半导体物理第5章课件.ppt
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- 半导体 物理 课件
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1、第5章 非平衡载流子主要内容n处于热平衡状态的半导体处于热平衡状态的半导体,在一定的温度下在一定的温度下,载流子浓度是载流子浓度是一定的一定的,称为称为平衡载流子浓度平衡载流子浓度。n在外界作用下,能带中的载流子数目发生明显改变,即产在外界作用下,能带中的载流子数目发生明显改变,即产生生非平衡载流子非平衡载流子。n大多数情况下大多数情况下,非平衡载流子都是在半导体的局部区域产非平衡载流子都是在半导体的局部区域产生的生的.它们除了在电场作用下的它们除了在电场作用下的漂移运动漂移运动以外以外,还要作还要作扩散扩散运动运动.n本章主要讨论非平衡载流子的运动规律及它们的产生和复本章主要讨论非平衡载流子
2、的运动规律及它们的产生和复合机制合机制.2000)exp(igvcnTkENNpn5.1非平衡载流子的注入与复合p处于热平衡态的半导体处于热平衡态的半导体,在一定温度下在一定温度下,载流子浓度是恒载流子浓度是恒定的定的.本章用本章用n0和和p0分别表示分别表示平衡电子浓度平衡电子浓度和和平衡空穴浓度平衡空穴浓度.p对半导体施加外界作用对半导体施加外界作用,可使其处于非平衡状态可使其处于非平衡状态,此时比此时比平衡态多出来的载流子平衡态多出来的载流子,称为称为过剩载流子过剩载流子,或或非平衡载流子非平衡载流子.pppnnn 00而且而且n=p,其中其中n和和p就是非平衡载流子浓度就是非平衡载流子
3、浓度.产生非平衡载流子的方法:产生非平衡载流子的方法:1.光注入;光注入;2.电注入;电注入;3.高能粒子辐照;高能粒子辐照;4.小注入n如果非平衡少数载流子的浓度远小于平衡多数载流子的如果非平衡少数载流子的浓度远小于平衡多数载流子的浓度,称为浓度,称为小注入小注入。n例如例如,在室温下在室温下n0=1.51015cm-3的的N型硅中型硅中.空穴浓度空穴浓度p0=1.5105cm-3.n如果引入非平衡载流子如果引入非平衡载流子n=p=1.01010cm-3,则则pn0和pp0,所以无论是EFn还是EFp都偏离EF EFn偏向导带底Ec,而EFp则偏向价带顶Ev.但是,EFn和EFp偏离EF的程
4、度是不同的.一般来说,多数载流子的准费米能级非常靠近平衡态的费米能级EF,两者基本上是重合的,而少数载流子的准费米能级则偏离EF很大.0000exp()expexp()expFnFFniiFFpiFpiEEEEnnnk TkTEEEEppnk TkT5.4复合理论n分类q微观机构n直接复合:直接跃迁n间接复合:通过复合中心q发生位置n体内复合n表面复合n复合释放能量的方法q发射光子:有发光现象q发射声子:能量传给晶格,加强晶格的振动q将能量给予其他载流子(俄歇复合)5.4.1直接复合 电子由导带直接跃迁到价带的空状态,使电子和空穴电子由导带直接跃迁到价带的空状态,使电子和空穴成对地消失成对地消
5、失.其逆过程是,电子由价带激发到导带,产生电子其逆过程是,电子由价带激发到导带,产生电子-空空穴对穴对.cEvE 直接复合直接复合复合产生n产生率:单位时间单位体积内产生的电子-空穴对数,用G表示,为温度的函数,与载流子浓度无关。n复合率:单位时间单位体积内复合掉的电子-空穴对数。n其中r复合概率,为温度的函数,与载流子浓度无关。rnpR n热平衡时,产生率等于复合率n净复合率:单位时间单位体积内净复合消失的电子空穴对数。n非平衡载流子的净复合率 200iGrn prn2002)()()(prppnrnnprGRUidn载流子的产生和复合在任何情况下都是存在的。n在热平衡状态下也存在着产生与复
6、合两个过程n只不过这个状态下载流子产生的原因是温度,相应的,描述这种产生过程用热产生率,即单位时间单位体积内热产生的电子空穴对数称为热产生率n当热产生率等于复合率时,半导体就达到热平衡状态。n如果复合率大于热产生率就存在净复合率。n净复合率的数值等于复合率与热产生率之差 n非平衡载流子寿命 n寿命不仅与平衡载流子浓度有关,还与非平衡载流子浓度有关。n小注入条件下)()(100ppnrUpd)(00pnp)(100pnrn对于n型材料,若 n若大注入条件下 n可见,寿命随非平衡载流子浓度增大而减小,n因而,在复合过程中,寿命不再是常数 00pn 01rn)(00pnppr1n一般地说,禁带宽带越
