压电效应与压电方程课件.ppt
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- 压电效应 压电 方程 课件
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1、wangclsdu.edu1Piezoelectric effectPiezoelectric equationswangclsdu.edu2v压电效应的基本现象压电效应的基本现象v石英晶体的压电效应,压电方程组石英晶体的压电效应,压电方程组v压电常数与对称性压电常数与对称性v压电晶体的切割压电晶体的切割,v四类压电方程组,旋转坐标系,四类压电方程组,旋转坐标系,v次级压电效应,压电常数之间的关系次级压电效应,压电常数之间的关系v机电耦合系数机电耦合系数主要内容主要内容 wangclsdu.edu3压电效应的基本现象压电效应的基本现象通俗来说通俗来说:压电效应是指材料在压力作用下产生压电效应是
2、指材料在压力作用下产生电信号的效应电信号的效应;或者在电场作用下或者在电场作用下,材料发生机械材料发生机械形变的现象。形变的现象。压电效应有严格的定义,上述说法只是一个简单压电效应有严格的定义,上述说法只是一个简单直观描述。直观描述。压电效应由压电方程描写;材料的压电性由压电压电效应由压电方程描写;材料的压电性由压电常数决定。常数决定。wangclsdu.edu4压电效应的基本现象压电效应的基本现象晶体的介电常数、弹性常数与晶体的对称性密切晶体的介电常数、弹性常数与晶体的对称性密切相关。相关。同样,压电常数也与晶体的对称性密切相关。因同样,压电常数也与晶体的对称性密切相关。因此不是从压电晶体上
3、随意切下一块晶片,就能做此不是从压电晶体上随意切下一块晶片,就能做压电元件,而是要根据该压电晶体的压电常数来压电元件,而是要根据该压电晶体的压电常数来设计晶片的切割。设计晶片的切割。wangclsdu.edu5正正压电效应压电效应当压电晶体受到外力而发生形变时,在它的当压电晶体受到外力而发生形变时,在它的某些表面上出现与外力成某些表面上出现与外力成线性比例线性比例电荷积累,电荷积累,这个现象称为压电效应。这个现象称为压电效应。是一种线性响应!是一种线性响应!wangclsdu.edu6石英晶体的压电效应石英晶体的压电效应现以现以 石英晶体为例,因为石英晶体为例,因为 石英晶体在石英晶体在188
4、01880年就发现了压电效应,是最早发现的压年就发现了压电效应,是最早发现的压电晶体,也是目前最好的和最重要的压电晶电晶体,也是目前最好的和最重要的压电晶体之一。体之一。石英晶体的最大特点是:石英晶体的最大特点是:性能稳定,频率温度系数低(可以做到频率性能稳定,频率温度系数低(可以做到频率温度系数接近于零),在通讯技术中有广泛温度系数接近于零),在通讯技术中有广泛地应用。地应用。wangclsdu.edu7图图4-14-1:石英晶体属于六角晶系石英晶体属于六角晶系3232点群,它的坐标系点群,它的坐标系o-xyzo-xyz。wangclsdu.edu8光轴光轴 电轴电轴 机械轴机械轴 z z轴
5、与天然石英晶体的上、下顶角连线重合(即与轴与天然石英晶体的上、下顶角连线重合(即与晶体的晶体的C C轴重合)。因为光线沿轴重合)。因为光线沿z z轴通过石英晶体轴通过石英晶体时不产生双折射,故称时不产生双折射,故称z z轴为石英晶体的轴为石英晶体的光轴光轴。x x轴与石英晶体横截面上的对角线重合(即与晶体轴与石英晶体横截面上的对角线重合(即与晶体的的a a轴重合),因为沿轴重合),因为沿x x方向对晶体施加压力时,方向对晶体施加压力时,产生的压电效应最显著,故常称产生的压电效应最显著,故常称x x轴为石英晶体的轴为石英晶体的电轴电轴。z z轴与轴与z z轴的方向规定后,轴的方向规定后,y y轴
6、方向也就定了,如图轴方向也就定了,如图4-1 a4-1 a所示。所示。y y轴与石英晶体横截面对边的中点连轴与石英晶体横截面对边的中点连线重合,常称为线重合,常称为机械轴机械轴。wangclsdu.edu9在晶体在晶体x x轴垂直的方向上,切下一块薄晶片,晶片轴垂直的方向上,切下一块薄晶片,晶片面与面与x x轴垂直,如图轴垂直,如图4-1b4-1b所示,称为所示,称为x x切割。更详切割。更详细的说法是:如果晶片的厚度沿细的说法是:如果晶片的厚度沿x x轴方向,长度沿轴方向,长度沿y y方向,则称为方向,则称为xyxy切割。该晶片的长度为切割。该晶片的长度为l l,宽度,宽度为为l lw w,
