汉钟真空泵介绍资料160504课件.pptx

1、Committed Hanbell being the world leading brand in fluid mechanical and electrical field!成成 为为 流流 体体 机机 电电 产产 业业 的的 世世 界界 领领 导导 品品 牌牌!股票代碼股票代碼:002158AD-11-A1_QH2011-08-10Page 2真空產品部真空產品部 賴慶峰賴慶峰 2014.10.282014.10.28AD-11-A1_QH2011-08-10Page 3漢鐘公司介紹漢鐘公司介紹乾式螺桿乾式螺桿/羅茨真空泵產品羅茨真空泵產品124AD-11-A1_QH2011-08-10

2、Page 4AD-11-A1_QH2011-08-10 上海漢鐘精機股份有限公司，上海漢鐘精機股份有限公司，坐落于自然環境優美的上海市金山坐落于自然環境優美的上海市金山區楓涇古鎮，地處滬杭高速公路、區楓涇古鎮，地處滬杭高速公路、滬杭高鐵與滬杭高鐵與320320國道交會處，位居國道交會處，位居長三角中心位置，地理位置優越。長三角中心位置，地理位置優越。廠區占地面積廠區占地面積4 4萬餘平方米。萬餘平方米。漢鐘精機專業從事螺杆式漢鐘精機專業從事螺杆式/離心離心式壓縮機與螺杆式式壓縮機與螺杆式/旋片式真空泵相旋片式真空泵相應技術的研究開發、生產銷售及售應技術的研究開發、生產銷售及售後服務，主要產品包

3、括後服務，主要產品包括:AD-11-A1_QH2011-08-10螺旋轉子技術螺旋轉子技術乾式真空泵乾式真空泵冷凍壓縮機冷凍壓縮機冷媒壓縮機冷媒壓縮機空氣壓縮機空氣壓縮機AD-11-A1_QH2011-08-10Page 7AD-11-A1_QH2011-08-10 1994.04 漢鐘精機股份有限公司成立，台灣經濟部工業局核定為“重要科技產業”。1994.10 R系列螺旋式冷媒壓縮機量產系列螺旋式冷媒壓縮機量產。1997.06 通過 ISO 9001 品質系統認證。2000.03 A系列螺旋式空氣壓縮機量產系列螺旋式空氣壓縮機量產。2000.08.上海漢鐘機械成立。2001.10 台灣經濟部

4、工業局核定為“新興重要策略性產業”。2001.12.漢鐘螺旋式冷媒壓縮機 榮獲“台灣精品獎”。2002.04.RC系列高效率螺旋式冷媒壓縮機量產。2002.06 通過 ISO 9001 2000年版 品質系統認證。2003.01 RC系列壓縮機通過歐洲 PED壓力容器與美國 UL認證。2003.12 L系列螺旋式冷凍壓縮機系列螺旋式冷凍壓縮機量產量產2003.12 上海廠三期擴建完成2004.06 觀音廠新廠擴建完成2006.01 PA系列螺旋式乾式真空泵浦系列螺旋式乾式真空泵浦量產量產2007.06 PS系列螺旋式乾式真空泵浦系列螺旋式乾式真空泵浦量產量產2007.08 上海漢鐘精機深圳上海

5、漢鐘精機深圳A股上市股上市。2008.10 RT 離心式壓縮機量產離心式壓縮機量產2009 展開展開5年年20億投資計畫億投資計畫2010 台灣台中廠及越南廠建廠完成正式投產/PD系列螺旋式乾式真空泵浦量產系列螺旋式乾式真空泵浦量產2011.03 浙江漢聲精密(鑄造廠)2012.08 與日立工業合資成立Hitachi Hanbell2013.01 入圍經濟部中堅企業家優秀企業2013.03 PDF110(Green pump)節能泵浦節能泵浦量產量產2014 PX/PZ系列油式旋片泵上市系列油式旋片泵上市2015 PA系列微油螺桿泵上市系列微油螺桿泵上市AD-11-A1_QH2011-08-1

