第三次课MEMS执行器工作原理课件.ppt
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1、MEMSMEMS执行器的工作原理执行器的工作原理LOGO内容回顾内容回顾光光声声力力温度温度化学化学其他其他传传感感器器模拟模拟信号信号处理处理数字数字信号信号模拟模拟信号信号处理处理执执 行行 器器运动运动能量能量状态状态信息信息其他其他与其它微系统的通讯与其它微系统的通讯/接口接口LOGO内容回顾内容回顾压电效应压电效应电容效应电容效应压阻效应压阻效应传感元件传感元件隧穿效应隧穿效应热效应热效应光学效应光学效应谐振效应谐振效应热力效应热力效应静电效应静电效应形状记忆形状记忆合金效应合金效应执行元件执行元件电磁效应电磁效应光、化学、生物等光、化学、生物等LOGO静电效应静电效应u MEMSM
2、EMS执行器功能示意图执行器功能示意图输出动作输出动作微执行元件微执行元件能量供给能量供给传输单元传输单元夹钳臂夹钳臂 电极电极电极电极夹钳臂夹钳臂 u 利用静电致动的利用静电致动的MEMSMEMSLOGO微夹钳微夹钳微镊子微镊子微型梳状结构微型梳状结构微型电动机微型电动机LOGOdab平行板电容器的电容平行板电容器的电容C C平行板电容器的能量平行板电容器的能量W W 虚功原理虚功原理 对于一个静态平衡的系统,所有外力的作用,经过虚位移,对于一个静态平衡的系统,所有外力的作用,经过虚位移,所作的虚功,总合等于零。所作的虚功,总合等于零。2CU21W dabC0rLOGO MEMS MEMS微
3、执行器中常用的静电力驱动结构微执行器中常用的静电力驱动结构 和静电力计算公式和静电力计算公式 二维平行板结构二维平行板结构 矩形板结构矩形板结构 圆形板结构圆形板结构LOGO二维平行板结构静电力计算(二维平行板结构静电力计算(MEMSMEMS中最常用的一种)中最常用的一种)平行板电容器结构示意图平行板电容器结构示意图 考虑四个边的边缘效应考虑四个边的边缘效应只考虑两个长边的边缘效应只考虑两个长边的边缘效应 平行板电容器俯视图平行板电容器俯视图边缘效应区边缘效应区极板的宽度极板的宽度a,a,长度长度b b,且有,且有aba30a/d30时,时,所有公式的误差都低于所有公式的误差都低于3%3%,工
4、程上用最简单的无限大,工程上用最简单的无限大平行板静电力公式即可。平行板静电力公式即可。3.3.采用复变函数保角变换推导出的简化公式具有精度高、采用复变函数保角变换推导出的简化公式具有精度高、表达式简单的特点,适合于工程应用。表达式简单的特点,适合于工程应用。LOGOdaabUddabUrr20220212F 当矩形极板不满足当矩形极板不满足abab的条件时,需要考虑另外两个边的边的条件时,需要考虑另外两个边的边缘效应。缘效应。选用精度高、形式简单的基于保角变化的计算公式进行修正。选用精度高、形式简单的基于保角变化的计算公式进行修正。首先,将公式展开为:首先,将公式展开为:其中第一项为无限大平
5、板静电力计算公式,第二项是对长度其中第一项为无限大平板静电力计算公式,第二项是对长度为为b b的两个边缘电场修正,按照矩形对称的形式,将边长为的两个边缘电场修正,按照矩形对称的形式,将边长为a a的两边给出对称的修正表达式,可得到:的两边给出对称的修正表达式,可得到:矩形板结构静电力计算矩形板结构静电力计算LOGO)(ddadabUdabUddaabUddabUrrrrbdd12b21212F2202020220LOGO 克希霍夫公式克希霍夫公式给出了半径为给出了半径为R R的圆形平行板电容公式的圆形平行板电容公式:)116(lnRC020dRRdrr)1(2URF2220Rddr 根据根据虚
6、功原理虚功原理,可以得到圆形极板间的静电力为:,可以得到圆形极板间的静电力为:圆形极板结构静电力计算圆形极板结构静电力计算LOGO静电力的大小仅仅取决于极板的相对表面积和间距静电力的大小仅仅取决于极板的相对表面积和间距,适合适合微微观领域观领域;静电驱动力与体积比极高,与尺寸平方成比例,尺寸越小,静电驱动力与体积比极高,与尺寸平方成比例,尺寸越小,间隙越小,单位体积产生的静电力越大;间隙越小,单位体积产生的静电力越大;采用电压驱动,易于控制和高速化,可实现低功耗。另外,采用电压驱动,易于控制和高速化,可实现低功耗。另外,制作工艺与制作工艺与ICIC工艺兼容,易于集成工艺兼容,易于集成;当静电执
7、行器电极板表面存在毛刺灰尘时候,存在电击穿当静电执行器电极板表面存在毛刺灰尘时候,存在电击穿的危险,所以要求静电执行器的表面非常平整,必须做一的危险,所以要求静电执行器的表面非常平整,必须做一个合适的隔离层,并将其封装起来。个合适的隔离层,并将其封装起来。静电力驱动的应用静电力驱动的应用LOGOLOGO热力效应热力效应原理:基于固体或者流体的热胀冷缩原理:基于固体或者流体的热胀冷缩常见结构:常见结构:双变体结构,弯曲梁结构,热空气结构双变体结构,弯曲梁结构,热空气结构双变体结构示意图双变体结构示意图温度控制的电开关温度控制的电开关蠕虫状步进微马达蠕虫状步进微马达LOGO弯曲梁结构示意图弯曲梁结
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