反射式微波传感器课件.ppt

1、第11章 微 波 传 感 器 第11章 微 波 传 感 器 11.1 微波概述微波概述 11.2 微波传感器的原理和组成微波传感器的原理和组成11.3 微波传感器的应用微波传感器的应用 第11章 微 波 传 感 器 11.1 微波概述微波概述 微波：微波：波长为0.1 m 1 mm的电磁波（频率范围：电磁波（频率范围：300MHZ3000GHZ），可以细分为三个波段：三个波段：分米波、厘米波、毫米波。微波的性质：微波的性质：既具有电磁波的性质，又不同于普通无线电波和光波的性质，是一种相对波长较长的电磁波。特点：特点：似光性和似声性-像光线一样直线传播、反射和折射、易集中；波长与无线电波相当，特

2、征与声波相似；分析方法独特-属高频，应用电磁场理论的场与波传输的分析方法；共度性-其微波振荡周期与电子在真空管内的渡越时间（秒左右）相当，这个特性称为共度性；穿透性-传输特性好，传输过程中受烟雾、火焰、灰尘、强光的影响很小，水对微波的吸收作用最强。；信息性-信息容量巨大，应用领域广泛；非电离性-微波与物体之间的作用是非电离-910第11章 微 波 传 感 器 11.2 微波传感器的原理和组成微波传感器的原理和组成 11.2.1 微波传感器的测量原理及分类微波传感器的测量原理及分类 测量原理：利用微波特性来检测某些物理量的器件或装置。测量原理：利用微波特性来检测某些物理量的器件或装置。由发射天线

3、发出微波，此波遇到被测物体时将被吸收或反射，使微波功率发生变化利用接收天线，接收到通过被测物体或由被测物体反射回来的微波，并将它转换为电信号，再经过信号调理电路，即可以显示出被测量，实现了微波检测。分类：分类：分为反射式和遮断式两类。分为反射式和遮断式两类。第11章 微 波 传 感 器 1.反射式微波传感器反射式微波传感器 反射式微波传感器：反射式微波传感器：通过检测被测物通过检测被测物反射回来的微波功率反射回来的微波功率或经过的或经过的时间间隔时间间隔来测量被测量的。通常它可以来测量被测量的。通常它可以测量物体的位测量物体的位置、位移、厚度等参数置、位移、厚度等参数。2.遮断式微波传感器遮断

4、式微波传感器 遮断式微波传感器：遮断式微波传感器：通过检测接收天线收到的微波功率大通过检测接收天线收到的微波功率大小来判断发射天线与接收天线之间有无被测物体或被测物体的小来判断发射天线与接收天线之间有无被测物体或被测物体的厚度、厚度、含水量等参数的。含水量等参数的。第11章 微 波 传 感 器 11.2.2 微波传感器的组成微波传感器的组成组成：组成：微波发射器（即微波振荡器）、微波发射器（即微波振荡器）、微波天线及微波检测器微波天线及微波检测器三部分。三部分。1.微波振荡器及微波天线微波振荡器及微波天线 微波振荡器：微波振荡器：是产生微波的装置。对振荡回路的要求：对振荡回路的要求：由于微波波

5、长很短，即频率很高（300 MHz300 GHz）要求振荡回路中具有非常微小的电感与电容要求振荡回路中具有非常微小的电感与电容不能用普通的电子管与晶体管构成微波振荡器。微波振荡器的构成器件：微波振荡器的构成器件：有调速管、磁控管或某些固态器件，小型微波振荡器也可以采用体效应管。第11章 微 波 传 感 器 微波天线：微波天线：用波导管用波导管（管长为10 cm以上，可用同轴电缆）传输，并通过天线发射出去。传输，并通过天线发射出去。为了使发射的微波具有尖锐的为了使发射的微波具有尖锐的方向性，天线要具有特殊的结构。常用的天线如图方向性，天线要具有特殊的结构。常用的天线如图11-1所示，其中有喇所示

