扫描电镜讲义课件.ppt

1、*分辨率的极限：0.2m（可见光(0.4-0.8m)照明情况下）放大倍数的极限：2000*景深的极限：（要求金相制样）0.1m*不能分析化学成分*用波长较短的电子束为光源 (25kV时，波长 =0.007nm)，分辨率可达 5nm，放大倍数 10-100000 *扫描方式导致长物距 数十 m （1000 时）不再要求金相准备*以电子束诱发原子内层电子跃迁，产生一定波长 的特征x-射线，测量其能量或波长分布，将微 区图象分析与成分分析相结合*电子：二次电子二次电子(SE)(SE)背散射电子背散射电子(BE)(BE)(以及俄歇电子)*x-射线：特征特征x-x-射线射线 (以及x-射线连续谱)*以及

2、其他信号 如样品电流、电子磁场偏转、通道花样、感生电流、阴极荧光等注意：各探测器的位置并不相同X-射线光子的能量 h=EK-EL h特征x-射线光子 能量 EK被填充的内层 电子能级能量 EL跃迁电子原来的 能级能量 能谱分析轻元素的能力差EDX：速度快 (1min)能量分辨率低 (100eV)检测极限0.1%WDX：速度慢 (10min)能量分辨率高 (eV)检测极限0.01%H.Sato et al./Diamond and Related Materials 7(1998)11671171(a)(b)CWSil 与光学显微镜相比，扫描电子显微镜的三个主要特点l 扫描电子显微镜三种主要分析

3、模式的原理和空间分辨率l 扫描电镜分析化学成分时采用的两种技术的区别与特点l为什么用扫描电镜分析轻元素比较困难阅读文献F.Arenas，International Journal of Refractory Metals&Hard Materials，17(1999)91，并讨论下列问题1.在SEM观察时（图1）采用了背散射电子像的模式。说明使用此分析模式的目的和保证此目的得以实现的原理。分析在图1中，亮度最高的相是哪一个，亮度最低的相又是哪一个？2.即使使用x-射线能量色散谱技术，仍定量分析了原子序数为6的轻元素（C）的含量（图2）。为什么可以做到这一点？在图2中，C的峰为什么比较弱？原子序数较大的W的峰为什么跑到了原子序数较小的V的左侧？结结 语语