7、厚度为,厚度为l lt t,与,与x x轴垂直的二个晶面上涂上电轴垂直的二个晶面上涂上电极,并与冲击电流计连接(测量电量用),如图极,并与冲击电流计连接(测量电量用),如图4-1c4-1c所示。所示。wangclsdu.edu10现分别进行如下实验现分别进行如下实验(1 1)当晶片受到沿)当晶片受到沿x x轴方向的力轴方向的力FxFx作用时,通作用时,通过冲击电流计,可测出在过冲击电流计,可测出在x x轴方向电极面上轴方向电极面上的电荷的电荷q q(1)(1)1 1。并发现。并发现x x轴方向电极面上的电荷轴方向电极面上的电荷密度(密度(q q(1)(1)1 1/ll/llw w)的大小与)的
8、大小与x x轴方向单位面积轴方向单位面积上的力(上的力(Fx/llFx/llw w)成正比,即:)成正比,即:wxw)1(1llFllqwangclsdu.edu11因为(因为(q q(1)(1)1 1/ll/llw w)是极化强度分量)是极化强度分量P P(1)(1)1 1;(Fx/llFx/llw w)为)为x x方向的应力方向的应力X X1 1,于是得到,于是得到(1)1111Pd X(4-1)(4-1)式中,式中,P P(1)(1)1 1为晶片只受到为晶片只受到x x方向的应力方向的应力X X1 1作用时,作用时,在在x x方向产生的极化强度分量,比例系数方向产生的极化强度分量,比例系
9、数d d1111称为称为压电常数。压电常数。(1)11PX即:即:wangclsdu.edu12(2 2)当晶片受到沿)当晶片受到沿y y方向的力方向的力F Fy y作用时,通过冲作用时,通过冲击电流计,可测出在击电流计,可测出在x x轴方向电极面上的电荷轴方向电极面上的电荷q q(2)(2)1 1,并发现,并发现x x方向电极面上的电荷密度方向电极面上的电荷密度(q q(2)(2)1 1/ll/llw w)的大小与)的大小与y y方向单位面积上的力方向单位面积上的力(Fx/lFx/lw wl lt t)成正比,因为()成正比,因为(q q(2)(2)1 1/ll/llw w)是极化)是极化强
10、度分量强度分量P P(2)(2)1 1。wangclsdu.edu13(F Fy y/l/lw wl lt t)为)为y y方向的应力方向的应力X X2 2,于是有,于是有(2)12PX式中,式中,P P(2)(2)1 1为晶片只受到为晶片只受到y y方向的应力方向的应力X X1 1作用作用时,在时,在x x方向产生的极化强度分量,比例系数方向产生的极化强度分量,比例系数d d1212也称为压电常数。也称为压电常数。(2)1122Pd X即:即:wangclsdu.edu14实验上还发现当实验上还发现当X X1 1=X=X2 2时,存在时,存在P P(2)(2)1 1=-P=-P(1)(1)1
11、 1,由,由此可得此可得d d1111=-d=-d1212,即石英晶体的压电常数,即石英晶体的压电常数d d1212的大的大小等于压电常数小等于压电常数d d1111的负值。的负值。wangclsdu.edu15wangclsdu.edu16(3 3)当晶片受到沿)当晶片受到沿z z方向的力方向的力F Fz z作用时,通过冲作用时,通过冲击电流计,并发现击电流计,并发现x x方向电极面上不产生电荷。方向电极面上不产生电荷。即有即有(3)11330Pd X(4-3)(4-3)因为因为X X3 3 0 0,故压电常数,故压电常数d d1313=0=0。由此可见,对于。由此可见,对于x x切割的石英
12、晶片,当切割的石英晶片,当z z方向受到应力方向受到应力X X3 3的作用时,的作用时,在在x x方向并不产生压电效应。方向并不产生压电效应。wangclsdu.edu17(4 4)当晶片受到切应力)当晶片受到切应力X X4 4作用时,通过冲击电作用时,通过冲击电流计,可测出在流计,可测出在x x方向电极面上的面电荷密方向电极面上的面电荷密度(度(q q(4)(4)1 1/ll/llw w)=P=P(4)(4)1 1,并发现,并发现P P(4)(4)1 1与与X X2 2成正,成正,于是于是(4)1144Pd X(4-4)(4-4)式中,式中,P P(4)(4)1 1为晶片只受切应力为晶片只受