6、，其中有喇叭形天线（图（叭形天线（图（a）、（、（b）、）、抛物面天线（图（抛物面天线（图（c）、（）、（d）、）、介介质天线与隙缝天线等。质天线与隙缝天线等。喇叭形天线结构简单，制造方便，可以看作是波导管的延续。喇喇叭形天线结构简单，制造方便，可以看作是波导管的延续。喇叭形天线在波导管与空间之间起匹配作用，可以获得最大能量输出。抛叭形天线在波导管与空间之间起匹配作用，可以获得最大能量输出。抛物面天线使微波发射方向性得到改善。物面天线使微波发射方向性得到改善。(a)(b)(c)(d)图图11-1 常用的微波天线常用的微波天线(a)扇形喇叭天线扇形喇叭天线(b)圆锥形喇叭天线圆锥形喇叭天线 (c

7、)旋转抛物面天线旋转抛物面天线(d)抛物柱面天线抛物柱面天线 第11章 微 波 传 感 器 2.微波检测器微波检测器敏感探头：敏感探头：电磁波作为空间的微小电场变动而传播，所以使用使用电流电流-电压特性呈现非线性电压特性呈现非线性的电子元件作为探测它的敏感探头。的电子元件作为探测它的敏感探头。要求：要求：足够快的响应速度足够快的响应速度。与其它传感器相比，敏感探头在其工作频率范围内必须有足够快的响应速度。不同频率、不同要求下采用的探头元件：不同频率、不同要求下采用的探头元件：几兆赫以下半导体PN结，频率比较高的使用肖特基结。灵敏度特性要求特别高的情况下使用超导材料的约瑟夫逊结检测器、SIS检测

8、器等超导隧道结元件，接近光的频率区域使用由金属-氧化物-金属构成的隧道结元件。第11章 微 波 传 感 器 两种微波的检测方法：微波的检测方法：一种是将微波变化为电流的视频变化方式，将微波变化为电流的视频变化方式，一种是与本机振荡器并用而变化为频率比微波低的外差法。与本机振荡器并用而变化为频率比微波低的外差法。微波检测器性能参数：微波检测器性能参数：频率范围、灵敏度-波长特性、检测面积、FOV（视角）、输入耦合率、电压灵敏度、输出阻抗、响应时间常数、噪声特性、极化灵敏度、工作温度、可靠性、温度特性、耐环境性等。第11章 微 波 传 感 器 11.2.3 微波传感器的特点微波传感器的特点 微波传

9、感器是一种新型的微波传感器是一种新型的非接触传感器。非接触传感器。特点：特点：有极宽的频谱有极宽的频谱（波长=1.0 mm1.0m）可供选用，可根据被测对象的特点选择不同的测量频率；适用于恶劣环境下工作：适用于恶劣环境下工作：在烟雾、粉尘、水汽、化学气氛以及高、低温环境中对检测信号的传播影响极小，因此可以在恶劣环境下工作；水对微波的吸收作用最强，水对微波的吸收作用最强，介质对微波的吸收介质的介电常数成比例；第11章 微 波 传 感 器 便于自动控制：便于自动控制：时间常数小，反应速度快，可以进行动态检测与实时处理；便于实现遥测和遥控：便于实现遥测和遥控：测量信号本身就是电信号，无须进行非电量的

10、转换，从而简化了传感器与微处理器间的接口，便于实现遥测和遥控；微波无显著辐射公害微波无显著辐射公害。微波传感器存在的主要问题是零点漂移和标定尚未得到很好的解决。其次，使用时外界环境因素影响较多，如温度、气压、取样位置等。第11章 微 波 传 感 器 11.3 微波传感器的应用微波传感器的应用 图11-2 微波液位计 微波发射天线Sd微波接收天线11.3.1.微波液位计（图微波液位计（图11-2）波长 的微波信号从被测液面反射后进入接收天线。接收天线接收的微波功率的大小随着被测液面的高低不同而异。第11章 微 波 传 感 器 11.3.2 微波湿度传感器微波湿度传感器 水分子在微波场中的储能与释

