纳米材料的基本概念课件.ppt
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1、第一章第一章 纳米材料的基本概念纳米材料的基本概念 1.1 1.1 纳电子器件基本概念与特点纳电子器件基本概念与特点1.2 1.2 纳米材料基本概念和内涵纳米材料基本概念和内涵 1.3 1.3 纳米结构单元纳米结构单元1.4 1.4 纳米材料的新发展纳米材料的新发展知识铺垫与视野知识铺垫与视野拓展拓展1.1 1.1 纳电子器件基本概念与特点纳电子器件基本概念与特点1.纳米技术在纳米技术在信息技术中的地位信息技术中的地位信息技术信息技术重点基础技术重点基础技术11.511.5重大专项重大专项电子信息材料与元器件技术电子信息材料与元器件技术微电子技术微电子技术光电子技术光电子技术主流核心技术主流核
2、心技术计算机计算机技术技术通信通信技术技术控制控制技术技术软件技术软件技术网络技术网络技术广播电视技术广播电视技术前沿技术前沿技术超导技术超导技术生物技术生物技术纳米技术纳米技术虚拟技术虚拟技术有关信息的获取、传输、处理控制的有关信息的获取、传输、处理控制的设备和系统的技术,设备和系统的技术,3C3C技术是核心技术是核心。注:注:C C5 5I I:指信息获取、通信、处理、:指信息获取、通信、处理、控制、对抗(控制、对抗(collection,communicationcollection,communicationComputing,control,countermeasure,Comput
3、ing,control,countermeasure,intelligence intelligence)信息技术是一种综合技术,是一个多层次、多专业的体系信息技术是一种综合技术,是一个多层次、多专业的体系 纳米技术是信息技术的前沿技术之一!纳米技术是信息技术的前沿技术之一!2007-20102007-2010年国家奖年国家奖(1 1)相互关系)相互关系nNT、BT、IT一起被美国政府科学顾问委员会推荐为21世纪重点发展的三大技术。n著名美籍华人,美国加州大学前校长田长霖田长霖博士,明确地告诉人们:对21世纪产生巨大影响的关键技术为信息技术、生命科学、信息技术、生命科学、纳米技术纳米技术。有人
4、称为3T3T技术:n信息技术信息技术:Information Technology,ITn生物技术生物技术:Biology Technology,BTn纳米技术:纳米技术:Nano-Technology,NT IT BT NTNTNT是是IT,BTIT,BT重要的技术支持重要的技术支持和基础。和基础。IT,BTIT,BT的进步的进步,对对NTNT起作很好起作很好的牵引的牵引,促进和推动作用。促进和推动作用。生物、信息、纳米科技是本世纪内发展的主流!生物、信息、纳米科技是本世纪内发展的主流!英刊评出十大对未来影响巨大的发明英刊评出十大对未来影响巨大的发明ITETEnergy+Environmen
5、t生物科学技术生物科学技术对基因的认识,产生了转基因生对基因的认识,产生了转基因生物技术,可以治疗顽症,也可以创造出自然界不存物技术,可以治疗顽症,也可以创造出自然界不存在的生物。在的生物。信息科学技术信息科学技术使人们可以坐在家中便知天下大使人们可以坐在家中便知天下大事,因特网几乎可以改变人们的生活方式。事,因特网几乎可以改变人们的生活方式。纳纳 米米 科科 学学 技技 术术:William J.Clinton,January 21,2000In 2000,President Clinton chose Caltechthe site of the historic Feynman spee
6、chas the venue to announce the creation of the National Nanotechnology Initiative(NNI),a coordinated Federal program to fund nanotechnology research and development:“My budget supports a major new National Nanotechnology Initiative,worth$500 million the ability to manipulate matter at the atomic and
7、 molecular level.Imagine the possibilities:materials with ten times the strength of steel and only a small fraction of the weight-shrinking all the information housed at the Library of Congress into a device the size of a sugar cube-detecting cancerous tumors when they are only a few cells in size.S