13、切应力X X4 4作用时,在作用时,在x x方向产生的极化强度分量,比例系数方向产生的极化强度分量,比例系数d d1414称为压称为压电常数。电常数。wangclsdu.edu18wangclsdu.edu19(5 5)当晶片受到切应力)当晶片受到切应力X X5 5或或X X6 6作用时,通过冲作用时,通过冲击电流计,并发现击电流计,并发现x x方向电极面上不产生电方向电极面上不产生电荷,于是有荷,于是有(5)1155(6)116600Pd XPd X(4-5)(4-5)因为因为X X5 5 0 0,X X6 6 0 0,故压电常数,故压电常数d d1515=0=0,d d1616=0=0,由
14、,由此可见,对于此可见,对于x x切割的石英晶片,当受到切应力切割的石英晶片,当受到切应力X X5 5或或X X6 6的作用时,在的作用时,在x x方向并不产生压电效应。方向并不产生压电效应。wangclsdu.edu20综合上述实验结果得到,选综合上述实验结果得到,选x x方向为电极面,方向为电极面,当电场当电场E=0E=0时,应力张量时,应力张量X X对对x x方向的极化强度方向的极化强度分量分量P P1 1的贡献为:的贡献为:11111121440()EPd Xd Xd Xwangclsdu.edu21当选当选y y方向为电极面,重复上述实验,当电场方向为电极面,重复上述实验,当电场E=
15、0E=0时,时,应力张量应力张量X X对对y y方向的极化强度分量方向的极化强度分量P P2 2的贡献为:的贡献为:22552661451160()(2)EPd Xd Xd Xd X(4-74-7)即石英晶体的压电常数即石英晶体的压电常数d d2525=-d=-d1414,d d2626=-2d=-2d1111。wangclsdu.edu22当选当选z z方向为电极面,重复上述实验,当电场方向为电极面,重复上述实验,当电场E=0E=0时,应力张量时,应力张量X X对对z z方向的极化强度分量方向的极化强度分量P P3 3的的贡献为:贡献为:0P0E3(4-84-8)wangclsdu.edu2
16、3根据(根据(4-64-6)、()、(4-74-7)以及()以及(4-84-8)式的结果,)式的结果,可得到石英晶体的正向压电效应表示式用矩阵表可得到石英晶体的正向压电效应表示式用矩阵表示为:示为:121111114321411435600000002000000XXPdddXPddXPXXwangclsdu.edu24在压电物理中常用电位移在压电物理中常用电位移D D代替极化强度代替极化强度P P,当,当电场电场E=0E=0时,时,D=D=0 0E+P=PE+P=P,电位移的三个分量:,电位移的三个分量:D D1 1=P=P1 1,D D2 2=P=P2 2,D D3 3=P=P3 3。将这
17、些关系代入到(将这些关系代入到(4-94-9)式,即得到用电位移)式,即得到用电位移分量与应力分量表示的石英晶体正向压电效应分量与应力分量表示的石英晶体正向压电效应的表示式为,的表示式为,wangclsdu.edu25式中附标式中附标E E表示电场强度表示电场强度E=0E=0。121111114321411435600000002000000EXXDdddXDddXDXXwangclsdu.edu26从以上两式式可以看出:从以上两式式可以看出:(1 1)对于石英晶体不是在任何方向上都存在压)对于石英晶体不是在任何方向上都存在压电效应,只有在某些方向上,在某些力的作用下,电效应,只有在某些方向上
18、,在某些力的作用下,产生才能出现正压电效应。例如,在石英晶体产生才能出现正压电效应。例如,在石英晶体x x方向,只有方向,只有X X1 1、X X2 2、X X4 4作用时,才能在作用时,才能在x x方向压电方向压电效应,而效应,而X X3 3、X X5 5、X X6 6不能在不能在x x方向压电效应。在石方向压电效应。在石英晶体的英晶体的z z方向,不论在什么方向作用多大的力,方向,不论在什么方向作用多大的力,都不能在都不能在z z方向压电效应。方向压电效应。wangclsdu.edu27(2 2)石英晶体的独立压电常数只有)石英晶体的独立压电常数只有d d1111与与d d1414两两个,
19、它们的数值是:个,它们的数值是:d d1111=-2.31=-2.31 1010-12-12库仑库仑/牛顿,牛顿,d d1414=0.73=0.73 1010-12-12库仑库仑/牛顿。牛顿。wangclsdu.edu28对于一般的情况,例如属于三斜晶系对于一般的情况,例如属于三斜晶系1 1(C C1 1)点)点群的压电晶体是完全各向异性的,独立的压电常群的压电晶体是完全各向异性的,独立的压电常数共有数共有1818个,用矩阵表示即为,个,用矩阵表示即为,363534333231262524232221161514131211dddddddddddddddddddwangclsdu.edu29可
