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1、第十三章 其它加工 第一节 化学加工第二节 等离子体加工 第三节 挤压珩磨第四节 水射流切割 第五节 磁性磨料研磨加工和磁性磨料电解研磨加工 第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术 第一节 化学加工化学加工：利用酸、碱、盐等化学溶液对金属产生化学反应，使金属腐蚀溶解，改变工件尺寸和形状(以至表面性能)的一种加工方法。成形加工：化学铣切(化学蚀刻)光化学腐蚀加工法表面加工：化学抛光 化学镀膜第一节 化学加工 一、化学铣切加工 二、光化学腐蚀加工三、化学抛光 四、化学镀膜 第一节 化学加工一、化学铣切加工 化学铣切加工的原理、特点 化学铣切工艺过程 化学铣切的应用范围 第一节 化学加工一、化学铣

2、切加工化学铣切加工的原理、特点化学铣切加工的原理：把工件非加工表面用耐腐蚀性涂层保护起来，需要加工的表面露 出来，浸入到化学溶液中进行腐蚀，使金属按特定的部位溶解去 除，达到加工目的。化学铣切的特点：优点：1)可加工任何金属材料 2)适于大面积加工，可同时加工多件。3)不会产生应力、裂纹、毛刺等缺陷，表面粗糙度可达Ra2.5 1.25m 4)加工操作技术比较简单。第一节 化学加工缺点：1)不适宜加工窄而深的槽和型孔等。2)原材料中缺陷和表面不平度、划痕等不易消除。3)腐蚀液对设备和人体有危害。化学铣切工艺过程：表面预处理涂保护层固化刻线腐蚀清洗去保护层 涂覆 表面去油去锈、氧化膜涂防护层（0.

3、2）固化 保护层：氯丁橡胶 丁基橡胶 丁苯橡胶 涂复的方法：刷涂 喷涂 浸涂第一节 化学加工刻形或划线刻形：根据样板的形状和尺寸，把待加工表面的涂层去掉，以便进行腐蚀加工。刻形的方法：用手术刀沿样板轮廓切开保护层，再把不要的部分剥掉。K=2H(W2W1)=HB H=KBK腐蚀系数 H腐蚀深度B侧面腐蚀宽度W1刻形尺寸W2最终腐蚀尺寸腐蚀 NaOH、FeCl3、HNO3HCl、HNO3H2SO4H3PO4 第一节 化学加工 化学铣切的应用范围：1)大件减薄 2)厚度小于1.5mm薄壁复杂形孔 第一节 化学加工二、光化学腐蚀加工照相化学腐蚀法光化学：照相制版、光刻、光电成形法总称。照相制版的原理和

4、工艺 光刻加工的原理和工艺 第一节 化学加工照相制版的原理和工艺 照相制版的原理：感光胶照相 坚膜 工艺过程：原图照相涂感光胶曝光显影坚膜烘烤修整腐蚀清理 原图和照相 原图放大照相缩小 照相底片一般采用涂有卤化银的感光版。金属版和感光胶的涂复 金属版多采用微晶锌版和纯铜版 感光胶：聚乙烯醇、骨胶、明胶。曝光、显影和坚膜 紫外光照射感光 固化 腐蚀 保护剂：腐蚀坡度 乙烯基硫脲和二硫化甲脒 有粉腐蚀：松香粉。第一节 化学加工光刻加工的原理和工艺 光刻加工的原理、特点和应用范围光刻：利用光致抗蚀剂的光化学反应特点，将掩模版上的图形精确地印制在涂有光致抗蚀剂的衬底表面，再利用光致抗蚀剂的耐腐蚀特性，

5、对衬底表甲进行腐蚀，可获得极为复杂的精细图形。特点：精度甚高，其尺寸精度可达到0.01-0.005mm。应用：集成电路制造 精密零部件刻线尺、刻度盘、光栅、细孔金属网板、电路布线板、晶闸管元件等。第一节 化学加工光刻的工艺过程原图掩模衬底加工涂胶前烘曝光显影坚膜腐蚀去胶 第二节 等离子体加工 基本原理：等离子弧加工 利用电弧放电使气体电离成过热的等离子气体流束，靠局部熔化及气化来去除材料的。等离子弧加工有时叫做等离子体电弧加工或等离子体电弧切割 等离子体是高温电离的气体，它由气体原子或分子在高温下获得能量电离之后，离解成带正电荷的离子和带负电荷的自由电子所组成，整体的正负离子数目和正负电荷数值

