电阻应变计式传感器课件.pptx
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1、第2章 电阻式传感器电阻应变计的基本原理与结构电阻应变计的基本原理与结构2.1电阻应变计的主要特性电阻应变计的主要特性2.2电阻应变计的温度效应及其补偿电阻应变计的温度效应及其补偿2.3电阻应变计的应用电阻应变计的应用2.4点击进入测量电路测量电路2.5电阻应变计式传感器电阻应变计式传感器2.6第2章 电阻式传感器2.1电阻应变计的基本原理结构和应用电阻应变计的基本原理结构和应用 物体在外部压力或拉力作用下物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象发生形变的现象()除去外力后,物体能够完全恢复其除去外力后,物体能够完全恢复其尺寸尺寸和和形状形状的应变的应变.应变应变-弹性应变弹性应变-、导电材料
2、的应变电阻效应、导电材料的应变电阻效应电阻应变片的工作原理是基于电阻应变片的工作原理是基于应变效应应变效应,即,即导体导体或或半导体半导体材料材料在在外界力外界力的作用下产生的作用下产生机械变形机械变形时,其电阻值发生变化,时,其电阻值发生变化,这这种现象称为种现象称为“应变电阻效应应变电阻效应”。LdL第2章 电阻式传感器dAdAldlRdR(2-2)F如图所示,一根长如图所示,一根长 l,截面积为,截面积为A的金属电阻丝,的金属电阻丝,F=0时时,原始电阻,原始电阻R值为:值为:AlR(2-1)(电阻值相对变化量电阻值相对变化量)FFlL+dl2r2(r-dr)dldAd推出取取对对数数再
3、再微微分分第2章 电阻式传感器22rdrAdA在弹性范围内,金属丝受拉力时,沿轴向伸长,在弹性范围内,金属丝受拉力时,沿轴向伸长,沿径向缩短,沿径向缩短,轴向应轴向应变和径向应变的关系可表示为变和径向应变的关系可表示为:LdLrdrLdLdAdAldlRdR长度相对变化量,长度相对变化量,式中式中-称材料的称材料的轴向线应变轴向线应变,常用单位常用单位(1=110-6mm/mm);为为电阻丝材料的泊松比(与材料有关,电阻丝材料的泊松比(与材料有关,=-径向应变径向应变/轴向应变)轴向应变),负号表示应变方向相反。负号表示应变方向相反。dRdR)21((2-3)可得:可得:22rdrAdA圆形电
4、阻丝的截面积相对变化量,设圆形电阻丝的截面积相对变化量,设r为电阻丝的半径,为电阻丝的半径,-径向应变径向应变材料力学材料力学第2章 电阻式传感器dRdRK21(2-4)灵敏系数灵敏系数-K-标志着该类丝材电阻应变片效应显著与否。标志着该类丝材电阻应变片效应显著与否。为测点处应变,为无量纲的量,但习惯上仍给以单位微应变,为测点处应变,为无量纲的量,但习惯上仍给以单位微应变,常用符号常用符号表示。表示。单位应变单位应变能引起的能引起的电阻值相对变化量电阻值相对变化量K受两个因素影响:受两个因素影响:1+2(d/)/-材料几何尺寸材料几何尺寸-材料的电阻率材料的电阻率在电阻丝拉伸极限内,在电阻丝拉
5、伸极限内,电阻的相对变化与电阻的相对变化与应变成正比,即应变成正比,即K为常数。为常数。实验证明实验证明材料材料不同,两个因素影响作用的大小不同!不同,两个因素影响作用的大小不同!第2章 电阻式传感器以结构尺寸变化为主,对金属或合金以结构尺寸变化为主,对金属或合金,一般一般Ko=Km=1.84.8。1.金属材料的应变电阻效应金属材料的应变电阻效应金属材料的金属材料的电阻相对变化电阻相对变化与其与其线应变线应变成正比。成正比。这就是金属材料的应变电阻效应。这就是金属材料的应变电阻效应。结论1+2(/)/第2章 电阻式传感器Ed(2-5)2.半导体材料的压阻效应半导体材料的压阻效应-半导体材料,当
