压电式传感器59490课件.ppt
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- 压电 传感器 59490 课件
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1、2/3/202314.5.1 变换原理变换原理 某些电介质物质,在沿一定方向某些电介质物质,在沿一定方向上受到外力的作用而变形时,内部会上受到外力的作用而变形时,内部会产生极化现象,同时在其表面上产生产生极化现象,同时在其表面上产生电荷;当外力去掉后,又重新回到不电荷;当外力去掉后,又重新回到不带电的状态,带电的状态,这种将这种将的现象,称为的现象,称为“顺压电效应顺压电效应”。相反,在电介质的极化方向上施相反,在电介质的极化方向上施加电场,它会产生机械变形,当去掉加电场,它会产生机械变形,当去掉外加电场时,电介质的变形随之消失。外加电场时,电介质的变形随之消失。这种将这种将的现象,称的现象,
2、称为为“逆压电效应逆压电效应”。2/3/20232 当力的方向改变时,电荷的极性随之改变,输出电压的频率与动态力的频率相同;当动态力变为静态力时,电荷将由于表面漏电而很快泄漏、消失。2/3/20233注意:压电式传感器只适用于动态测量而不能用注意:压电式传感器只适用于动态测量而不能用于静态测量。于静态测量。由于外力作用而在压电材料上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存,即需要测量回路具有无限大的输入阻抗,这实际上是不可能的,因此压电式传感器不能用于静态测量。压电材料在交变力的作用下,电荷可以不断补充,以供给测量回路一定的电流,故适用于动态测量。2/3/20234 在自然界中大多数晶体都具有压
3、电效应,但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究,发现石英晶体、钛酸钡、锆(gao)钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。压电材料可以分为三大类:压电晶体压电晶体(石英晶体石英晶体)、压电压电陶瓷陶瓷和和高分子压电材料高分子压电材料。2/3/20235天然形成的石英晶体外形天然形成的石英晶体外形石英晶体石英晶体2/3/20236天然形成的石英晶体外形(续)天然形成的石英晶体外形(续)2/3/20237石英晶体切片及封装石英晶体切片及封装石英晶体薄片石英晶体薄片双面镀银并封装双面镀银并封装2/3/20238石英晶体振荡器(晶振)石英晶体振荡器(晶振)石英晶体在振荡电石英晶体在振荡电路中工作时,压电路
4、中工作时,压电效应与逆压电效应效应与逆压电效应交替作用,从而产交替作用,从而产生稳定的振荡输出生稳定的振荡输出频率。频率。晶振晶振2/3/202391.石英晶体的压电效应石英晶体的压电效应石英的化学式为石英的化学式为SiO2,在一个晶体单元中,有三个硅离子和六个氧,在一个晶体单元中,有三个硅离子和六个氧离子,后者是成对的,所以一个硅离子和两个氧离子交替排列。当离子,后者是成对的,所以一个硅离子和两个氧离子交替排列。当没有力作用时,硅离子和氧离子在垂直于晶体没有力作用时,硅离子和氧离子在垂直于晶体Z轴的轴的XY平面上的投平面上的投影恰好等效为正六边形排列,如图影恰好等效为正六边形排列,如图a示。
5、这时正负离子正好分布在示。这时正负离子正好分布在正六边形的顶角上,呈现电中性。正六边形的顶角上,呈现电中性。2/3/202310如果沿如果沿X方向压缩,如图方向压缩,如图b所示,则硅离子所示,则硅离子1被挤入氧离子被挤入氧离子2和和6之间,之间,而氧离子而氧离子4被挤入硅离子被挤入硅离子3和和5之间,结果表面之间,结果表面A上呈现负电荷,而在上呈现负电荷,而在表面表面B上呈现正电荷。这一现象称为上呈现正电荷。这一现象称为纵向压电效应纵向压电效应。若沿若沿Y方向压缩,如图方向压缩,如图c所示,硅离子所示,硅离子3和氧离子和氧离子2,以及硅离子,以及硅离子5和氧和氧离子离子6都向内移动同样的数值,