11、能水分子在微波场中的储能与释能水分子是极性分子，常态下成偶极子形式杂乱无章地分布着。在外电场作用下，偶极子在外电场作用下，偶极子会形成定向排列会形成定向排列。当微波场中有水分子时，偶极子受场的作用当微波场中有水分子时，偶极子受场的作用而反复取向，不断从电场中得到能量（储能）而反复取向，不断从电场中得到能量（储能）表现为微波信号表现为微波信号的相移，又不断释放能量（放能）的相移，又不断释放能量（放能）表现为微波衰减。表现为微波衰减。这个特性可用水分子自身介电常数来表征，即=+(11-1)式中：式中：储能的度量；储能的度量；衰减的度量；衰减的度量；常数。常数。第11章 微 波 传 感 器 与与与材

12、料、测试信号频率有关与材料、测试信号频率有关,极性分子均有此特性。极性分子均有此特性。一般一般干燥的物体干燥的物体，如木材、皮革、谷物、，如木材、皮革、谷物、纸张、纸张、塑料等，其塑料等，其在在15范范围内，围内，而而水的水的则高达则高达64因此如果材料中含有少量水分子时，其因此如果材料中含有少量水分子时，其复合复合将显著上升，将显著上升，也有类似性质。也有类似性质。使用微波传感器测量物体的含水量使用微波传感器测量物体的含水量：测量干燥物体测量干燥物体与含一定水分的潮湿物体所引起的微波信号的相移与衰与含一定水分的潮湿物体所引起的微波信号的相移与衰减量，减量，就可以换算出物体的含水量。就可以换算

13、出物体的含水量。第11章 微 波 传 感 器 图11-3测量酒精含水量的仪器框图。工作原理：工作原理：MS产生的微波功率经分功率器分成两路，再经衰减器产生的微波功率经分功率器分成两路，再经衰减器A1、A2分别注入到两个完全相同的转换器分别注入到两个完全相同的转换器T1、T2中。其中，中。其中，T1放置无水酒精，放置无水酒精，T2放置被测样品。相位与衰减测定仪（放置被测样品。相位与衰减测定仪（PT、AT）分别反复接通两电路）分别反复接通两电路（T1和和T2）输出，自动记录与显示它们之间的相位差与衰减差，）输出，自动记录与显示它们之间的相位差与衰减差，从而确从而确定样品酒精的含水量。定样品酒精的含

14、水量。T1A1T2A2MSPTATDD图11-3 酒精含水量测量仪框图 第11章 微 波 传 感 器 11.3.3 微波测厚仪微波测厚仪 微波测厚仪：微波测厚仪：利用微波在传播过程中遇到被测物体金属表利用微波在传播过程中遇到被测物体金属表面被反射，且反射波的波长与速度都不变的特性进行测厚。面被反射，且反射波的波长与速度都不变的特性进行测厚。工作过程（工作过程（图11-4）：）：被测金属体上下两表面各安装一个终端器。被测金属体上下两表面各安装一个终端器。信号微波经信号微波经A、D传输到上终端器传输到上终端器发射到被测物体上表面上发射到被测物体上表面上全反射后又全反射后又回到上终端器回到上终端器D

15、、AE下终端器下终端器发射到被测物体下表面的微波发射到被测物体下表面的微波全反全反射后又回到下终端器射后又回到下终端器EA。因此被测物体的厚度与微波传输过程中的行程长度有密切被测物体的厚度与微波传输过程中的行程长度有密切关系，关系，当被测物体厚度增加时，微波传输的行程长度便减小。放 大 器C环 行 器A环 行 器B上 终 端 器被 测 体下 终 端 器补 偿 短 路 器微 波 信 号 源振 动 短 路 器可 逆 电 机光 电 转 换 器显 示 器上传输导管D下传输导管E图图 11-4 微波测微波测厚仪原理图厚仪原理图 第11章 微 波 传 感 器 放 大 器C环 行 器A环 行 器B上 终 端