8、ome of our research goals may take 20 or more years to achieve,but that is precisely why there is an important role for the federal government.”细胞内的多个基因改变导致癌症,细胞内的多个基因改变导致癌症,纳米技术将实现更早期的发现和预防纳米技术将实现更早期的发现和预防2015 10 m Year X 现在现在 过去过去 mm早期发现早期发现和诊断和诊断恶性肿瘤恶性肿瘤和转移和转移Prevention发现和诊断现状现状目标目标挑战挑战:减少癌症的病痛和死
9、亡减少癌症的病痛和死亡 2015 “A Vision Not a Dream!”by using nanotechnology,A v.Eschenbach,NCI手段手段/方法?方法?靶向药物、饥饿疗法靶向药物、饥饿疗法 、热疗法治疗癌症、热疗法治疗癌症(2)国外基础研究计划中对)国外基础研究计划中对IT、BT、NT的关注的关注A(1 1)人类对客观世界的认识逐渐发展为两个层次)人类对客观世界的认识逐渐发展为两个层次一、宏观领域:肉眼可见的物体一、宏观领域:肉眼可见的物体 ,无限大到宇宙天体,无限大到宇宙天体二、微观领域:以原子分子为最大起点,下至无限领域二、微观领域:以原子分子为最大起点,
10、下至无限领域在两者之间为介观在两者之间为介观2.纳米电子器件概念的提出纳米电子器件概念的提出微米微米 m m(1010-6-6米)米)亚微米(亚微米(1010-7-7米)米)纳米纳米nmnm(1010-9-9米)米)包括包括纳米范围通常纳米范围通常1 1100nm 100nm,纳米科技,纳米科技 研究的尺寸范围研究的尺寸范围0.10.1100nm100nm。纳米尺度的图片概念纳米尺度的图片概念 mm um um nm nm 功能元件组装,更新颖,更复杂新材料组合功能元件组装,更新颖,更复杂新材料组合1.1.当大规模集成电路中元件尺寸由当大规模集成电路中元件尺寸由mm mm umum 时,仍用传
11、统时,仍用传统的技术和科学来表达。的技术和科学来表达。2.2.从从umum nmnm将研究新的效应,将研究新的效应,新概念,新技术。新概念,新技术。3.3.再进一步发展,将需要再进一步发展,将需要组装功能元件。组装功能元件。过去过去传统科学技术 现在 新效应、新概念、新技术 未来 纳米材料纳米材料“新一代材料新一代材料新一代器件新一代器件新一代系统新一代系统”的技术链的技术链(2 2)电子器件技术的发展趋势)电子器件技术的发展趋势一、一、MooreMoore定律定律IntelIntel公司创始人公司创始人Gordon Moore1965Gordon Moore1965年在一次讲演中提出年在一次
12、讲演中提出:芯片晶体管数量每:芯片晶体管数量每1818个月将会增加个月将会增加1 1倍。倍。19961996年,电子年,电子学家和企业家在美国旧金山的国际会议讨论的结果认为学家和企业家在美国旧金山的国际会议讨论的结果认为过过去去2020年是这样,未来年是这样,未来1515年仍是这样年仍是这样。n 集成度已达到集成度已达到108/2 n 未来目标未来目标1012/2n 每个元件尺寸每个元件尺寸10 nm10 nm二、二、MooreMoore定律影响中半导体器件定律影响中半导体器件 按按MooreMoore定律:到定律:到20112011年,最小尺寸年,最小尺寸0.08um0.08um,微电子器件
13、进入物理极限,微电子器件进入物理极限?当每个尺寸当每个尺寸10nm10nm,密度为,密度为10101212b/cmb/cm2 2:功耗功耗:W3w/in:W3w/in2 2 每开关一次的电子数:小于每开关一次的电子数:小于1010个,个,逼近单电子行为,具有量子效应逼近单电子行为,具有量子效应从粒子性从粒子性电子自由程(电子自由程(1-100nm1-100nm)与器件的物理长度相当)与器件的物理长度相当 振幅信息振幅信息电子在作为信号载流子于器件中传输时,将保留电子在作为信号载流子于器件中传输时,将保留 相位信息相位信息从波动性从波动性材料中自由电子德布罗意波长与器件的物理长度相当材料中自由电
14、子德布罗意波长与器件的物理长度相当2/12)*2(2Em:10-100nm m*:电子有效质量:电子有效质量,m*0.1m0(m0-自由电子质量自由电子质量)E100mv 振幅信息振幅信息 电子在作为信号载流子于器件中传输时,将保留电子在作为信号载流子于器件中传输时,将保留 相位信息相位信息摩尔第二定律:任何电子系统的整体效率每摩尔第二定律:任何电子系统的整体效率每2424个月翻一番。个月翻一番。这种成本将随着器件尺度的变这种成本将随着器件尺度的变小作指数增长小作指数增长”(摩尔第二定律)(摩尔第二定律)IBMIBM公司的复杂系统顾问埃尔内斯托霍夫曼(公司的复杂系统顾问埃尔内斯托霍夫曼(Ern