6、仍相等，因此称为等离子体。第二节 等离子体加工等离子体具有极高的能量密度是由下列三种效应造成的：机械压缩效应 热收缩效应 磁收缩效应机械压缩效应 电弧在被迫通过喷嘴通道喷出时，通道对电弧产生机械压缩作用。喷嘴通道的直径和长度对机械压缩效应的影响很大。第二节 等离子体加工热收缩效应 因冷却而形成的电弧截面缩小作用，就是热收缩效应。喷嘴内部通人冷却水，使喷嘴内壁受到冷却，温度降低，因而靠近内壁的气体电离度急剧下降，导电性差，电弧中心导电性好，电离度高，电弧电流被迫在电弧中心高温区通过，使电弧的有效截面缩小，电流密度大大增加。一般高速等离子气体流量越大，压力越大，冷却愈充分，则热收缩效应愈强烈。第二

7、节 等离子体加工磁收缩效应 由于电弧电流周围磁场的作用，迫使电弧产生强烈的收缩作用，使电弧变得更细，电弧区中心电流密度更大，电弧更稳定而不扩散。三种压缩效应的综合作用，等离子体的能量高度集中，电流密度、等离子体电弧的温度都很高，达到1100028000(普通电弧仅50008000)，气体的电离度也随着剧增，并以极高的速度(约800-2000ms，比声速还高)从喷嘴孔喷出，具有很大的动能和冲击力，当达到金属表面时，可以释放出大量的热能，加热和熔化金属，并将熔化了的金属材料吹除。第二节 等离子体加工等离子弧不但具有温度高、能量密度大的优点，而且焰流可以控制。适当的调节功率大小、气体类型、气体流量、

8、进给速度和火焰角度，以及喷射距离等，可以利用一个电极加工不同厚度和多种材料。第二节 等离子体加工材料去除速度和加工精度 等离子体切割的速度是很高的，成形切割 厚度为25mm的铝板时的切割速度为760mmmin，厚度为6.4mm钢板的切割速度为4060mmmin，采用水喷时可增加碳钢的切割速度，对厚度为5mm的钢板，切割速度为6100mmmin。切边的斜度一般为27，当仔细控制工艺参数时，斜度可保持在12。第二节 等离子体加工 厚度小于25 mm的金属，切缝宽度通常为2.55mm；厚度达150mm的金属，切缝宽度为1020mm。等离子体加工孔的直径在l0mm以内，钢板厚度为4mm时，加工精度为土

9、0.25mm，当钢板厚度达35mm，加工孔或槽的精度为0.8mm。加工后的表面粗糙度通常为Ra1.63.2m，热影响层分布的深度为15mm，决定于工件的热学性质、加工速度、切割深度，以及所采用的加工参数。第二节 等离子体加工设备和工具 简单的等离子体加工装置 手持等离子体切割器 小型手提式装置；比较复杂的有 程序控制 数字程序控制的设备 多喷嘴的设备 采用光学跟踪的设备。工作台尺寸达13.4m25m，切割速度为506100mmmin。第二节 等离子体加工 在大型程序控制成形切削机床上可安装先进的等离子体切割系统，并装备有喷嘴的自适应控制，以自动寻找和保持喷嘴与板材的正确距离。除了平面成形切割外

10、，还有用于车削、开槽、钻孔和刨削的等离子体加工设备。切割用的直流电源空载电压一般为300V左右，用氩气作为切割气体时空载电压可以降低为100V左右。常用的电极为铈钨或钍钨。用压缩空气作为工质气体切割时使用的电极为金属锆或铪。使用的喷嘴材料一般为纯铜或锆铜。第二节 等离子体加工实际应用 等离子体加工已广泛用于切割 各种金属材料，特别是不锈钢、铜、铝的成形切割，已获得重要的工业应用。它可以快速而较整齐地切割软钢、合金钢、钛、铸铁、钨、钼等。切割不锈钢、铝及其合金的厚度一般为3l00mm。等离子体还用于金属的穿孔加工 等离子体弧还作为热辅助加工 是一种机械切削和等离子弧的复合加工方法，在切削过程中，