16、 器被 测 体下 终 端 器补 偿 短 路 器微 波 信 号 源振 动 短 路 器可 逆 电 机光 电 转 换 器显 示 器第11章 微 波 传 感 器 微波自动平衡电桥法微波自动平衡电桥法通常微波传输的行程长度的变化非常微小。为了精确通常微波传输的行程长度的变化非常微小。为了精确地测量出这一微小变化，通常采用微波自动平衡电桥法：地测量出这一微小变化，通常采用微波自动平衡电桥法：前述微波传输行程作前述微波传输行程作为为测量臂测量臂，而完全模拟测量臂微波的传输行程设置一个，而完全模拟测量臂微波的传输行程设置一个参考臂参考臂（图（图11-4右部）。右部）。若若两臂行程完全相同两臂行程完全相同则反相

17、叠加的微波经过检波器则反相叠加的微波经过检波器C检波后，检波后，输出为零输出为零。若若两两臂行程长度不同臂行程长度不同两路微波叠加后不能相互抵消两路微波叠加后不能相互抵消经检波器后便有经检波器后便有不平衡信号输不平衡信号输出出该信号经放大后控制可逆电机旋转，带动补偿短路器产生位移该信号经放大后控制可逆电机旋转，带动补偿短路器产生位移改变补偿短改变补偿短路器的长度，直到两臂行程长度完全相同，放大器输出为零，可逆电机停止转动路器的长度，直到两臂行程长度完全相同，放大器输出为零，可逆电机停止转动为止。为止。放大器C环行器A环行器B上终端器被测体下终端器补偿短路器微波信号源振动短路器可逆电机光电转换器

18、显示器上传输导管D下传输导管E图 11-4 微波测厚仪原理图 第11章 微 波 传 感 器 补偿短路器的位移与被测物厚度增加量之间的关系式为补偿短路器的位移与被测物厚度增加量之间的关系式为 S=LB-(LA-LA)=LB-(LA-h)=h LA电桥平衡时测量臂行程长度；LB电桥平衡时参考臂行程长度；LA被测物厚度变化h后引起的测量臂行程长度变化值；h被测物厚度变化；S补偿短路器位移值。补偿短路器位移值补偿短路器位移值S即为被测物厚度变化值即为被测物厚度变化值h。第11章 微 波 传 感 器 11.3.4 微波辐射计（温度传感器）微波辐射计（温度传感器）任何物体，当它的温度高于环境温度时，都能够

19、向外辐射热能。微波辐射计能测量对象的温度微波辐射计能测量对象的温度。普朗克公式在微波领域可近似为(11-2)就微波辐射计而言，它以一定的频带宽检测来自物体的微波辐射辉微波辐射辉度度L(,T)。由于此电信号输出正比于物体的发射率发射率(,)和绝对温度绝对温度的乘积，因此微波辐射计指示的温度不是物体的真实温度，而是辉度温度=(,)。第11章 微 波 传 感 器 微波温度传感器原理方框图。Ti为输入（被测）温度，Tc为基准温度，C为环行器，BPF为带通滤波器，LNA为低噪声放大器，IFA为中频放大器，M为混频器，LO为本机振荡器。微波温度传感器最有价值微波温度传感器最有价值的应用的应用微波遥测，将它

20、装在航天器上，可以遥测大气对流遥测大气对流层的状况层的状况，可以进行大地测量进行大地测量与探矿与探矿，遥测水质污染遥测水质污染程度，确定水域范围，判断植物品种确定水域范围，判断植物品种等。等。图11-5 微波温度传感器原理框图 TiCTcBPFLNAMLOIFA第11章 微 波 传 感 器 11.3.5 微波测定移动物体的速度和距离微波测定移动物体的速度和距离 自学自学 微波测定移动物体的速度和距离是利用雷达能动地将电波发射到对象物，并接受返回的反射波的能动型传感器。若对在距离发射天线为r的位置上以相对速度v运动的物体发射微波，则由于多卜勒效应，反射波的频率fr发生偏移，如下式所示：f r=f