20、见压电常数可见压电常数d d的矩阵形式是一个三行六列矩阵,的矩阵形式是一个三行六列矩阵,即即d d是一个三级张量。一般情况下正压电效应的是一个三级张量。一般情况下正压电效应的表示式为:表示式为:121111213141516322122232425264331323334353656EXXDddddddXDddddddXDddddddXXwangclsdu.edu30或简写为:或简写为:EDd X61;1,2,3;1,2,3,4,5,6mmjjEjDd Xmj或:或:wangclsdu.edu31逆压电效应逆压电效应 inverse effectinverse effect当晶体受到电场当晶体
21、受到电场E E的作用时,晶体产生与电场成的作用时,晶体产生与电场成线性比例线性比例的畸变,这个现象称为逆压电效应的畸变,这个现象称为逆压电效应。逆压电效应的产生是由于压电晶体受到电场的逆压电效应的产生是由于压电晶体受到电场的作用时,在晶体内部产生应力,这个应力常称作用时,在晶体内部产生应力,这个应力常称为压电应力。通过压电应力的作用,产生压电为压电应力。通过压电应力的作用,产生压电形变。形变。仍以石英晶体为例说明如下。仍以石英晶体为例说明如下。wangclsdu.edu32(1 1)选用石英晶体的)选用石英晶体的x x切割晶片,以切割晶片,以x x面为电极面。面为电极面。当晶片只受到当晶片只受
22、到x x方向的电场分量方向的电场分量E E1 1作用(应力张量作用(应力张量X=0X=0)时,分别在)时,分别在x x方向和方向和y y方向产生应变方向产生应变x x1 1和和x x2 2以以及切应变及切应变x x4 4,这些应变都与,这些应变都与E E1 1成正比,即成正比,即1111X2121111X4141Xxd Exd Ed Exd E 其中下标其中下标X X表示应力张量表示应力张量X=0X=0。wangclsdu.edu33(2 2)以)以y y面为电极面,当晶片只受到面为电极面,当晶片只受到y y方向的电方向的电场分量场分量E E2 2作用时,分别产生切应变作用时,分别产生切应变x
23、 x5 5和和x x6 6,这,这些应变都与些应变都与E E2 2正比,即:正比,即:525214262621112XXxd Ed Exd Ed E wangclsdu.edu34(3 3)以)以z z面为电极面,当晶片只受到面为电极面,当晶片只受到z z方向的电方向的电场分量场分量E E3 3作用时,晶片不产生任何形变。作用时,晶片不产生任何形变。综合上述结果,得到石英晶体的逆压电效应表示综合上述结果,得到石英晶体的逆压电效应表示式,用矩阵表示为式,用矩阵表示为wangclsdu.edu35111211132414351461100000000000020 xdxdExExdExdxd逆压电
24、效应逆压电效应wangclsdu.edu36从上式可以看出:从上式可以看出:(1 1)对于石英晶体不是在任何方向上都存在逆压)对于石英晶体不是在任何方向上都存在逆压电效应,只有在某些方向,在某些电场作用下,电效应,只有在某些方向,在某些电场作用下,才能产生逆压电效应。例如,当才能产生逆压电效应。例如,当x x方向电场分量方向电场分量E E1 1作用时,可产生压电形变作用时,可产生压电形变x x1 1和和x x2 2以及压电切应变以及压电切应变x x4 4。又如当又如当z z方向电场分量方向电场分量E E3 3作用时,晶体不会产生任作用时,晶体不会产生任何形变。何形变。wangclsdu.edu
25、37(2 2)逆压电常数与正压电常数相同,并且一一)逆压电常数与正压电常数相同,并且一一对应。对应。(3 3)有正压电效应方向就有相应的逆压电效应。)有正压电效应方向就有相应的逆压电效应。晶体中那个方向上有正压电效应,则此方晶体中那个方向上有正压电效应,则此方向上一定存在逆压电效应。向上一定存在逆压电效应。wangclsdu.edu38对于一般的情况,例如三斜晶系中的压电晶体,对于一般的情况,例如三斜晶系中的压电晶体,它的逆压电效应用矩阵表示即为,它的逆压电效应用矩阵表示即为,111213121222321313233324142434351525356162636xdddxdddExdddE
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