6、某一轴向受外力作用时,半导体材料,当某一轴向受外力作用时,其电阻率其电阻率发生变化的现象。发生变化的现象。式中:式中:半导体材料的压阻系数半导体材料的压阻系数;半导体材料的所受应变力半导体材料的所受应变力;E半导体材料的弹性模量半导体材料的弹性模量;半导体材料的应变。半导体材料的应变。)21(ERdR(2-6)半导体材料的应变电阻效应主要基于半导体材料的应变电阻效应主要基于压阻效应压阻效应。通常。通常Ks=100Km。piezoresistive effct 分析:分析:实践证明 E(1+2)因此:半导体丝材的因此:半导体丝材的Ko=KsE结论第2章 电阻式传感器、电阻应变计的类型与结构、电阻
7、应变计的类型与结构常用的电阻应变计有两种:常用的电阻应变计有两种:金属应变计金属应变计半导体半导体应变计应变计第2章 电阻式传感器结构结构(组成组成):1基底基底固定敏感固定敏感栅栅2敏感栅敏感栅应变应变-电阻转换电阻转换3引线引线连接栅与连接栅与测量电路测量电路4盖层盖层保护层保护层有回线式和短接式二种。回线有回线式和短接式二种。回线式最为常用,制作简单,性能式最为常用,制作简单,性能稳定,成本低,易粘贴,但稳定,成本低,易粘贴,但横横向效应向效应较大。较大。5粘结剂粘结剂粘贴传递应变粘贴传递应变第2章 电阻式传感器3向应变测量用优点是:栅的尺寸准确、一致性好、适于大批量生产,易于小型优点是
8、:栅的尺寸准确、一致性好、适于大批量生产,易于小型化、易散热、疲劳寿命高等。化、易散热、疲劳寿命高等。(应变花)(应变花)应变花应变花-也称多轴应变计,平面应变场中,需准确检测表面某也称多轴应变计,平面应变场中,需准确检测表面某点主应力大小、方向点主应力大小、方向第2章 电阻式传感器半导体半导体应变计灵敏度高,体积小,省电,滞后小,可测静态灵敏度高,体积小,省电,滞后小,可测静态应变、低频应变。应变、低频应变。但重复性、温度及时间稳定但重复性、温度及时间稳定性差。性差。多用于测量小的应变(微应变到数百微应变)引引线线基基底底敏感栅敏感栅电极电极特点第2章 电阻式传感器、电阻应变计的应用、电阻应
9、变计的应用1、应变计的选用、应变计的选用(1)选择类型)选择类型使用目的、要求、对象、环境等使用目的、要求、对象、环境等(2)材料考虑)材料考虑使用温度、时间、最大应变量及精度使用温度、时间、最大应变量及精度(3)阻值选择)阻值选择根据测量电路和仪器选定标称电阻根据测量电路和仪器选定标称电阻(4)尺寸考虑)尺寸考虑试件表面、应力分布、粘贴面积试件表面、应力分布、粘贴面积(5)其他考虑)其他考虑特殊用途、恶劣环境、高精度特殊用途、恶劣环境、高精度第2章 电阻式传感器2、应变计的使用、应变计的使用(1)粘结剂的选择)粘结剂的选择 通常在室温工作的应变片多采用常温、指通常在室温工作的应变片多采用常温
10、、指压固化条件的粘结剂如聚脂树脂、环氧树脂类。压固化条件的粘结剂如聚脂树脂、环氧树脂类。(2)应变计的粘贴)应变计的粘贴 准备准备试件和应变片;涂胶;贴片;试件和应变片;涂胶;贴片;复查;接线;防护。复查;接线;防护。第2章 电阻式传感器2.2 电阻应变计的主要特性电阻应变计的主要特性xRR Kx应变计多为一次性使用,应变计的特性是按规定的条件,从大批量生产中按比例抽样实测而得静态特性静态特性1、灵敏系数、灵敏系数K应变计的轴向应变应变计的轴向应变-一般KK0(整长)12RKR 第2章 电阻式传感器xxyyxxyyr(1)xxyyxxR RKKKaH2、横向效应及横向效应系数、横向效应及横向效
