压电方程17070125102509课件.ppt
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- 压电 方程 17070125102509 课件
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1、1压电晶体的切割压电晶体的切割通过前几节有关压电常数的讨论使我们通过前几节有关压电常数的讨论使我们了解到,不是压电晶体的任何方向都存了解到,不是压电晶体的任何方向都存在压电效应,而只有某些特定的方向才在压电效应,而只有某些特定的方向才存在压电效应。存在压电效应。2压电晶体的切割压电晶体的切割例如,例如,石英晶体,如果选择了与石英晶体,如果选择了与z z轴轴垂直的方向切下一块晶片(即晶片的厚垂直的方向切下一块晶片(即晶片的厚度方向与度方向与z z轴平行),无论对此晶体作用轴平行),无论对此晶体作用什么力,都不能在什么力,都不能在z z轴方向产生压电效应。轴方向产生压电效应。如果选择了与如果选择了
2、与x x轴垂直的方向切下一块晶轴垂直的方向切下一块晶片,则当应力片,则当应力T T1 1、T T2 2或或T T4 4作用时,在作用时,在x x方方向能产生压电效应。向能产生压电效应。3因此,用压电晶体做压电元件时,不是因此,用压电晶体做压电元件时,不是随便从晶体上切下一块晶片,就可以做随便从晶体上切下一块晶片,就可以做成所需要的元件,而是要根据压电晶体成所需要的元件,而是要根据压电晶体的压电常数,以及对压电元件性能的设的压电常数,以及对压电元件性能的设计要求,并经过反复实验后,才能找到计要求,并经过反复实验后,才能找到较合适的方向进行切割。较合适的方向进行切割。4切割符号的规定切割符号的规定
3、 x x、y y、z z代表晶体的三个坐标轴,代表晶体的三个坐标轴,l l、w w、t t代代表晶片的长度、宽度、厚度。表晶片的长度、宽度、厚度。例如:例如:xyxy切割表示晶片的厚度与切割表示晶片的厚度与x x轴平行,轴平行,长度与长度与y y轴平行(即轴平行(即第一个字母代表厚度方第一个字母代表厚度方向,第二个字母代表长度方向向,第二个字母代表长度方向)。)。又如:又如:xzxz切割表示晶片的厚度与切割表示晶片的厚度与x x轴平行,轴平行,长度与长度与z z轴平行。也有把轴平行。也有把xyxy切割和切割和xzxz切割简切割简称为称为x x切割。切割。l length,ength,w wid
4、th,idth,t 5图图4-13 4-13 晶片切割示意图晶片切割示意图XY-XY-切割切割XY-cutXY-cutXZ-XZ-切割切割XZ-cutXZ-cutYZ-YZ-切割切割YZ-cutYZ-6图图4-13 4-13 晶片切割示意图晶片切割示意图YX-YX-切割切割YX-cutYX-cutZX-ZX-切割切割ZX-cutZX-cutZY-ZY-切割切割ZY-cutZY-7一次旋转切割yzw-50切割,表示厚度方向平行于y轴,长轴平行于z轴,并绕宽度沿顺时针方向旋转50,即即第一个字母代表厚度方向,第二个字母代表长度方向,第三个字母代表转轴方向,-50代表沿顺时针方向旋转50。xyt+4
5、5切割,表示厚度方向平行于x轴,长轴平行于y轴,并绕厚度沿逆时针方向旋转45,有时简称这种切割为45x切割。8yzw-50yzw-50切割切割yzw-50yzw-50 cut cutxyt+45xyt+45切割切割xyt+45xyt+45 cut 9二次旋转切割yzlt40/50切割,表示厚度方向平行于y轴,长轴平行于z轴,并绕长度沿逆时针方向旋转40,再绕厚度沿逆时针方向旋转50。xzlt+40 xzlt+40/50/50 10酒石酸钾钠晶体的切割酒石酸钾钠晶体NaKC4H4O6-4H2O(即罗息盐)属于正交晶系222点群,它的压电常数为11当电场E E=0时,电位移D D与应力张量之间的关