7、小,直接复合的几率越大。n所以,在锑化铟(0.18eV)和碲(0.3eV)等小禁带宽度的半导体中,直接复合占优势。n实验发现,砷化镓的禁带宽度虽然比较大一些,但直接复合机构对寿命有着重要的影响,这和它的具体能带结构有关。n砷化镓是直接带隙半导体。n把直接复合理论用于锗、硅,得到的寿命值比实验结果大的多。n这说明对于硅、锗寿命还不是由直接复合过程所决定,一定有另外的复合机构起着主要作用,决定着材料的寿命,这就是间接复合。n杂质和缺陷在半导体禁带中形成能级,它们不但影响半导体导电性能,还可以促进非平衡载流子的复合而影响其寿命。n实验表明半导体中杂质和缺陷越多,载流子寿命就越短。n通常把具有促进复合
8、作用的杂质和缺陷称为复合中心。n复合中心的存在使电子-空穴的复合可以分为两个步骤,先是导带电子落入复合中心能级,然后再落入价带与空穴复合,而复合中心被腾空后又可以继续进行上述过程。n相反的逆过程也同时存在。5.4.2 间接复合 当只存在一个复合中心能级Et时,相对于Et存在如图所示的四个过程:(1)复合中心能级Et从导带俘获电子;(2)复合中心能级Et向导带发射电子;(3)复合中心能级Et上电子落入价带与空穴复合;-俘获空穴(4)价带电子被激发到复合中心能级Et。-发射空穴这四个过程中(1)和(2)互为逆过程,(3)和(4)也互为逆过程。间接复合过程n电子俘获率:单位体积单位时间被复合中心俘获
9、的电子数n电子产生率:单位体积单位时间复合中心向导带发射的电子数n 空穴俘获率:单位体积单位时间被复合中心俘获的空穴数n空穴产生率:单位体积单位时间空的复合中心向价带发射的空穴数n过程中n导带中电子越多,空的复合中心越多,电子碰到空复合中心而被俘获的机会越大.n电子俘获率=rnn(Nt-nt)nrn反映复合中心俘获电子能力的大小,称为电子俘获系数nn:导带电子浓度nnt:复合中心能级上电子浓度nNt-nt:未被电子占据的复合中心浓度n过程中n只有已被电子占据的复合中心才能发射电子.n考虑非简并情况,可以认为导带基本上是空的,产生率与导带电子浓度无关n电子产生率=s-ntns-称为电子激发概率,
10、温度一定,它的值一定n平衡时,电子俘获率电子产生率nrnn(Nt-nt)=s-nt于是,于是,10expctncnEEsr Nr nk T其中,其中,100expexpctticiEEEEnNnk Tk Tn1恰好等于费米能级恰好等于费米能级EF与复合中心能级与复合中心能级Et重合时的平衡电子浓度。重合时的平衡电子浓度。1ntr n n电子生产率00expcFcEEnNk T00exp1tttFNnEEk Tn3 过程中n只有已被电子占据的复合中心才能俘获空穴.n空穴俘获率=rppntnrp称为空穴俘获系数np:价带空穴浓度n4 过程中n价带中电子只能激发到空的复合中心能级.n只有空着的复合中
11、心才能向价带发射空穴.n空穴产生率=s+(Nt-nt)ns+称为空穴激发概率n平衡时,空穴俘获率空穴产生率nrpp0nt0=s+(Nt-nt0)00expFvvEEpNk T于是,于是,100expexptvitviEEEEpNnk Tk T1psr p其中,其中,p1恰好等于费米能级恰好等于费米能级EF与复合中心能级与复合中心能级Et重合时的平衡空穴浓度重合时的平衡空穴浓度1ppttGr pNnn稳定条件是指复合中心能级上电子数不再发生变化,既不增加也不减少n1过程和4过程造成复合中心能级上电子的累积n2过程和3过程造成复合中心能级上电子的减少n在稳定条件下 +=+nrnn(Nt-nt)+r
12、pp1(Nt-nt)=rnn1nt+rppnttn1 pn1p1N(nrp r)r(nn)r(pp)tnn在稳定条件下-=-n等式左端表示单位时间单位体积内导带减少的电子数n等式右端表示单位时间单位体积内价带减少的空穴数。n即导带每损失一个电子,同时价带也损失一个空穴,电子和空穴通过复合中心成对地复合。n因而上式正是表示非平衡载流子的复合率,用U表示 非平衡载流子通过单一复合中间接复合的复合率表示式式中rn和rp分别是电子和空穴俘获系数,反映了复合中心能级Et俘获电子和空穴能力的强弱12t n pin1p1UN r r(npn)r(nn)r(pp)ntttrn Nnn n n1和p1分别是EF