11、用等离子弧对工件待加工表面进行加热，使工件材料变软，强度降低，从而使切削加工具有切削力小、效率高、刀具寿命长等优点，已用于车削、开槽、刨削等。第二节 等离子体加工等离子体电弧焊接 使用的气体为氩气。用直流电源可以焊接不锈钢和各种合金钢，焊接厚度一般在110mm，1mm以下的金属材料用微束等离子弧焊接。交流及脉冲等离子体弧焊铝及其合金的新技术。等离子体弧还用于各种合金钢的熔炼，熔炼速度快，质量好。第二节 等离子体加工等离子体表面加工技术 很容易加工的超塑性高速钢 采用等离子体对钢材进行预热处理和再结晶处理，使钢材内部形成微细化的金属结晶微粒。结晶微粒之间联系韧性很好，所以具有超塑性能，加工时不易

12、碎裂。提高某些金属材料的硬度 使钢板表面氮化，可大大提高钢材的硬度。在氧等离子体中，采用微波放电，可使硅、铝等进行氧化，制得超高纯度的氧化硅和氧化铝。采用无线电波放电，在氮等离子体中，对钛、锆、铌等金属进行氮化，可制得氮化钛、氮化锆、氮化铌等化合物。由直流辉光放电发生的氩等离子体，使四氯化钛、氢气与甲烷发生反应，可在金属表面生成碳化钛，大大提高了材料的强度和耐磨性宫旨。第二节 等离子体加工 等离子体还用于人造器官的表面加工 采用氨和氢-氮等离子体，对人造心脏表面进行加工，使其表面生成一种氨基酸，这样，人造心脏就不受人体组织排斥和血液排斥，使人造心脏植入手术更易获得成功。第二节 等离子体加工 等

13、离子体加工时，会产生噪声、烟雾和强光，要进行控制和防护。常采用的方法 采用高速流动的水屏，即高速流动的水通过一个围绕在切削头上的环喷出，这样就形成了一个水的屏幕或防护罩，从而大大减少了等离子体加工过程中产生的光、烟和噪声的不良影响。在水中混入染料，可以降低电弧的照射强度。第三节 挤压珩磨 磨料流动加工20世纪70年代发展起来的一项表面加工的新技术，主要用于去除零件内部通道或隐蔽部分的毛刺而显示出优越性，随后扩大应用到零件表面的抛光。基本原理 挤压珩磨的工艺特点 粘弹性磨料介质 夹具 第三节 挤压珩磨基本原理：利用一种含磨料的半流动状态的粘弹性磨料介质、在一定压力下强迫在被加工表面上流过，由磨料

14、颗粒的刮削作用去除工件表面微观不平材料的工艺方法。挤压珩磨的工艺特点 适用范围广 抛光效果好 材料去除速度高 加工精度较好。第三节 挤压珩磨粘弹性磨料介质 粘弹性磨料介质由一种半固体、半流动性的高分子聚合物和磨料颗粒均匀混合而成。高分子聚合物是磨料的载体，能与磨粒均匀粘结，而与金属工件则不发生粘附。它主要用于传递压力，携带磨粒流动以及起润滑作用。磨料一般使用氧化铝、碳化硼、碳化硅磨料。当加工硬质合金等坚硬材料时，可以使用金刚石粉。磨料粒度范围是8#600#；含量范围1060。根据不同的加工对象确定具体的磨料种类、粒度、含量。第三节 挤压珩磨 碳化硅磨料主要用于去毛刺。粗磨料可获得较快的去除速度