6、0AD-11-A1_QH2011-08-1040,000 Hanbell,Vietnam 27,300 Hanbell Europe 4,800 漢鐘台中漢鐘台中廠廠 11,000 全部員工數一千餘人全部員工數一千餘人浙江漢聲浙江漢聲精密精密 66,666 AD-11-A1_QH2011-08-10AD-11-A1_QH2011-08-10 漢鐘螺旋轉子年產值已達 70000 對，有效攤提加工設備、量測設備、生產設備、設計軟體、研發經費，達到降低成本，進而降低售價，提升競爭力。漢鐘研發團隊皆為國人，在溝通上時效性、正確性皆遠優於國外研發團隊，必要時研發人員可至客戶端參與討論，快速且有效的解決客

7、戶問題。Dry Pump 已為成熟市場，近年來漢鐘不斷取代他廠產品，在水、氣、電、訊號、機構管件部分皆以客戶端原配置為主，以減少客戶困擾為主要目標，因而衍生高規格客製化能力。漢鐘製程應用團隊針對各製程特性不斷研究，以因應客戶需求，延長 Life time 達到降低客戶 Running cost 的目的。AD-11-A1_QH2011-08-10Page 13AD-11-A1_QH2011-08-10Page 14低壓端0.001Atm高壓端1Atm泵浦排氣方向氣體流動方向泵浦AD-11-A1_QH2011-08-10 真空真空,可以定義為腔室內任一低於大氣壓力的壓力值 抽氣速率抽氣速率(體積流

8、率)(單位:m/min;m/h)：當泵裝有標準測試腔體並按規定條件工作時，從測試腔體流過的氣體流量與在測試腔體上指定位置測得的平衡壓力(真空度)之比。簡稱泵的抽速。即在一定的壓力、溫度下，真空泵在單位時間內在該真空度下從被抽容器中抽走的氣體體積。極限壓力極限壓力(極限真空)：泵裝有標準測試腔體並按規定條件工作，在不引入氣體正常工作的情況下，趨向穩定的最低壓力。即真空泵的入口端經過充分抽氣後所能達到的最低的穩定的壓力(泵的最高真空度)。起動壓力起動壓力：泵無損壞起動並有抽氣作用的壓力 最大工作壓力最大工作壓力：對應最大抽氣量的入口壓力。在此壓力下，泵能連續工作而不惡化或損壞AD-11-A1_QH

9、2011-08-10Page 16真空泵浦排氣式泵浦吸附式泵浦正排氣泵浦往復式泵浦迴轉式泵浦活塞式泵浦水封式泵浦油封式泵浦魯氏泵浦爪式泵浦螺旋式泵浦渦卷式泵浦乾式真空泵浦動力式泵浦機械式泵浦流體吸附式泵浦渦輪分子泵浦分子拖曳泵浦噴射式泵浦擴散式泵浦冷凍泵浦昇華泵浦離子蒸發泵浦離子濺鍍泵浦隔膜泵浦AD-11-A1_QH2011-08-10Page 17螺桿泵AD-11-A1_QH2011-08-10AD-11-A1_QH2011-08-10Page 19AD-11-A1_QH2011-08-101.1.選用的真空泵必須能抽出工藝過程中釋放出來的氣體。選用的真空泵必須能抽出工藝過程中釋放出來的氣體

10、。2 2.選用的主泵的極限真空度必須高於被抽容器要求的真空度選用的主泵的極限真空度必須高於被抽容器要求的真空度3 3.選用主泵的抽速必須大於工藝過程中的最大放氣量。選用主泵的抽速必須大於工藝過程中的最大放氣量。4 4.選用的真空泵其工作介質和製造泵的材料必須滿足工藝要選用的真空泵其工作介質和製造泵的材料必須滿足工藝要求。求。5 5.對於連續生產的工藝，所選用的真空泵必須可靠的滿足連對於連續生產的工藝，所選用的真空泵必須可靠的滿足連續性生產的需要。續性生產的需要。AD-11-A1_QH2011-08-10Page 21AD-11-A1_QH2011-08-10Page 22Roots PumpD

