溅射镀膜试验课件.ppt
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1、-溅射镀膜实验溅射镀膜实验薄膜物理与技术薄膜物理与技术 主要的真空泵主要的真空泵 油封机械泵油封机械泵 分子泵分子泵 分子泵Balzers,1992Leybold M2000,1999“Clean,Lean Vacuum Machine”Turbos 气体随转子作圆周运动,获得离心力,与气体随转子作圆周运动,获得离心力,与转子上页碰撞,按余弦定律散射,获得速转子上页碰撞,按余弦定律散射,获得速度,后与定子下交碰撞,再获向右速度分度,后与定子下交碰撞,再获向右速度分量。量。条件:(条件:(1)起始工作气压小,入大。)起始工作气压小,入大。常压下,空气常压下,空气=0.06m,1.3Pa,=4.4
2、mm要求要求大于叶片间距。大于叶片间距。(2)转子叶片线速度与气体分子速度相)转子叶片线速度与气体分子速度相近分子量大、气体易抽,近分子量大、气体易抽,H2难抽难抽H2最可几最可几速率速率1557m/s,极限真空残余气体中。,极限真空残余气体中。85%为为H2。Pump OperationMoleculeVMoving Wall with Speed VPrinciple of the Turbomolecular PumpVacuum SystemsTurboPumpedSputteringSystem Plasma Ignition:Sweet Spot巴邢曲线3.DC sputterin
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