15、；细磨料可以获得较好的粗糙度，故一般抛光时都用细磨料，对微小孔的抛光应使用更细的磨料。可利用细磨料(600#800#)作为添加剂来调配基体介质的稠度。实际使用中常是几种粒度的磨料混合使用，以获得较好的性能。第三节 挤压珩磨夹具 夹具是挤压珩磨的重要组成部分，是使之达到理想效果的一个重要措施，它需要根据具体的工件形状、尺寸和加工要求而进行设计，有时需通过试验加以确定。夹具的主要作用 用来安装、夹紧零件、容纳介质并引导它通过零件 控制介质的流程第三节 挤压珩磨实际应用 挤压珩磨可用于边缘光整、倒圆角、去毛刺、抛光和少量的表面材料去除。特别适用于难以加工的内部通道的抛光和去毛刺。从软的铝到韧性的镍合

16、金材料均可进行挤压珩磨加工。挤压珩磨已用于 硬质合金拉丝模、挤压膜、拉抻模、粉末冶金模、叶轮，齿轮、燃料旋流器等的抛光和去毛刺。还用于去除电火花加工、激光加工或渗氮处理这类热能加工产生的不希望有的变质层。第四节 水射流切割 基本原理 水射流切割(WaterJet Cuting简称WJC)又称液体喷射加工(Liguid Jet Machining简称LJM)。是利用高压高速水流对工件的冲击作用来去除材料的，有时简称水切割，或俗称水刀。采用水或带有添加剂的水，以500900ms的高速冲击工件进行加工或切割。水经水泵后通过增压器增压，贮液蓄能器使脉动的液流平稳。水从孔径为0.10.5mm的人造蓝宝石

17、喷嘴喷出，直接压射在工件加工部位上。加工深度取决于液压喷射的速度、压力以及压射距离。被水流冲刷下来的“切屑”随着液流排出，入口处束流的功率密度可达106W2。第四节 水射流切割材料去除速度和加工精度 切割速度取决于工件材料，并与所用的功率大小成正比、和材料厚度成反比。切割精度主要受喷嘴轨迹精度的影响，切缝大约比所采用的喷嘴孔径大0.025mm，加工复合材料时，采用的射流速度要高，喷嘴直径要小，并具有小的前角，喷嘴紧靠工件，喷射距离要小。喷嘴愈小，加工精度愈高，但材料去除速度降低。切边质量受材料性质的影响很大，软材料可以获得光滑表面，塑性好的材料可以切割出高质量的切边。液压过低会降低切边质量，尤

18、其对复合材料，容易引起材料离层或起鳞。采用正前角将改善切割质量。进给速度低可以改善切割质量，因此，加工复合材料时应采用较低的切割速度，以避免在切割过程中出现材料的分层现象。第四节 水射流切割 水中加入添加剂能改善切割性能和减少切割宽度。喷射距离对切口斜度的影响很大，距离愈小，切口斜度也愈小。为了提高切割速度和厚度，在水中混入磨料细粉。切割过程中，“切屑”混入液体中，故不存在灰尘，不会有爆炸或火灾的危险。对某些材料，射流束中夹杂有空气将增加噪声，噪声随喷射距离的增加而增加。在液体中加入添加剂或调整到合适的前角，可以降低噪声。第四节 水射流切割设备和工具 水射流切割需要液压系统和机床，但机床不是通

19、用性的，每种机床的设计应符合具体的加工要求。液压系统产生的压力应能达到400MPa 液压系统还包括控制器、过滤器以及耐用性好的液压密封装置。加工区需要一个排水系统和贮液槽。第四节 水射流切割 水射流切割时，作为工具的射流束是不会变钝的，喷嘴寿命也相当长。液体要经过很好的过滤，过滤后的微粒小于0.5m，液体经过脱矿质和去离子处理以减少对喷嘴的腐蚀。切削时的摩擦阻尼很小，所需的夹具也较简单。还可以采用多路切割，这时应配备多个喷嘴。水射流切割已都采用程序控制和数字控制系统，数控水射流加工机床，其工作台尺寸大于1.5m2m，移动速度大于380mms。第四节 水射流切割实际应用 水射流切割可以加工很薄、