11、ry PumpAD-11-A1_QH2011-08-10Page 23AD-11-A1_QH2011-08-10Page 24AD-11-A1_QH2011-08-10Page 25 AD-11-A1_QH2011-08-10Page 26n 水、氣、電、訊號、機構水、氣、電、訊號、機構AD-11-A1_QH2011-08-10Page 27屬於屬於 中、中、高高真空真空應用應用：單單 泵：泵：抽速：抽速：80800m3/hr 工作壓力範圍：工作壓力範圍：10132510Pa 極極 限限 壓壓 力：力：1Pa雙雙 泵：泵：抽速：抽速：3004500m3/hr 工作壓力範圍：工作壓力範圍：101

12、3251.3*10-1Pa 極極 限限 壓壓 力：力：0.1PaAD-11-A1_QH2011-08-10Page 28AD-11-A1_QH2011-08-10Page 29漢鐘乾式螺桿真空泵機型系列漢鐘乾式螺桿真空泵機型系列PDC/PSC化工製藥專用系列化工製藥專用系列PS定螺距乾泵系列定螺距乾泵系列PD變螺距節能乾泵系列變螺距節能乾泵系列AD-11-A1_QH2011-08-10Page 30机型Model单位UnitPS80PS160PS180抽气速度 PumpingSpeed(50HZ/60HZ)L/min1300/16002150/26002500/3000m/hr80/96130

13、/156150/180cfm48/5777/9288/105终极压力 UITimatePressureTorr7.5*10-3mbar1*10-2Pa 1马达 Motor频率FrequencyHZ50/60电压 VoltageV220440功率 PowerHp466KW2.984.474.47连接Connection 进气口InletNW50排气口OutlerNW40冷却水 Cooling Water流量FlowL/min37压力Pressurekg/cm24温度Temperaturec1830接头ConnectionRC3/8氮气N2压力PressureMpa0.150.2稀释流量Dilut

14、e FlowL/min060密封流量Sealing FlowL/min020接头ConnectionSwagelok 1/4尺寸DIM.L*W*Hmm814*380*663895*405*678920*425*650重量Weightkg280300320噪音NoiseDb(A）687070控制介面InterfaceSEMI E73-0299真空泵最大漏率 Pump Leak RateMbar.l/s1*10-5室温操作范围 Operation Temp.c5C-40C最大操作湿度 Operation MoistureRH90%以上PS系列技術規格系列技術規格表表(單機單機)AD-11-A1_Q

15、H2011-08-10Page 31机型机型ModelModel单位单位UnitUnitPS602PS602PS902PS902PS1302PS1302PS1802PS1802抽气速度 PumpingSpeed(50HZ/60HZ)L/min8300/100012500/1500017500/2100025000/33300m/hr500/600750/9001050/12601500/1800cfm294/353441/530618/742883/1060终极压力 UITimatePressureTorr7.510-4mbar110-3Pa0.1马达 Motor频率FrequencyHZ50

16、/60电压 VoltageV220440功率 PowerHp4+46+46+66+6KW2.98+2.984.47+2.984.47+4.474.47+4.47连接Connection 进气口InletISO100(bolted)ISO160(bolted)排气口OutlerNW40冷却水 Cooling Water流量FlowL/min3L/min7L/min压力Pressurekg/cm2.04.0温度Temperature1530接头ConnectionRC3/8氮气N2压力PressureMpa0.150.2稀释流量Dilute FlowL/min0-60密封流量Sealing Flo

17、wL/min0-20接头ConnectionSwagelok1/4尺寸DIM.L*W*Hmm8143808658953809159204309579204301030重量Weightkg450520540545噪音NoiseDb(A）70707070控制介面InterfaceSEMI E73-0299室温操作范围 Operation Temp.540最大操作湿度 Operation MoistureRH90%90%以上以上PS系列技術規格系列技術規格表表(雙機雙機)AD-11-A1_QH2011-08-10机型Model单位UnitPD120PD300PD400PD650PD800抽气速度 P

