机械工程测试技术第三章常用传感器与敏感元件-课件.ppt
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1、测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 第三章第三章 常用传感器常用传感器3.1 概概 述述 3.2 电阻传感器电阻传感器 3.3 电容传感器电容传感器 3.4 电感传感器电感传感器 3.5 磁电传感器磁电传感器 3.6 压电传感器压电传感器 3.7 磁敏传感器磁敏传感器 3.8 传感器选用原则传感器选用原则测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 3.1 概概 述述1.传感器传感器(Sensor)定义定义传感器是能感受规定的被测量,并按照一定的规律转换传感器是能感受规定的被测量,并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置。通常由成可用输出信号的器件或
2、装置。通常由敏感元件敏感元件和和转换元件转换元件组组成成(GB766-87)。狭义上,狭义上,非电信号非电信号 电信号电信号。在非电量电测系统中的作用在非电量电测系统中的作用:敏感作用敏感作用:感受并拾取被测对象的信号感受并拾取被测对象的信号变换作用变换作用:被测信号转换成易于检测和处理的电信号被测信号转换成易于检测和处理的电信号测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 2.传感器的分类传感器的分类(1)(1)按被测物理量分类按被测物理量分类位移传感器位移传感器,力传感器力传感器,温度传感器等温度传感器等.(2)(2)按传感器的工作原理分类按传感器的工作原理分类机械式机械式,
3、电气式电气式,光学式光学式,流体式等流体式等.(3)(3)按敏感元件与被测对象之间的能量关系按敏感元件与被测对象之间的能量关系 能量转换型能量转换型:直接由被测对象输入能量使其工作直接由被测对象输入能量使其工作.例如例如:热电偶温度计热电偶温度计,压电式加速度计压电式加速度计.能量控制型能量控制型:从外部供给能量并由被测量控制外部供给能量的变化从外部供给能量并由被测量控制外部供给能量的变化.例如例如:电阻应变片电阻应变片.测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 工作范围或量程应足够大,具有一定的过载能力工作范围或量程应足够大,具有一定的过载能力 与检测系统匹配性好,转换灵敏
4、度高与检测系统匹配性好,转换灵敏度高 精度适当,稳定性高精度适当,稳定性高 反应速度快,工作可靠性高反应速度快,工作可靠性高 适应性和适用性强适应性和适用性强(4)(4)按信号变换特征分类按信号变换特征分类物性型物性型:依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实现信号变换依靠敏感元件材料本身物理性质的变化来实现信号变换.如如:水银温度计水银温度计.结构型结构型:依靠传感器结构参数的变化实现信号转变依靠传感器结构参数的变化实现信号转变.例如例如:电容式和电感式传感器电容式和电感式传感器.3.传感器的性能要求传感器的性能要求测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 4.常见的被测物理
5、量常见的被测物理量机械量机械量:长度,厚度,位移,速度,加速度,旋转角,转数长度,厚度,位移,速度,加速度,旋转角,转数,质量,重量,力,压力,真空度,力矩,流速,流量;质量,重量,力,压力,真空度,力矩,流速,流量;声声:声压,噪声;声压,噪声;磁磁:磁通,磁场;磁通,磁场;温度温度:温度,热量,比热;温度,热量,比热;光:光:亮度,色彩亮度,色彩 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 电阻式传感器电阻式传感器 是把被测量转换为是把被测量转换为电阻变化电阻变化的一种传的一种传感器。感器。按工作的原理可分为按工作的原理可分为:变阻器式变阻器式 电阻应变式电阻应变式 热敏式
6、热敏式 光敏式光敏式 湿敏式湿敏式 AlR 3.2 电阻式传感器电阻式传感器测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 1EERRxLx R总电阻总电阻;Rx 电刷电阻电刷电阻;AlR 1.变阻器式传感器变阻器式传感器测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 2.应变式电阻传感器应变式电阻传感器丝式应变片丝式应变片 箔式应变片箔式应变片 AlR 半导体应变片半导体应变片金属应变片金属应变片 丝式、箔式丝式、箔式半导体应变片半导体应变片测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 比例关系比例关系 AlR 应变片受力应变片受力 应变应变 比例关系比
7、例关系 应变片电阻的变化应变片电阻的变化(1)应变效应应变效应 导体或半导体在外力作用下产生导体或半导体在外力作用下产生机械变形机械变形而引起导体或半而引起导体或半导体的导体的电阻值发生变化电阻值发生变化的物理现象称为的物理现象称为应变效应应变效应。传感元件:电阻应变片,它是一种把被测试件的传感元件:电阻应变片,它是一种把被测试件的应变量应变量转换转换成成电阻变化量电阻变化量的传感元件。的传感元件。测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 AlR (2)工作原理工作原理式中,式中,导线的电阻率,又称为电阻系数导线的电阻率,又称为电阻系数金属导线的金属导线的应变电阻效应应变电阻