20、很软的金属和非金属材料。铜、铝、铅、塑料、木材、橡胶、纸等七八十种材料和制品。水射流切割可以代替硬质合金切槽刀具，而且切边的质量很好。所加工的材料厚度少则几毫米，多则几百毫米。切割19mm厚的吸音天花板，采用的水压为310MPa，切割速度为76mmin。玻璃绝缘材料可加工到125mm厚。由于加工的切缝较窄，可节约材料和降低加工成本。第四节 水射流切割 可以加工木板和纸品，在一些化学加工的零件保护层表面上划线。航天工业用以切割高级复合材料、蜂窝状夹层板、钛合金元件和印制电路板等，可提高疲劳寿命。影响水射流切割广泛采用的主要因素是一次性初期投资较高。第五节 磁性磨料研磨加工和磁性磨料电解研磨加工

21、磁性磨料研磨加工(Magnetic Abrasive Machining简称MAM)又称磁力研磨或磁磨料加工，它和磁性磨料电解研磨加工(MagneticAbrasiveElectrochemicalMachining简称MAECM)是近年发展起来的光整加工工艺，在精密仪器制造业中得到日益广泛的应用。基本原理 磁性磨料研磨的原理在本质上和机械研磨相同，只是磨料是导磁的，磨料作用于工件表面的研磨力是磁场形成的。第五节 磁性磨料研磨加工和磁性磨料电解研磨加工 圆柱表面磁性磨料研磨加工的原理 在垂直于工件圆柱面轴线方向加一磁场，在S、N两磁极之间加入磁性磨料，磁性磨料吸附在磁极和工件表面上，并沿磁力线

22、方向排列成有一定柔性的“磨料刷”。工件一边旋转，一边作轴向振动。磁性磨料在工件表面轻轻刮擦、挤压、窜滚，从而将工件表面上极薄的一层金属及毛刺切除，使微观不平度逐步整平。磁性磨料电解研磨原理 是在磁性磨料研磨的基础上，再加上电解加工的阳极溶解作用，以加速阴极工件表面的整平过程，提高工艺效果。第五节 磁性磨料研磨加工和磁性磨料电解研磨加工磁性磨料电解研磨的表面光整效果是在以下三重因素作用下产生的：电化学阳极溶解作用 磁性磨料的刮削作用 磁场的加速、强化作用 第五节 磁性磨料研磨加工和磁性磨料电解研磨加工设备和工具 一般都是用台钻、立钻或车床等改装，或者设计成专用夹具装置。目前还没有定型的商品化机床

23、生产厂。实际应用 磁性磨料研磨加工和其电解研磨加工，适用于导磁材料的表面光整加工、棱边倒角和去毛刺等。外圆表面、平面、内孔表面、齿轮齿面、螺纹和钻头等复杂表面的研磨抛光。第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术 微弧氧化表面处理:是基于电火花(短电弧)放电和电化学、化学等综合作用使铝及铝合金表面生长、形成一层很薄的多功能的陶瓷膜。近年来国内外竞相研究的一项已实用化的表面处理新技术。第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术 一、微弧氧化后的表面陶瓷层的功能和用途 高硬度、抗磨表层 减磨表面 耐腐蚀表面 电绝缘层 热稳定、绝热、隔热表层 光吸收与光反射表层 催化活性表层 抑制生物、细菌表层 亲生物

24、层 第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术二、微弧氧化表面处理技术的工艺特点 疏松层致密层 主要物质A12O3和A12O3第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术三、微弧氧化工艺及设备的原理 第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术四、微弧氧化过程的机理一电极间的反应的探讨 工作液中 H2OH+(OH)Na2SiO32Na阴极反应 2H+2eH2 第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术阳极反应 4(OH)4e2H2O+O2 Al3eA13 A13+3OHAl(OH)3 2Al(OH)3A12O3+3H2O 2SiO324e2SiO2+O2 4A1O228e2 A12O3+O2 4Al+3O22 A12O3 2A13+3O22 A12O3 A12O3A12O3第六节 铝合金微弧氧化表面陶瓷化处理技术五、微弧氧化技术在铝、镁、钛等合金中的应用前景 汽车、装甲车的发动机的气缸、活塞