18、umpingSpeed(50HZ/60HZ)L/min1667/20004167/50005556/66679030/1084011011/13233m/hr100/120250/300333/400540/650800/660cfm59/71147/176196/236371/382393/471终极压力 UITimatePressureTorr7.510-3mbar110-2Pa1马达 Motor频率FrequencyHZ50/60电压 VoltageV220/380/440功率 PowerHp4/4.88/1015/2025/3025/30KW2.98/3.586.7/7.511/151

19、8.5/2218.5/22底压耗功PowerKW1.6/2.03.6/4.25.5/710/1311/14连接Connection 进气口InletNW50ISO63ISO63ISO100ISO100排气口OutlerNW40NW40NW50ISO63ISO63冷却水 Cooling Water接头ConnectionRC3/8压力Pressurekg/cm2.04.0温度Temperature3 slm 18 slm 28C6slm1815slm28流量FlowL/min氮气N2压力Pressurekg/cm0.150.2稀释流量Dilute FlowL/min依制程By Process密封

20、流量Sealing FlowL/min10接头ConnectionSwagelok 1/4”Swagelok 3/8”尺寸DIM.L*W*Hmm8143806631075430650158270075718316107351831610735重量Weightkg28039075010501050噪音NoiseDb(A）6870758080室温操作范围 Operation Temp.540最大操作湿度 Operation MoistureRH90%以上PD系列技術規格系列技術規格表表AD-11-A1_QH2011-08-10Page 33PSC/PDC系列技術規格系列技術規格表表AD-11-A1

21、_QH2011-08-10Page 34PR系列技術規格系列技術規格表表(羅茨泵羅茨泵)AD-11-A1_QH2011-08-10Page 35 業界同級抽氣效率耗能最低。耗能最低。可配合客戶操作執行待機模式，更顯節能表現(0.08kw)。已獲得半導體大廠乾淨製程採用。Hanbell Green系列真空泵系列真空泵Pumping Speed:110 m3/hr機型 ModelUnitPDF110抽氣速度 PumpingSpeedm3/hr110終極壓力 UltimatePressureTorr1X10-2底壓耗能底壓耗能 UltimatePressurePowerkW0.35待機耗能待機耗能

22、Green mode Power0.08連接 Connection進氣口 InletISO63排氣口 OutletKF50冷卻水 Cooling Water接頭 ConnectionRC3/8流量 Flowslm1氮氣 N2接頭 Connection Swagelok”流量 Flowslm06Byprocess尺寸 Dim.長寬高 LWHmm398X358X551AD-11-A1_QH2011-08-10Page 36 排氣路徑短，減少反應物沉積排氣路徑短，減少反應物沉積幹式螺旋真空泵相較於其他形式的真空泵，因氣體於泵浦內的傳輸路徑最短，最不易產生反應物沉積的現象。此外，由於螺旋轉子在抽氣過程

23、中本身已具傳輸粉塵之機構，即使有反應物沉積也能很順利的排出泵浦。線形密封性佳，泵浦性能最優線形密封性佳，泵浦性能最優專利轉子密封線形，轉子密封性佳，轉子能以較大的嚙合間隙達到更快的抽氣效果。由於嚙合間隙較大，泵浦較不易因制程氣體沉積而卡死，轉子也較不易因磨耗而需更換。結構簡單，故障率低，維修容易結構簡單，故障率低，維修容易螺旋式真空泵因只需利用一對轉子互相嚙合達到密封效果，結構上不像其他形式的真空泵需要有中間隔板的設計，降低轉子與隔板沉積卡死的風險。且因其結構單純，拆解維修也較容易，因此能縮短維修時程，降低維修費用。微電腦操作，遠端監控，保護周全微電腦操作，遠端監控，保護周全(選配選配)微電腦