6、系为:636352524141TdDTdDTdD12当应力为零时,电场E与应变张量之间的关系为336622551144EdSEdSEdS13可见当酒石酸钾钠晶体分别受到应力T4、T5或T6的作用时,将分别在x方向、y方向或z方向产生压电效应。对于x切割的酒石酸钾钠晶片,要它在x方向出现正压电效应时,必须使晶片受到切应力T4的作用。实际上要在晶体上作用一个切应力是比较困难的,所以用x切割的晶片通过D1=d14T4关系式来测定压电常数d14是不方便的。14其次当x切割的晶片受到x方向的电场E1作用时,通过逆压电效应,晶片产生切应变S4,而不能产生伸长缩短的应变。为了得到能产生伸缩振动的晶片,生产上
7、常采用45x切割。从图4-14看出:(1)45x切割是利用晶片的切应变转为沿长度方向的伸缩应变。(2)45x切割的长度与宽度不在和晶体的y轴与z轴平行。15图图4-14 4-14 酒石酸钾钠的酒石酸钾钠的4545 x x切割切割16坐标变了,不能直接使用(4-18)式来描写45x切割晶片的压电行为,需要对压电常数进行坐标变换,求出压电常数在新坐标系中的矩阵表示式。在新坐标系中的压电常数矩阵为 17)dd(21)dd(210000)dd(21)dd(2100000002d2d0 d25363625362536251414新坐标系中的压电常数矩阵新坐标系中的压电常数矩阵18即新坐标系中的压电常数与
8、旧坐标系即新坐标系中的压电常数与旧坐标系中的压电常数之间的关系为中的压电常数之间的关系为)dd(21d),dd(21d)dd(21d),dd(21d2dd,19如果45x切割晶片只受到y方向(即长度方向)的应力T2作用时,在x方向产生的电位移D1为,2142121T2dTdD20可见通过D1=d14T2/2来测定压电常数d14时,只需要用张力或压力,这就比通过D1=d14T4来测定压电常数d14方便的多。实验上,常用45x切割的晶片来测定酒石酸钾钠晶体压电常数d14;用45y切割的晶片来测定d25;用45z切割的晶片来测定d36。21这些压电常数的数值为:d14=34510-12库仑/牛顿 d
9、25=-5410-12库仑/牛顿d36=1210-12库仑/牛顿22 石英晶体的切割石英晶体的切割 石英晶体的石英晶体的z z轴是光轴,轴是光轴,z z切割晶片在切割晶片在z z方方向无压电效应。向无压电效应。x x切割是最早采用的切割,切割是最早采用的切割,x x 切割的晶片,频率温度系数约为切割的晶片,频率温度系数约为-3030 10-6/10-6/度左右,还不够理想。度左右,还不够理想。y y切割的切割的晶片,频率温度系数较高,约为晶片,频率温度系数较高,约为100100 10-10-6/6/度左右。因此生产上很小采用度左右。因此生产上很小采用y y切割的切割的晶片。目前生产上广泛采用的
10、切割方式,晶片。目前生产上广泛采用的切割方式,如图如图4-154-15所示。所示。24图图4-15 4-15 常见的石英晶体切型常见的石英晶体切型25这些切割的温度系数,在较广的温度范围内接近于零。在高频方面的常用切割有:AT切割(=3515)适用于250kHz3MHz;BT切割(=-49)适用于3MHz以上;26在低频方面的常用切割有:CT切割(=3836)适用于100kHz400kHz;DT切割(=-51)适用于70kHz500kHz;ET切割(=66)适用于250kHz800kHz;FT切割(=-57)适用于200kHz600kHz;GT切割适用于100kHz500kHz;27钛酸钡钛酸
11、钡z z切割晶片的切割晶片的压电方程压电方程 从前几章已经知道,晶体的介电性质所遵从的电学规律,要用电位移D D(极化强度P P)与电场E E之间的关系式来描写。例如,3,2,1m,ED28晶体的弹性性质所遵从的力学规律,要用应力张量T与应变张量S之间的关系式广义胡克定律来描写。例如:6,5,4,3,2,1i,TsS61jjiji6,5,4,3,2,1j,ScT61iiijj或29同样,压电晶体的压电性质所遵从的机电规律,要用电位移D D,电场强度E E,应力张量T T,应变张量S S之间的关系压电方程来描写。下面先以钛酸钡晶体的z切割为例,进行分析讨论。然后推广到一般情况下的压电方程。30实