8、效应:当金属丝由于受到轴向力当金属丝由于受到轴向力P而伸长时,长度增长,截而伸长时,长度增长,截面积减小,其电阻值就增大;反之,如细丝因受压力而面积减小,其电阻值就增大;反之,如细丝因受压力而缩短,即长度变短,截面积变粗时,则电阻就减小。缩短,即长度变短,截面积变粗时,则电阻就减小。测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 SERdR)21(推导推导 AlR :泊松系数,泊松系数,E:弹性模量,弹性模量,:纵向应变,纵向应变,:压阻系数压阻系数S由两部分组成:由两部分组成:前一部分前一部分(1+2)是由金属导线的是由金属导线的几何变形几何变形引起的;引起的;后一部分后一部分
9、E 除与金属导线几何尺寸有关外,还与除与金属导线几何尺寸有关外,还与金属本身的特性有关。金属本身的特性有关。测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 金属应变片(金属应变片(不变)不变)金属应变计金属应变计 半导体应变片(半导体应变片(变化)变化)半导体应变计半导体应变计6.37.1)21(gSRdR 7060 gSERdR SERdR)21(测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器(3)应变片的主要参数应变片的主要参数1)几何参数:表距几何参数:表距L和丝栅宽度和丝栅宽度b,制造厂常用,制造厂常用bL 表示。表示。2)电阻值:应变计的原始电阻值。电阻值:应
10、变计的原始电阻值。3)灵敏系数:表示应变计变换性能的重要参数。灵敏系数:表示应变计变换性能的重要参数。4)其它表示应变计性能的参数(工作温度、滞后、其它表示应变计性能的参数(工作温度、滞后、蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等)。蠕变、零漂以及疲劳寿命、横向灵敏度等)。测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器(4)金属应变计金属应变计 金属应变计有金属应变计有:1、丝式丝式 2、箔式箔式 优点优点:稳定性和温度特稳定性和温度特性好性好.缺点缺点:灵敏度系数小灵敏度系数小.测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 体型体型薄膜型薄膜型扩散型扩散型(5)半导体应
11、变计半导体应变计 优点:优点:应变灵敏度大应变灵敏度大;体积小体积小;能制成具有一定应变电阻的元能制成具有一定应变电阻的元件件.缺点:缺点:温度稳定性和可重复性温度稳定性和可重复性不如金属应变片不如金属应变片。测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 立柱应力立柱应力 桥梁应力桥梁应力 德国德国HBMHBM电阻应变式传感器电阻应变式传感器(6).应变式电阻传感器的应用应变式电阻传感器的应用测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 压力传感器压力传感器 质量传感器质量传感器 位移传感器位移传感器 加速度计加速度计 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三
12、章常用传感器 压力传感器压力传感器 扭矩传感器扭矩传感器 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 温度温度(热量热量)的变化的变化电阻的变化电阻的变化 温度检测温度检测:-200+500 3.其他电阻传感器其他电阻传感器(1).热电阻传感器热电阻传感器 利用导电物体电阻率随本身温度变化而变化的利用导电物体电阻率随本身温度变化而变化的温度电阻效应制成的传感器。温度电阻效应制成的传感器。测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 圆形热敏电阻圆形热敏电阻 柱形热敏电阻柱形热敏电阻 珠形热敏电阻珠形热敏电阻 热敏电阻在电路中的符号热敏电阻在电路中的符号 (2).热
13、敏电阻传感器热敏电阻传感器非线性元件非线性元件:它的温度它的温度-电阻关系是指数关系电阻关系是指数关系 温度为温度为-50-50350350测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 (3)光敏电阻传感器光敏电阻传感器(4)湿敏电阻传感器湿敏电阻传感器 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 变换原理变换原理将被测物理量的变化转化为电容量变化。将被测物理量的变化转化为电容量变化。两平行极板组成的电容器两平行极板组成的电容器,它的电容量为它的电容量为:当被测量当被测量d d、A或或 发生变化时,都会引起电容的变化。发生变化时,都会引起电容的变化。如果保持其中的