11、应系数H由于传感器是多线的,线与线之间连接部分不在测量方向上,引起横向效应一般计算公式:纵向(感受轴向)横向(感受径向)双向应变比双向应变灵敏系数比第2章 电阻式传感器0(1)xxR RKH000000(1)(1)(1)()()(1)(1)xxxxxKaHKHeKHHaHHH标定情况下:标定情况下:可见,横向效应使传感器的灵敏度系数下降可见,要减小误差,必须使H减小a=y/x=-0非标定情况下:非标定情况下:相对误差为:对横向效应分析结果的应用结果之一是箔式应变计另外,应变计的长度要长、横栅r要小。消除误差方法第2章 电阻式传感器2 电阻应变计的主要特性d和成线性关系,其比例系数K与弹性元件尺
12、寸、材料特性参数有关;金属丝式(单轴应变计)由于传感器是多线的,线与线之间连接部分不在测量方向上,引起横向效应(2)双丝自补偿应变计通常Ks=100Km。这种传感器由于采用了悬臂梁-螺旋弹簧串联的组合结构,因此它适用于较大位移(量程10100mm)的测量。应用范围:扭矩传感器是一种测量各种扭矩、转速及机械功率的精密测量仪器。应变式加速度传感器(1)选择类型使用目的、要求、对象、环境等物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象()由材料力学可知,位移量与贴片处应变之间的关系为:全部外螺纹连接,方便安装。图表示一频率为f,幅值为0的正弦波,以速度v沿着应变计纵向x方向传播时,在某一瞬时t的分布图。应
13、变片的典型应用见下图。这样小的电阻变化既难以直接精确测量,又不便直接处理。为测点处应变,为无量纲的量,但习惯上仍给以单位微应变,常用符号表示。对横向效应分析结果的应用结果之一是箔式应变计(4)尺寸考虑试件表面、应力分布、粘贴面积(1)膜片式压力传感器jZ10jZ3、机械滞后-回差原因:基底材料、粘结剂的材料、残余变形通常要求:第2章 电阻式传感器limlim0P0P10%真实应变指示应变4、蠕变 与零漂零漂和蠕变反映传感器的长期稳定性5、应变极限应变计的线性范围,是衡量应变计测量范围和过载能力的指标,一般8000蠕变零漂恒温恒载时,输出t空载时,输出 t第2章 电阻式传感器动态特性动态特性-应
14、变计的动态特性就是指其感受随时间变化的应变时的响应特性机械应变以声波的形式和速度在材料中传播的。通过基底、胶层引起应变计的响应有时间的迟后(响应迟后)产生误差误差第2章 电阻式传感器1、对正弦信号的响应 图表示一频率为f,幅值为0的正弦波,以速度v沿着应变计纵向x方向传播时,在某一瞬时t的分布图。应变计中点xt的瞬时应变为)2sin(sin00 xtt,fvvtx.fxt第2章 电阻式传感器012sinsinptlxlldxl21sin16pttlllfe max6lle max6fel而栅长L范围xt(L/2)内的平均应变为:相对误差为上式表明,当频率增加时,误差增大,因此应使或第2章 电阻
15、式传感器lfltltrh44.08.0lb-b-应变波通过栅长的理论响应特性应变波通过栅长的理论响应特性lC-C-实际响应特性实际响应特性2.对阶跃应变波的响应la-试件产生的阶跃机械应变波;试件产生的阶跃机械应变波;第2章 电阻式传感器 2.3电阻应变计的温度效应及其补偿电阻应变计的温度效应及其补偿(2-7)()().ttstRa tKtR、温度效应及其热输出、温度效应及其热输出设工作设工作温度变化为温度变化为t,则引起粘贴在试件上的应变计,则引起粘贴在试件上的应变计电阻的相对变化电阻的相对变化为为:热阻效应引起敏感栅与试件热膨胀失配引起ttaKKRRtsttt).(1)/(相对的热输出为相