6、故在电极都向内移动同样的数值,故在电极C和和D上不呈现电荷,而在表上不呈现电荷,而在表面面A和和B上,即在上,即在X轴的端面上又呈现电荷,但与图轴的端面上又呈现电荷,但与图b的极性正好相反,的极性正好相反,这时称为这时称为横向压电效应横向压电效应。从研究的模型同样可以看出:从研究的模型同样可以看出:如果是使其伸长而不是压缩时,如果是使其伸长而不是压缩时,则电荷的极性正好相反。总之,则电荷的极性正好相反。总之,石英等单晶体材料是各向异性石英等单晶体材料是各向异性的物体,在的物体,在X或或Y轴向施力时,轴向施力时,在与在与X轴垂直的面上产生电荷,轴垂直的面上产生电荷,电场方向与电场方向与X轴平行,
7、在轴平行,在Z轴轴方向施力时,不能产生压电效方向施力时,不能产生压电效应。应。2/3/202311压电效应压电效应式中,式中,q为电荷为电荷量量;D为为压电常数,与材质及切片压电常数,与材质及切片方向有关;方向有关;F为作用力。为作用力。q=DF2/3/2023122/3/2023132.压电陶瓷的压电效应压电陶瓷的压电效应 压电陶瓷是一种多晶铁电体,它是具有电畴结构的压电材料。电畴是分压电陶瓷是一种多晶铁电体,它是具有电畴结构的压电材料。电畴是分子自发形成的区域,它有一定的极化方向。在无外电场作用时,各个电子自发形成的区域,它有一定的极化方向。在无外电场作用时,各个电畴在晶体中无规则排列,它
8、们的极化效应互相抵消。因此,在原始状态畴在晶体中无规则排列,它们的极化效应互相抵消。因此,在原始状态压电陶瓷呈现中性,不具有压电效应。压电陶瓷呈现中性,不具有压电效应。当在一定的温度条件下,对压电陶瓷进行极化处理,即以强电场使当在一定的温度条件下,对压电陶瓷进行极化处理,即以强电场使电畴规则排列,这时压电陶瓷就具有了压电性,在极化电场去除后,电电畴规则排列,这时压电陶瓷就具有了压电性,在极化电场去除后,电畴基本上保持不变,留下了很强的剩余极化,见图所示。畴基本上保持不变,留下了很强的剩余极化,见图所示。伸长直流电桥剩余伸长剩余极化a)a)极化前极化前 b)b)极化极化 c)c)极化后极化后压电
9、陶瓷的极化过程压电陶瓷的极化过程 2/3/202314压电陶瓷外形压电陶瓷外形 经过极化处理的压电陶瓷,在外电场去掉后,其内部仍存在着很强的经过极化处理的压电陶瓷,在外电场去掉后,其内部仍存在着很强的剩余极化强度,当压电陶瓷受外力作用时,电畴的界限发生移动,因剩余极化强度,当压电陶瓷受外力作用时,电畴的界限发生移动,因此剩余极化强度将发生变化,压电陶瓷就呈现出压电效应。此剩余极化强度将发生变化,压电陶瓷就呈现出压电效应。2/3/202315超声波美容仪器用压电陶瓷晶片医用B超换能器用晶片2/3/202316无铅压电陶瓷及其换能器外形无铅压电陶瓷及其换能器外形(上海硅酸盐研究所研制)上海硅酸盐研
10、究所研制)2/3/202317、压电晶体、压电晶体石英晶体、水溶性压电晶体、铌酸锂晶体石英晶体、水溶性压电晶体、铌酸锂晶体、压电陶瓷、压电陶瓷钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁钛酸钡压电陶瓷、锆钛酸铅系压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷、铌镁酸铅压电陶瓷酸铅压电陶瓷、压电半导体、压电半导体有些晶体既具有半导体特性又同时具有压电性能,如有些晶体既具有半导体特性又同时具有压电性能,如ZnSZnS、CaSCaS、GaAsGaAs等。因此既可利用它的压电特性研制传感器,又可利用半导体特性等。因此既可利用它的压电特性研制传感器,又可利用半导体特性以制成电子器件。两者结合起来,就出现了集转
11、换元件和电子线路为一以制成电子器件。两者结合起来,就出现了集转换元件和电子线路为一体的新型传感器,它的前途是非常远大的。体的新型传感器,它的前途是非常远大的。4.5.2压电材料压电材料2/3/2023184.4.高分子压电材料高分子压电材料 某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后,具有一定某些合成高分子聚合物薄膜经延展拉伸和电场极化后,具有一定的压电性能,这类薄膜称为高分子压电薄膜。目前出现的压电薄膜有的压电性能,这类薄膜称为高分子压电薄膜。目前出现的压电薄膜有聚二氟乙烯聚二氟乙烯PVF2PVF2、聚氟乙烯、聚氟乙烯PVFPVF、聚氯乙烯、聚氯乙烯PVCPVC、聚、聚甲基甲基-L-L谷