14、两个参数不变,而仅改变另一个参数,如果保持其中的两个参数不变,而仅改变另一个参数,就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化。就可把该参数的变化变换为单一电容量的变化。+d A d d AC0 3.3 电容式传感器电容式传感器测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 2.分类分类 c)介质变化型介质变化型a)极距变化型极距变化型+b)面积变化型面积变化型:平面线位移型平面线位移型,角位移型角位移型,柱面线位移型柱面线位移型d d AC0 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 3.灵敏度灵敏度 a)极距变化型极距变化型d d AC0 d dd d dd20A
15、C 传感器的灵敏度近似为:传感器的灵敏度近似为:20ddd d d dACS 变极距电容传感器变极距电容传感器 平板电容器平板电容器 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 传感器灵敏度传感器灵敏度b)面积变化型面积变化型a)a)直线位移型直线位移型 d d bxC0 常数常数 d d bxCS0dd直线位移型直线位移型b)b)角位移型角位移型 d d 220rC 传感器灵敏度传感器灵敏度 常数常数 d d 2dd20rCS角位移型角位移型测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 介质常数变化型电容式传感器介质常数变化型电容式传感器c)介质变化型介质变化型
16、 大多用于测量电介质的厚大多用于测量电介质的厚度度(图图a)、位移、位移(图图b)、液位、液位(图图c)根据极板介质的介电常数根据极板介质的介电常数随温度、湿度、容量改变随温度、湿度、容量改变而改变来测量温度、湿度、而改变来测量温度、湿度、容量容量(图图d)等。等。测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 振动测量振动测量 旋转轴的偏心量的测量旋转轴的偏心量的测量 4.电容式传感器的应用电容式传感器的应用测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 电容式氢液高度传感器电容式氢液高度传感器 纱条均匀度测试仪纱条均匀度测试仪 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传
17、感器第三章常用传感器 电感式传感器电感式传感器自感型自感型 可变磁阻型可变磁阻型 涡流式涡流式互感型互感型3.4 电感式传感器电感式传感器电感式传感器是基于电感式传感器是基于电磁感应电磁感应原理,它是把原理,它是把被测量被测量转化为转化为电感量电感量的一种装置。的一种装置。分类分类:测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 1.可变磁阻式可变磁阻式(自感型自感型)002AAlRm d d 原理原理:电磁感应电磁感应W:线圈匝数;线圈匝数;l:软铁长度;软铁长度;:软铁磁导率;:软铁磁导率;0:空气磁导率:空气磁导率 A:铁芯导磁截面:铁芯导磁截面 A0:空气导磁截面:空气导磁
18、截面可变磁阻式传感器基本原理可变磁阻式传感器基本原理1.线圈线圈 2.铁芯铁芯 3.衔铁衔铁mRWL2 d d 2002AWL 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 d d 2002AWL (1).间隙变化型间隙变化型20022WAdLLSd dddddd 间隙变化型可变磁阻式传感器结构间隙变化型可变磁阻式传感器结构 当当 0、A0固定不变,改变固定不变,改变d d 时,时,L与与d d 呈非线形(双曲线)关系呈非线形(双曲线)关系.L L与与d d 的双曲线关系的双曲线关系 传感器灵敏度:传感器灵敏度:测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 d d
19、2002AWL (2).面积变化型面积变化型面积变化型可变磁阻式传感器结构面积变化型可变磁阻式传感器结构 当当 0、d d 固定不变,改变固定不变,改变A0时,时,L与与A0呈线形关系呈线形关系.传感器灵敏度传感器灵敏度 2002WdLSdA d dL与与A0的线形关系的线形关系=常数常数测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器(3).螺线管型螺线管型 当其它参数不变,仅改变当其它参数不变,仅改变l,使使Rm变化,从而产变化,从而产生电感的变化。生电感的变化。002AAlRm d d mRWL2 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器(4).差动型差动型变
20、间隙型差动变压器变间隙型差动变压器 输出特性输出特性传感器灵敏度传感器灵敏度 d dd dLddLS2 测试技术基础测试技术基础 第三章常用传感器第三章常用传感器 当金属板置于变化磁场中或者在磁场中运动时,在金属板中当金属板置于变化磁场中或者在磁场中运动时,在金属板中产生感应电流,这种电流在金属体内是闭合的,称为产生感应电流,这种电流在金属体内是闭合的,称为涡流涡流。涡流的大小与金属板的涡流的大小与金属板的电阻率电阻率、磁导率磁导率、厚度厚度t,以及金,以及金属板与线圈属板与线圈距离距离、激励电流、角频率等参数有关。、激励电流、角频率等参数有关。涡流式电感传感器可分为涡流式电感传感器可分为 1
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