12、际生产上常使用的压电元件的形状,大多数是薄长片或薄圆片等简单形状。又因为钛酸钡压电常数d310,所以可选择钛酸钡zx切割晶片为例。这样切割的晶片,长度l沿x方向,厚度lt沿z方向和宽度lw沿y方向。即晶片的坐标轴与晶体的坐标轴一致。31图图4-16 4-16 钛酸钡钛酸钡zxzx切割的晶片示意图切割的晶片示意图 32因为晶片的长度l宽度lw和厚度lt,长度是主要矛盾,故只要考虑x方向的应力T1的作用,其它应力分量T2、T3、T4、T5、T6可以忽略不计;因为晶片的电极面与z面垂直,故只要考虑电场E3的作用,其它电场分量E1、E2可以忽略不计。33现在只考虑在应力T1和电场E3作用下晶片的形变。
13、当电场E3=0,应力T10时,晶片在应力T1作用下产生的弹性形变为,弹性柔顺常数sE11的上标E表示电场E=0(或E为常数),即sE11代表E=0的弹性柔顺常数,故称短路弹性柔顺常数。1E11)1(1TsS34当电场E30,应力T1=0时,晶片在电场E3的作用下通过逆压电效应产生的压电应变为,331)2(1EdS35当电场E30,应力T10时,晶片在应力T1和电场E3的作用下,产生的应变应该是弹性应变和压电应变之和,即3311E111EdTsS36在应力T1和电场E3作用下晶片的电位移:当电场E30,应力T1=0时,晶片在电场E3的作用下产生的介电电位移为介电常数T33的上标T表示应力T=0(
14、或T为常数),即T33代表T=0(或T为常数)时的介电常数,称为自由介电常数 3T33)1(3ED37当电场E3=0,应力T10时,晶片在应力T1作用下通过正压电效应产生的压电电位移为,131)2(3TdD当电场E30,应力T10时,晶片在应力T1和电场E3的作用下,产生的电位移应该是介电电位移与压电电位移之和,即 3T331313ETdD38最后得到钛酸钡晶体zx切割晶片的压电方程为(以T,E为自变量):3T3313133311E111ETdDEdTsS上被称为第一类压电方程组39第一类压电方程组第一类压电方程组一般形式为 EtTSs Td EDdTE矩阵形式为 EiijjnjnTmnjjm
15、nnSs Td EDd TEd压电应变常数40这个方程组的特点在于以T、E为自变量,S、D为因变量;即认为S、D的变化是由T、E变化引起的。式中还包括了短路弹性柔顺常数sE11,自由介电常数T33以及压电常数d31。41边界条件边界条件通常测量样品的频率特性(谐振频率和反通常测量样品的频率特性(谐振频率和反谐振频率)时,晶片的中心被夹住,晶片谐振频率)时,晶片的中心被夹住,晶片的边界却处于机械自由状态。的边界却处于机械自由状态。这时边界上的应力这时边界上的应力T|T|边界边界=0=0,应变,应变S S 0 0,这,这样的边界称为机械自由边界条件,或称边样的边界称为机械自由边界条件,或称边界自由
16、条件。界自由条件。42但是应该注意,边界自由条件只表示样品但是应该注意,边界自由条件只表示样品在边界上的应力为零,样品内的应力一般在边界上的应力为零,样品内的应力一般情况下并不等于零,只有在低频情况下,情况下并不等于零,只有在低频情况下,样品内的应力才接近于零,所以在边界自样品内的应力才接近于零,所以在边界自由和低频的条件下,测得的介电常数才是由和低频的条件下,测得的介电常数才是自由介电常数自由介电常数 T T3333。43若测量电路的电阻远小于样品的电阻,若测量电路的电阻远小于样品的电阻,则可认为外电路处于短路状态,这时电则可认为外电路处于短路状态,这时电极面上没有电荷积累,样品内的极面上没
17、有电荷积累,样品内的E=0E=0(或(或为常数)。这样的电学边界条件称为短为常数)。这样的电学边界条件称为短路边界条件。在短路条件下测得的弹性路边界条件。在短路条件下测得的弹性柔顺常数才是短路弹性柔顺常数柔顺常数才是短路弹性柔顺常数s sE E1111。44其它边界条件其它边界条件例如测量时,样品的边界被刚性夹住,这例如测量时,样品的边界被刚性夹住,这时边界上的应变时边界上的应变S|S|边界边界=0=0,应力,应力T T 0 0,这样,这样的边界条件称为机械夹住边界条件,或称的边界条件称为机械夹住边界条件,或称边界夹住条件。也应注意,边界夹住条件,边界夹住条件。也应注意,边界夹住条件,只是表示