16、对的热输出为:(2-8)1、温度效应、温度效应第2章 电阻式传感器)(tstKa(2-9)0t、热输出补偿方法、热输出补偿方法1、温度自补偿法、温度自补偿法精心精心选配选配敏感栅材料与结构参数来实现热输出补偿敏感栅材料与结构参数来实现热输出补偿。(1)单丝自补偿应变计单丝自补偿应变计在研制和选用应变计时,若选择敏感栅的合金材料,在研制和选用应变计时,若选择敏感栅的合金材料,其其t、t能与试件材料的能与试件材料的s相匹配,相匹配,达到温度自补偿的目的达到温度自补偿的目的工艺解决抵消只要只要即满足即满足方法第2章 电阻式传感器bataatbbatbtRRRRRR)/()((2-10)图图2.2(a
17、)回线式()回线式(b)短接式)短接式若若Ra栅产生正的热输出栅产生正的热输出a与与Rb栅产生负的热输出栅产生负的热输出b相等或相近,就可达到相等或相近,就可达到自补偿的目的,即自补偿的目的,即:RaRbRa Rb(2)双丝自补偿应变计双丝自补偿应变计敏感栅由电阻温度系数一正一负的两种合金丝串敏感栅由电阻温度系数一正一负的两种合金丝串接而成。接而成。当工作温度变化时,当工作温度变化时,第2章 电阻式传感器图图2.3 双丝半桥式热补偿应变计双丝半桥式热补偿应变计2、桥路补偿法、桥路补偿法(1)双丝半桥式)双丝半桥式RaRbRa Rb电路解决1122ttBRR-敏感栅的敏感栅的2个电阻是同符号的,
18、分别接入个电阻是同符号的,分别接入2个桥臂个桥臂调整调整Rb,使热补偿使热补偿达最佳状态达最佳状态第2章 电阻式传感器图为国产YW系列应变式位移传感器结构。CYT-302扭矩传感器在应变桥专有的技术基础上研制开发的,专门用于测量扭矩、转速参数的旋转测量。应用范围:扭矩传感器是一种测量各种扭矩、转速及机械功率的精密测量仪器。感压膜感受上面液体的压力。4 补偿块半桥热补偿应变计1电阻应变计的基本原理结构和应用因此,梁的应变在一定的频率范围内与振动体的加速度成正比。以结构尺寸变化为主,对金属或合金,一般Ko=Km=1.F=0时,原始电阻R值为:丝式-金属丝弯曲图表示一频率为f,幅值为0的正弦波,以速
19、度v沿着应变计纵向x方向传播时,在某一瞬时t的分布图。机械应变以声波的形式和速度在材料中传播的。则由受压弹性元件(膜片、膜盒或波纹管)和应变弹性元件(如各种梁)组合而成。应变计中点xt的瞬时应变为E半导体材料的弹性模量;常用单位(1=110-6mm/mm);(2)双丝自补偿应变计应用领域:各种电子汽车衡、单轨吊称、料斗称等.R1贴在试件上,接入电桥工作臂,R2贴在与试件同材料、同环境温度,但不参与机械应变的补偿块上,接入电桥相邻臂作补偿臂,补偿臂产生与工作臂相同的热输出,通过电桥,起到补偿作用。(2)双丝自补偿应变计图图2.4 补偿块半桥热补偿应变计补偿块半桥热补偿应变计 使用两个相同的应变计
20、。使用两个相同的应变计。R1贴在试件上,接入电贴在试件上,接入电桥工作臂,桥工作臂,R2贴在与试贴在与试件同材料、同环境温度,件同材料、同环境温度,但不参与机械应变的补偿但不参与机械应变的补偿块上,接入电桥相邻臂作块上,接入电桥相邻臂作补偿臂,补偿臂产生与工补偿臂,补偿臂产生与工作臂相同的热输出,通过作臂相同的热输出,通过电桥,起到补偿作用。电桥,起到补偿作用。(2)补偿块法)补偿块法试件试件补偿补偿块块第2章 电阻式传感器图图2.5 差动电桥法差动电桥法巧妙地安装应变片可以起补偿作用并提高灵敏度巧妙地安装应变片可以起补偿作用并提高灵敏度将两个应变片分别贴于测悬梁上下对将两个应变片分别贴于测悬