15、estoErnestoHoffmannHoffmann)解释说:)解释说:“还有另外一条不太知名的还有另外一条不太知名的摩尔第二定律:摩尔第二定律:生产芯片的设备造价每生产芯片的设备造价每3636个月就会翻一番。个月就会翻一番。目前这套设备的成本目前这套设备的成本已达几十亿美元,足以购买已达几十亿美元,足以购买5050多架波音多架波音747747飞机。飞机。”这样以来,这样以来,如果摩尔第二定律成立的话,到如果摩尔第二定律成立的话,到20302030年一家新的微芯片工厂投资年一家新的微芯片工厂投资将可能超过整个地球的国民生产总值将可能超过整个地球的国民生产总值这可真是太昂贵了。这可真是太昂贵了
16、。Moore law Moore law提出后,曾有相当一部分人认为下一代的提出后,曾有相当一部分人认为下一代的器件是器件是分子电子器件。分子电子器件。其理论基础是分子电子学。其理论基础是分子电子学。因此,纷纷展开了因此,纷纷展开了分子电子学分子电子学的研究,经过几年的工作的研究,经过几年的工作逐渐认识到,逐渐认识到,在微电子器件与分子电子器件之间有一个在微电子器件与分子电子器件之间有一个过渡时期过渡时期 纳电子器件。纳电子器件。三、三、Future Integrated Multichips SystemsFuture Integrated Multichips Systems Nano-t
17、echnology(spin,molecular,RTD)devices fully integrated with RF,CMOS,and optical technologiesRTD:quantum-well-resonant-tunneling diodeCMOS:complementary metal-oxide semiconductorBiCOMS:Bipolar CMOSSOI:silicon on insulator Si/SiO2的界面要非常清晰,一的界面要非常清晰,一般采用注入氧隔离技术。般采用注入氧隔离技术。未来的目标应是综合的组件,或未来的目标应是综合的组件,或SOC
18、SOC(system on chipsystem on chip)!)!事实上,早在事实上,早在19851985年,年,G.G.RobertsG.G.Roberts统计表明:电子元件的统计表明:电子元件的尺寸随年代呈指数减少的关系。尺寸随年代呈指数减少的关系。A.A.ChiabreraA.A.Chiabrera从理论上对从理论上对固体结构特性的最小尺寸(原子团)、电流电压感应击穿、固体结构特性的最小尺寸(原子团)、电流电压感应击穿、功率耗散、热噪声和功率耗散、热噪声和HeisenbergHeisenberg不确定原理五个方面进行不确定原理五个方面进行了讨论,给出了微电子和元件尺寸的物理极限。如
19、了讨论,给出了微电子和元件尺寸的物理极限。如:储存储存1616位信息的元件:位信息的元件:最小面积最小面积 最小原子数最小原子数 最小掺杂数量最小掺杂数量 运算运算1 1次功耗次功耗 目前目前 1um1um2 2 10 109 9 10 103 3 1010-3-3PJPJ 极限极限 10103 3 10 k 10 kB BT T量级量级3.三代电子器件的比较三代电子器件的比较名称名称真空管真空管晶体管晶体管电子盒电子盒放大器件符号放大器件符号环境环境真空真空晶格晶格隧道隙隧道隙元件尺寸元件尺寸cmcmmmmm m m控制区尺寸控制区尺寸mmmm m mnmnm自由程自由程m m0.1 m0.
20、1 m10nm10nm材料材料电真空材料电真空材料单晶半导体单晶半导体有机有机/无机,?无机,?材料纯度材料纯度高纯(高纯(5 56 6个个9 9)半导体纯半导体纯(8(89 9个个9)9)?工艺工艺电子管制造工艺电子管制造工艺光刻、掺杂技术光刻、掺杂技术组装,自相似生长组装,自相似生长理论理论真空电子学真空电子学(宏观)宏观)半导体物理半导体物理(宏观宏观)纳电子学纳电子学(局域局域)参量参量平均值平均值平均值平均值非平均值非平均值三代电子器件的比较(续)三代电子器件的比较(续)名称名称真空管真空管晶体管晶体管电子盒电子盒分布参量作用分布参量作用很小很小小小显著显著温度敏感温度敏感很小很小小
21、小显著显著载流子数量载流子数量宏观量宏观量宏观量宏观量有限量有限量信号电流强度信号电流强度mAmAAAnAnA载流子载流子电子电子电子电子/空穴空穴电子电子/空穴空穴:金属、半导体金属、半导体孤子:有机材料孤子:有机材料极化子:极化材料、有机材料极化子:极化材料、有机材料放大器件控制放大器件控制电流电流电子电子/空穴数空穴数隧穿速率隧穿速率集成度集成度分立分立1010101212b/cmb/cm2 2加工模式加工模式模拟模拟bitbitqubitqubit加工网加工网分立元件分立元件数字网数字网类神经网类神经网构造仪器构造仪器无线电、雷达无线电、雷达计算机计算机计算机、自动器、信息网计算机、自
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