第一章-激光先进制造技术基础课件.ppt
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- 第一章 激光 先进 制造 技术 基础 课件
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1、 2023年年1月月17日星期二日星期二 第一章第一章 激光先进制造技术基础激光先进制造技术基础 4.激光加工的热源模型激光加工的热源模型 3.材料的吸收和反射特性材料的吸收和反射特性2.激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用1.激光束特性激光束特性 2023年年1月月17日星期二日星期二 金玉名言金玉名言成功者找方法,失败者找借口成功者找方法,失败者找借口 宁可去碰壁,也不要在家里面壁宁可去碰壁,也不要在家里面壁 做任何事情,尽最大努力做任何事情,尽最大努力 2023年年1月月17日星期二日星期二 1.1 激光束特性激光束特性相干性相干性单色性单色性方向性方向性亮度高亮度高普通光源
2、发出的光均包含较宽的波长范围,即谱线宽度宽,如普通光源发出的光均包含较宽的波长范围,即谱线宽度宽,如太阳光就包含所有可见光波长,而激光为单一波长,谱线宽度太阳光就包含所有可见光波长,而激光为单一波长,谱线宽度极窄,通常在数百纳米至几微米,与普通光源相比,谱线宽度极窄,通常在数百纳米至几微米,与普通光源相比,谱线宽度窄了几个数量级。窄了几个数量级。普通光源发出的光属于非相干光,不产生干涉现象,而激光有普通光源发出的光属于非相干光,不产生干涉现象,而激光有很好的相干特性。激光束叠加在一起,其幅度是稳定的。在相很好的相干特性。激光束叠加在一起,其幅度是稳定的。在相当长时间内,可保持光波前后的相位关系
3、不变,这是任何其他当长时间内,可保持光波前后的相位关系不变,这是任何其他的光源所达不到的。的光源所达不到的。普通光源发射的光射向四方,谈不上有什么方向性、光束发散普通光源发射的光射向四方,谈不上有什么方向性、光束发散度大,而激光发散角小,一般为几个毫弧度,方向性也好,如度大,而激光发散角小,一般为几个毫弧度,方向性也好,如将激光束射向月球,则在月球表面的光斑直径不超过将激光束射向月球,则在月球表面的光斑直径不超过2km。激光束能通过一个光学系统激光束能通过一个光学系统(如透镜如透镜)聚焦到一个很小面积上,聚焦到一个很小面积上,具有很高的亮度。例如一支输出功率为具有很高的亮度。例如一支输出功率为
4、1mw的的He-Ne激光器激光器输出的激光,经过透镜聚焦后,其亮度比太阳的亮度高输出的激光,经过透镜聚焦后,其亮度比太阳的亮度高10万万倍。倍。2023年年1月月17日星期二日星期二 激光场是个稳定的驻波场,垂直于激光传播方向的光场分布称之为横模,通常讲的光束的质量,主要是看输出光束的横模。激光束的空间形状是由激光器激光束的空间形状是由激光器的谐振腔决定的。的谐振腔决定的。大多数激光器输出均为高阶模。大多数激光器输出均为高阶模。2023年年1月月17日星期二日星期二 激光模式对加工的影响激光模式对加工的影响1、基模高斯光束、基模高斯光束2、高阶模、高阶模优点:衍射损耗很大,能达到衍射极限,故基
5、模光束的发散角小,能量集中。优点:衍射损耗很大,能达到衍射极限,故基模光束的发散角小,能量集中。不足:在腔内的模体积最小,功率不大,且能量分布不均。不足:在腔内的模体积最小,功率不大,且能量分布不均。应用:激光切割、打孔、焊接等应用:激光切割、打孔、焊接等优点:输出功率大,能量分布较为均匀优点:输出功率大,能量分布较为均匀不足:发散厉害不足:发散厉害应用:激光淬火、金属表面处理等应用:激光淬火、金属表面处理等 2023年年1月月17日星期二日星期二 3、匀光系统、匀光系统 反射式积分聚焦镜是使用大功率激光进行大面积宽带熔覆和宽带表面热处理的必备器件,具有极佳的均光效果。2023年年1月月17日