12、氨酸脂谷氨酸脂PMGPMG等。这是一种柔软的压电材料,不易破碎,可以大量生产和制成等。这是一种柔软的压电材料,不易破碎,可以大量生产和制成较大的面积。较大的面积。如果将压电陶瓷粉末加入高分子化合物中,可以制成高分子如果将压电陶瓷粉末加入高分子化合物中,可以制成高分子压压电陶瓷薄膜,它既保持了高分子压电薄膜的柔软性,又具有较高的压电陶瓷薄膜,它既保持了高分子压电薄膜的柔软性,又具有较高的压电系数,是一种很有希望的压电材料。电系数,是一种很有希望的压电材料。2/3/202319高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆高分子压电材料制作的压电薄膜和电缆 2/3/202320可用于波形分析及报警的高分子压电
13、踏脚板可用于波形分析及报警的高分子压电踏脚板 2/3/202321压电式脚踏报警器压电式脚踏报警器 2/3/202322高分子压电薄膜制作的压电喇叭高分子压电薄膜制作的压电喇叭(逆压电效应)(逆压电效应)2/3/2023234.5.3 等效电路和测量电路等效电路和测量电路 1.等效电路等效电路压电元件受力作用时产生电荷,因此它可以等效为一个电容器,压电元件受力作用时产生电荷,因此它可以等效为一个电容器,有有 ,所以压电元件受外力作用时,两表面产生等量,所以压电元件受外力作用时,两表面产生等量的正负电荷,压电元件的开路电压为的正负电荷,压电元件的开路电压为 等效电路为等效电路为r0aSC a/U
14、Q C图4-95压电元件的等效电路a)结构图b)等效电荷源c)等效电压源 2/3/2023242.测量电路测量电路前置放大器的作用:前置放大器的作用:一是放大压电元件的微弱信号;一是放大压电元件的微弱信号;二是高阻抗输入变为低阻抗输出。二是高阻抗输入变为低阻抗输出。压电传感器的测量系统压电传感器的测量系统 压电传感器产生的电荷很少,信号微弱,而自身又要有极高的绝缘电压电传感器产生的电荷很少,信号微弱,而自身又要有极高的绝缘电阻,因此需经测量电路进行阻抗变换和信号放大,且要求测量电路输入端阻,因此需经测量电路进行阻抗变换和信号放大,且要求测量电路输入端必须有足够高的阻抗和较小的分布电容,以防止电
15、荷迅速泄漏,电荷泄漏必须有足够高的阻抗和较小的分布电容,以防止电荷迅速泄漏,电荷泄漏将引起测量误差。将引起测量误差。2/3/202325电压放大器电压放大器 icauCCCDk传感器灵敏度:传感器灵敏度:此式表明由于电缆电容和放大器输此式表明由于电缆电容和放大器输入电容的存在,使灵敏度减小。如入电容的存在,使灵敏度减小。如果更换电缆,则必须重新校正灵敏果更换电缆,则必须重新校正灵敏度,以保证测量精度。度,以保证测量精度。2/3/202326电荷放大器电荷放大器 压电传感器配用电压放大器时,其电压灵敏度随电缆的分布电容变压电传感器配用电压放大器时,其电压灵敏度随电缆的分布电容变化而变化,因而更换
16、不同长度的电缆时要对灵敏度重新进行校正。化而变化,因而更换不同长度的电缆时要对灵敏度重新进行校正。而采用电荷放大器可以免此麻烦。电荷放大器实际上是一种具有深而采用电荷放大器可以免此麻烦。电荷放大器实际上是一种具有深度负反馈的高增益运算放大器。度负反馈的高增益运算放大器。faciCACCCAQU)1(0当当A1A1,而,而(1+A)(1+A)C Cf f 时,时,放大器输出电压可以表示为放大器输出电压可以表示为fCQU0由于引入了电容负反馈,电荷放大器的输出由于引入了电容负反馈,电荷放大器的输出电压仅与传感器产生的电荷量及放大器的反电压仅与传感器产生的电荷量及放大器的反馈电容有关,电缆电容等其他
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