶液,可用的碱有氢氧化钠,氢氧化钾、氢氧化锂
11、和乙二胺等。大多使用廉价的浓度约为1%的氢氧化钠稀溶液来制备绒面硅,腐蚀温度为70-85。(三)扩散制结 太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。9(四)去磷硅玻璃 该工艺用于太阳能电池片生产制造过程中,通过化学腐蚀法也即把硅片放在氢氟酸溶液中浸泡,使其产生化学反应生成可溶性的络和物六氟硅酸,以去除扩散制结后在硅片表面形成的一层磷硅玻璃。在扩散过程中,POCL3与O2反应生成P2O5淀积在硅片表面。P2O5与Si反应又生成SiO2和磷原子,这样就在硅片表面形成一层含有磷元素的SiO2,称之为磷硅玻璃
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