21、 0+fD 式中fD是多卜勒频率，并可表示为（11-4）（11-3）第11章 微 波 传 感 器 当物体靠近靶时,多卜勒频率fD为正；远离靶时，fD为负。输入接收机的反射波的电压ue可用下式表示：crftffUuDee004)(2sin（11-5）括号内的第二项是因电波在距离r上往返而产生的相位滞后。用接收机将来自发射机的参照信号Ue sin2f0t与上述反射信号混合后，进行超外差检波，则可得到如下式那样的具有两频率之差，即fD的差拍频率的多卜勒输出信号为 crftfUuDdd042sin（11-6）第11章 微 波 传 感 器 因此，根据测量到的差拍信号频率，可测定相对速度。但是，用此方法不

22、能测定距离。为此考虑发射频率稍有不同的两个电波f1和f2，这两个波的反射波的多卜勒频率也稍有不同。若测定这两个多卜勒输出信号成分的相位差为，则可利用下式求出距离r：)(412ffcr(11-7)第11章 微 波 传 感 器 11.3.6 微波无损检测微波无损检测 微波无损检测原理：微波无损检测原理：综合利用微波与物质的相互作用，一方面微波在不连续界面处会产生反射、散射、透射，另一方面微波还能与被检材料产生相互作用，此时的微波场会受到材料微波场会受到材料中的电磁参数和几何参数的影响中的电磁参数和几何参数的影响。通过测量微波信号基本参数通过测量微波信号基本参数的改变即可达到检测材料内部缺陷的目的的

23、改变即可达到检测材料内部缺陷的目的。第11章 微 波 传 感 器 可用微波无损检测技术对复合材料制品进行评定可用微波无损检测技术对复合材料制品进行评定 复合材料在工艺过程中，由于增强了纤维的表面状态、树脂粘度、低分子物含量、线性高聚物向体型高聚物转化的化学反应速度、树脂与纤维的浸渍性、组分材料热膨胀系数的差异以及工艺参数控制的影响等因素，因此，在复合材料制品中难复合材料制品中难免会出现气孔、疏松、免会出现气孔、疏松、树脂开裂、分层、脱粘等缺陷树脂开裂、分层、脱粘等缺陷。这些缺陷在复合材料制品中的位置、尺寸以及在温度和外载荷作用下对产品性能的影响，可用微波无损检测技术进行评定可用微波无损检测技术

24、进行评定。第11章 微 波 传 感 器 微波无损检测系统组成微波无损检测系统组成（图11-6）：主要由天线、微波电路、记录仪等部分组成。当以金属介质内的气孔作为散射源，产生明显的散射效应时，最小气隙的半径与波长的关系符合下列公式:1Ka K=2/，为波长；气隙的半径。微 波信 号 源移 相 器介 质 天 线接 收 天 线移 相 器微 波检 波 器可 变衰 减 器接 收放 大 器记 录 仪稳 压电 源图11-6 微波无损检测方框图 微波场会受到材料中的电磁参数和几何参数的影响微波场会受到材料中的电磁参数和几何参数的影响。通通过测量微波信号基本参数的改变即可达到检测材料内部过测量微波信号基本参数的改变即可达到检测材料内部缺陷的目的缺陷的目的。第11章 微 波 传 感 器 当微波的工作频率为 36.5z时，=1.0,也就是说,=6 mm时，可检出的孔隙的最小直径约为2.0mm。从原理上讲，当微波波长为1mm时，可检出最小的孔径大约为0.3 mm。通常，根据所需检测的介质中最小气隙的半径来确定微波的工作频率。