24、操控器提供真空泵浦最簡易的操作方式並能顯示泵浦完整的運轉狀態，方便使用者對泵浦應用狀況進行調整，在泵浦產生問題前進行預防保養。遠端監控系統能提供使用者方便的監控工具，使用者不需到現場即能查詢泵浦之運轉狀況。AD-11-A1_QH2011-08-10腔體冷卻特色及選用說明腔體冷卻特色及選用說明間接水冷配件依製程需求不同可提供殼體直接/間接水冷方案。直接水冷適合達40高溫環境使用。間接水冷可控制腔體良好均溫性，可維持製程物在氣態。AD-11-A1_QH2011-08-102022/12/25冷却水套冷却水套(间接冷却间接冷却)壳体冷却液冷却器厂务冷却水副水箱:提供压力平衡避免污染厂务水壳体均温AD

25、-11-A1_QH2011-08-10馬達特馬達特色及選用說明色及選用說明水冷馬達低噪音，適合週遭粉塵多的環境使用，不會因馬達風扇卡粉塵導致散熱不良。氣冷馬達標配為台灣電機大廠大同馬達，也可依客戶需求搭配指定品牌。無冷卻循環水客戶可選用氣冷馬達+自循環冷卻機型。水冷馬達 氣冷馬達 氣冷馬達 自循環冷卻 AD-11-A1_QH2011-08-10軸封特軸封特色及選用說明色及選用說明可選機械軸封唇式密封 進氣口 可選活塞環密封唇式密封 可選活塞環密封唇式密封 馬達SKF軸承選用和德國真空泵大廠相同廠牌規格 AD-11-A1_QH2011-08-10轉子特色及選用說明轉子特色及選用說明第一代PS系列

26、圓棒材加工舊設計排氣反覆壓縮高溫、耗功 第三代PD系列變導程設計低溫、低耗功 第二代PS系列平衡孔少降低回漏率提高真空度溫度、耗功降低 AD-11-A1_QH2011-08-10實績實績(年出貨年出貨1200台以上台以上)n熱處理n製藥n化工n太陽能n航空航天nLEDnTFT-LCDn半導體AD-11-A1_QH2011-08-10Page 43PS机种机种-YZV 机型分类机型分类 Pump Type DefinitionSeries机种机种-外罩外罩控制器控制器氮气加热器氮气加热器镀层镀层变频器变频器Model-Type ControllerN2 HeaterCoating Inverte

27、r(PS)(XXX)-(Z)(V)PS80-SD N H C1 2160180C302602N9021302A18022002H2202PD机种机种-YZV 机型分类机型分类 Pump Type DefinitionSeries机种机种-外罩外罩控制器控制器氮气加热器氮气加热器镀层镀层变频器变频器Model-TypeControllerN2 HeaterCoatingInverter(PS)(XXX)-(Z)(V)PD120 300 400 650 800-SD N H C1 2CNAHPS/PD机种分类机种分类V（变频器Inverter）：1：助力泵加装变频器 2：助力泵、螺旋泵加装变频器1

28、：Booster with Inverter 2：Booster and Screw pump with InvertersAD-11-A1_QH2011-08-101.專用冷卻液冷卻，避免了冷卻水專用冷卻液冷卻，避免了冷卻水可能對殼體造成腐蝕。可能對殼體造成腐蝕。2.移動式操作介面，方便操作；顯移動式操作介面，方便操作；顯示真空泵實際工作狀況，並可選中示真空泵實際工作狀況，並可選中英兩種文字顯示，切實貼近客戶。英兩種文字顯示，切實貼近客戶。3.軍規電源接頭，安全方便。軍規電源接頭，安全方便。4.氮氣加熱器與殼溫控制，使真空氮氣加熱器與殼溫控制，使真空泵更適應於泵更適應於CVD、PECVD等半導體等半導體制程。制程。5.控制訊號及通訊信號介面，可對控制訊號及通訊信號介面，可對真空泵進行遠端監控。真空泵進行遠端監控。高階機型特色殼溫控制AD-11-A1_QH2011-08-10Page 45n 於轉子、殼體、端版 Coating Ceramic，可避免 Powder 沾黏且可抗腐蝕Coating Nanometer CeramicAD-11-A1_QH2011-08-10