13、恰好与Et重合时的平衡导带电子和价带空穴浓度,即ctciitit1cci000EEE-EE-EE-EnN exp()N exp()n exp()k Tk Tk Tvtviitit1vvi000EEEEE-EE-EpN exp()N exp()n exp()k Tk Tk T平衡态时 np=n0p0=ni2,即净复合率U=0;当存在非平衡载流子注入时,npni2,U0。将n=n0+n及p=p0+p代入公式,得表明寿命/Nt,也就是复合中心浓度越高寿命越小。小注入时p(n0+p0),如果rn和rp相差不大,可得到t2N r r(n p p p p)n p00Ur(nnp)r(ppp)n01p01n
14、01p01t n p00r(nnp)r(ppp)pUN r r(npp)n01p01t n p00r(nn)r(pp)N r r(np)n所以小注入条件下间接复合所决定的寿命只取决于n0、p0、n1和p1的值,与p无关。nn0、p0、n1和p1大小分别取决于费米能级EF和复合中心能级Et的位置n分别由(EC-EF)、(EF-EV)、(EC-Et)、(Et-EV)决定n这几个值通常互相相差若干数量级,只要考虑其中的最大项即可。ct1c0EEnN exp()k Ttv1v0EEpN exp(-)k T00expcFcEEnNk T00expFvvEEpNk T寿命随载流子浓度的变化寿命随载流子浓度
15、的变化现在我们在复合中心的种类及其浓度不变的情况下,讨论现在我们在复合中心的种类及其浓度不变的情况下,讨论 在禁在禁级级的变化。设复合中心能的变化。设复合中心能随电子的平衡浓度随电子的平衡浓度寿命寿命tEpn00 lnn p 1234cEtEiEtEvEFE(分四个区域)(分四个区域)强强N弱弱P弱弱N强强P对称的位置。对称的位置。之上与之上与,它表示在,它表示在级级为了方便起见,引入能为了方便起见,引入能titEEE 一般规律如右图所示。一般规律如右图所示。变化的变化的随随带的下半部,寿命带的下半部,寿命FE 的变化。的变化。随随我们分四个区域讨论我们分四个区域讨论FE 强强N型区型区费米能
16、级费米能级EF在在Et和导带底和导带底Ec之间(之间(EtEFp0,n1,p1于是,于是,1pptr N即寿命是一个与载流子浓度无关的常数,它决定于复合中即寿命是一个与载流子浓度无关的常数,它决定于复合中心对空穴的俘获几率。心对空穴的俘获几率。在这种情况下,复合中心能级在这种情况下,复合中心能级Et在在EF之下,只要空穴一旦之下,只要空穴一旦被复合中心能级所俘获,就可以立刻从导带俘获电子,完被复合中心能级所俘获,就可以立刻从导带俘获电子,完成电子成电子-空穴对的复合。空穴对的复合。弱弱N型区(高阻区)型区(高阻区)费米能级费米能级EF在本征费米能级在本征费米能级Ei和和Et之间(之间(EiEF
17、 Et),),这时,这时,p1 最大,于是最大,于是10t npN r n在这种情况下,寿命与电子(多子)的浓度在这种情况下,寿命与电子(多子)的浓度n0成反比成反比越接近本征区,与空穴复合的电子数目越少,寿命则越长。越接近本征区,与空穴复合的电子数目越少,寿命则越长。3 强强P型区型区费米能级费米能级EF在价带顶在价带顶Ev和和Et之间(之间(EvEF n0,n1,p1于是,于是,1nntr N即寿命是一个与载流子浓度无关的常数,它的数值由复合即寿命是一个与载流子浓度无关的常数,它的数值由复合中心对电子的俘获几率来决定。中心对电子的俘获几率来决定。4 弱弱P型区型区费米能级费米能级EF在本征
18、费米能级在本征费米能级Et和和Ei之间(之间(EtEFrn,就是空穴陷阱,反之则为电子陷阱。n以电子陷阱为例,则n当n1=n0时,上式取极大值。nnnnNntt2101)(max0()4ttNnnnn对于有效复合中心,电子俘获系数与空穴俘获系数的数值相差不大,n而有效陷阱中心两者相差很大。n若 ,陷阱俘获电子后,很难俘获空穴,因为被俘获的电子往往在复合前(即落入价带前)又被激发重新释放回导带。n即落入陷阱中心的电子很难与空穴复合。n这样的陷阱就是电子陷阱。n电子陷阱中的电子要和空穴复合,它必须重新激发到导带,再通过有效复合中心完成和空穴的复合。若 ,陷阱就是空穴陷阱。pnrr nprr n实际
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