21、梁上下对称位置,称位置,R1、RB特性相同,所以两电特性相同,所以两电阻变化值相同而符号相反。因而电桥阻变化值相同而符号相反。因而电桥输出电压比单片时增加输出电压比单片时增加1倍。当梁上下倍。当梁上下温度一致时,温度一致时,RB与与R1可起温度补偿作可起温度补偿作用。用。(3)差动电桥法)差动电桥法第2章 电阻式传感器应变计的代号选用应变计应的方法选择类型选择材料选择阻值测量仪器的要求2.4 电阻应变计的应用电阻应变计的应用第2章 电阻式传感器2.5 测量电路测量电路1 1、电阻应变仪工作原理、电阻应变仪工作原理概述第2章 电阻式传感器2、应变电桥直流电桥与交流电桥纯电阻可接入LC第2章 电阻
22、式传感器直流电桥及其输出特性直流电桥及其输出特性纯电阻1324R RR R31 32 42034123412()RRR RRRUUUR RR RR RR R1423RRRR1、电压输出电桥平衡的条件:输出电压:2-26第2章 电阻式传感器 11332244033441122RRRRRRRRUURRRRRRRR312421234031241234111RRRRnURRRRnURRRRnnRRRR331241240123412341142RRRRRRRRUURRRRRRRR代入R:如果为全等臂电桥R1=R2=R3=R4,n=1则:分子分母同除以R1R3,并略去高除微量得:假设四臂都变令R2/R1=
23、nRiRi,忽略近似线性2-272-282-29第2章 电阻式传感器312401234123444RRRRUUUKRRRR111011111424RURRUURRR1014uURSUR 对单臂,R1为应变片,可简写为:因此,单臂电桥的电压灵敏度为:3124012344RRRRUURRRR3124012344RRRRUURRRR2-302-312-322-33第2章 电阻式传感器11111100110111142424RRRUURRRUUKeRUUKR2、非线性特性从上述各式可看出,只有R很小时,桥路的输出才为线性第2章 电阻式传感器采用金属应变计,减小R,在一定精度条件下可免去补偿措施半导体应
24、变计虽然灵敏度高,但非线性误差大非线性补偿差动电桥补偿采用恒流源解决办法第2章 电阻式传感器敏感栅由电阻温度系数一正一负的两种合金丝串接而成。(2)双丝自补偿应变计由于传感器是多线的,线与线之间连接部分不在测量方向上,引起横向效应敏感栅由电阻温度系数一正一负的两种合金丝串接而成。3 双丝半桥式热补偿应变计应变花-也称多轴应变计,平面应变场中,需准确检测表面某点主应力大小、方向灵敏系数-应用范围十分广泛,主要用于:1、电动机、发动机、内燃机等旋转动力设备输出扭矩及功率的检测;由材料力学可知,位移量与贴片处应变之间的关系为:金属丝式(单轴应变计)二、基本原理:扭矩的测量:采用应变片电测技术,在弹性
25、轴上组成应变桥,向应变桥提供电源即可测得该弹性轴受扭的电信号。因此,必须采用转换电路,把应变计的R/R变化转换成电压或电流变化。因而电桥输出电压比单片时增加1倍。机械应变以声波的形式和速度在材料中传播的。由材料力学可知,位移量与贴片处应变之间的关系为:常用的电阻应变计有两种:F=0时,原始电阻R值为:技术参数:额定载荷010200t这样小的电阻变化既难以直接精确测量,又不便直接处理。2、横向效应及横向效应系数H由于供桥电源为交流电源,引线分布电容使得二桥由于供桥电源为交流电源,引线分布电容使得二桥臂应变片呈现复阻抗特性,即相当于两只应变片各并臂应变片呈现复阻抗特性,即相当于两只应变片各并联了一
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