18、样品在边界上的应变为零,样品只是表示样品在边界上的应变为零,样品内的应变一般情况下并不等于零,只有当内的应变一般情况下并不等于零,只有当频率非常高的情况下,样品内的应变才接频率非常高的情况下,样品内的应变才接近于零,所以在非常高的频率下测得的介近于零,所以在非常高的频率下测得的介电常数才是夹住介电常数电常数才是夹住介电常数 S Smnmn。45若测量电路的电阻远大于晶片的内电阻,若测量电路的电阻远大于晶片的内电阻,则可认为外电路处于开路状态,这时电则可认为外电路处于开路状态,这时电极面上自由电荷保持不变,样品内的电极面上自由电荷保持不变,样品内的电位移位移D D为常数(或为常数(或D=0D=0
19、)。这样的电学边)。这样的电学边界条件称为开路边界条件,简称开路条界条件称为开路边界条件,简称开路条件。在开路条件下测得的弹性柔顺常数件。在开路条件下测得的弹性柔顺常数才是开路弹性柔顺常数才是开路弹性柔顺常数s sD Dijij。46总之:总之:机械边界条件有两种机械边界条件有两种,即即:边界自由条件边界自由条件,边界夹住条件边界夹住条件;电学边界条件也有两种电学边界条件也有两种,即即:短路条件短路条件,开路条件开路条件。47从二种机械边界条件和二种电学边界条从二种机械边界条件和二种电学边界条件中各选一种,就可组成四类不同的边件中各选一种,就可组成四类不同的边界条件:界条件:(1 1)机械自由
20、和电学短路条件;)机械自由和电学短路条件;(2 2)机械夹持和电学短路条件;)机械夹持和电学短路条件;(3 3)机械自由和电学开路条件;)机械自由和电学开路条件;(4 4)机械夹持和电学开路条件。)机械夹持和电学开路条件。48对于不同的边界条件,为了运算方便,就对于不同的边界条件,为了运算方便,就必须选择不同的自变量。例如,当边界条必须选择不同的自变量。例如,当边界条件为边界自由条件和短路条件时,以选应件为边界自由条件和短路条件时,以选应力张量力张量T T和电场强度和电场强度E E为自变量,应变张量为自变量,应变张量S S 和电位移和电位移D D为因变量较方便,相应的压为因变量较方便,相应的压
21、电方程组就是第一类压电方程组。电方程组就是第一类压电方程组。与其它各类边界条件相适应的自变量与压与其它各类边界条件相适应的自变量与压电方程组如下。电方程组如下。49第二类压电方程组第二类压电方程组如果在测量上述如果在测量上述z z切割的钛酸钡晶片时,切割的钛酸钡晶片时,在晶片长度的两端被刚性夹具所夹住,即在晶片长度的两端被刚性夹具所夹住,即边界上应变边界上应变S=0S=0,应力,应力T T 0 0;而且外电路的;而且外电路的电阻远小于晶片内的电阻,在电极面上无电阻远小于晶片内的电阻,在电极面上无电荷积累,即电压保持不变(或电荷积累,即电压保持不变(或E=E=常数),常数),电位移电位移 常数。
22、这时晶片的边界条件为机常数。这时晶片的边界条件为机械夹持和电学短路条件。械夹持和电学短路条件。50在此边界条件下,以选应变张量在此边界条件下,以选应变张量S S和电场强和电场强度度E E 为自变量,应力张量为自变量,应力张量T T和电位移和电位移D D为因为因变量较方便。相应的第二类压电方程组为变量较方便。相应的第二类压电方程组为 3S3313133311E111ESeDEeScT51式中cE11=(T1/S1)E称为短路弹性刚度常数,是在外电路为短路的条件下,测得的弹性刚度常数;E33=(D3/E3)S称为机械夹持介电常数,是在机械夹持条件下,测得的介电常数。52e31称为第二类压电常数(也
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