真空技术模板课件.pptx
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1、演讲人202X-11-11真空技术真空技术01中国科学院实验技术人中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材序员岗位培训系列教材序中国科学院实验技术人员岗位培训系列教材序02目录目录目录 03第一章真空技术入第一章真空技术入门门第一章真空技术入门1.5真空技术研究的内容E1.4真空区域的划分D1.1真空技术的发展历史A1.2真空技术与电子技术B1.3真空度的单位C1.6大气层与真空F第一章真空技术入门1.7真空技术的应用思考与练习04第二章真空技术的物理基第二章真空技术的物理基础础第二章真空技术的物理基础2.1气体分子运动论的基本知识2.3气体的道尔顿定律2.5平均自由程2.2气体的压强2.4麦克
2、斯韦速率分布律2.6分子与表面的碰撞频度和从表面的反射第二章真空技术的物理基础M.94275.CN2.8气体的非平衡过程输运现象022.11流导的计算052.7气体的电离012.10流导的概念042.9真空状态下的气体流动032.12物理吸附与化学吸附06第二章真空技术的物理基础2.13气体在固体中的溶解、扩散与渗透2.14小结思考与练习05第三章真空获得真空泵第三章真空获得真空泵第三章真空获得真空泵3.2真空泵的主要参数023.5油扩散泵053.1真空泵的分类013.4旋片机械真空泵(机械泵)043.3真空系统的抽气过程033.6涡轮分子泵063.7分子筛吸附泵01063.11吸气剂泵033
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