6、星期二日星期二 发散与准直系统发散与准直系统4、发散与光强分布、发散与光强分布02022WWZ时:当当当Z=0时,时,=0(即在束腰处,发散角为(即在束腰处,发散角为0平面波)平面波)当当Z=时:时:022W 通常将通常将200WZ 区域定义为光束准直区区域定义为光束准直区 2023年年1月月17日星期二日星期二 1.1.2 1.1.2 激光束的亮度激光束的亮度222APB A 光源亮度是描述发光表面特性的一个物理量,光源亮度光源亮度是描述发光表面特性的一个物理量,光源亮度(B)被定义为被定义为立体角内每单位面积上的辐射功率立体角内每单位面积上的辐射功率(P)。则光源亮度为:。则光源亮度为:对
7、于接近衍射极限的对于接近衍射极限的光束光束,则:则:)(122srcmWPB 2023年年1月月17日星期二日星期二 1.1.3 激光束的聚焦特性激光束的聚焦特性1、激光束的聚焦形式、激光束的聚焦形式透射式:常用于2KW以下的激光加工系统 2023年年1月月17日星期二日星期二 球面反射式:适用于千瓦以上的大功率激光器1.1.3 激光束的聚焦特性激光束的聚焦特性 2023年年1月月17日星期二日星期二 球面反射式:适用于千瓦以上的大功率激光器 2023年年1月月17日星期二日星期二 采用实际聚焦透镜将激光束聚焦所得的最小光斑半径可近似表示为由衍射所决定的腰斑半径和由透镜像差决定的最小弥散斑半径
8、的和1.1.3 激光束的聚焦特性2322fkDDfbW)2()1(128)14(2nnnnk2、聚焦光斑尺寸和焦深、聚焦光斑尺寸和焦深最小光斑半径其中:与最小聚焦光斑半径相应的焦距为:34312)27.12(Dbkf(1)球面透镜 2023年年1月月17日星期二日星期二 焦距与聚焦光斑直径2322fkDDfbW为得到小的聚焦光斑直径波长越小越好,横模阶数越低越好(b小),透镜的k值要小(采用凹-凸镜)。2023年年1月月17日星期二日星期二 (2)非球面透镜采用无像差非球面透镜聚焦的光斑半径:DfbW22D2由于:对基模光斑最小聚焦半径:fW 2023年年1月月17日星期二日星期二 fW常用激
9、光器的最小聚焦光斑尺寸(常用激光器的最小聚焦光斑尺寸(f=2cm)2023年年1月月17日星期二日星期二 (3)焦深)焦深-激光聚焦的重要参数之一激光聚焦的重要参数之一A、以从束腰向两边截取至光束半径增大5处B、光轴上其点的光强降低至激光焦点处的光强一半时,该点至焦点的距离作为光束的聚焦深度2222228.1432.032.0DfDfW22DfD为入射到透镜上的光斑半径 从上面可看出光束的聚焦深度与入射激光波长和透镜焦距的平方成正比,与D成反比,因此要获得较大的聚焦深度,就要选长聚焦透镜,例如在深孔激光加工以及厚板的激光切割和焊接中,要减少锥度,均需要较大的聚焦深度。2023年年1月月17日星
10、期二日星期二 1.1.4 激光窗口和透镜材料激光窗口和透镜材料Nd:YAG激光器:一般是石英和玻璃CO2激光器:半导体(如Ge、GaAs、ZnSe、CdTe等)材料和碱性卤化物(如KCl、NaCl等)1、要求和条件、要求和条件(1)光学吸收性越小越好(2)热导率。窗口和透镜材料要求热导率尽可能大(3)硬度和平滑度。要求硬度高以增加抗擦伤能力,平滑度要求高,以适应镀膜要求。(4)化学阻抗性。要求在水中溶解度低和抗蚀能力强。2023年年1月月17日星期二日星期二 光学元件材料的光学和热学参数光学元件材料的光学和热学参数 2023年年1月月17日星期二日星期二 热破坏热破坏的原因在于:半导体对光的吸
11、收系数主要决定于半导体中自由载流子的吸收。这种吸收随温度的上升里指数规律增加,高于一定温度时,基体不能耗散它所吸收的热量,温度上升,使吸收进一步增加,又导致温度进一步上升,如此恶性循环,以致因热应力过大而碎裂。图示意表示了Ge、ZnSe和GaAs三种材料的吸收系数随温度的变化,它们的破坏温度分别为70、250和300。Ge承受热破坏的能力差,但它比较便宜,所以只用于透过100w以下功率的co2激光系统中。2 2、反射镜、反射镜 2023年年1月月17日星期二日星期二 2023年年1月月17日星期二日星期二 常用反射镜表面对10.6m光波的百分反射率 2023年年1月月17日星期二日星期二 热畸
12、变品质因素与表面吸收率的关系热畸变品质因素与表面吸收率的关系不镀膜或镀增透膜热畸变品质因素与表面吸收率的关系镀50%反射膜热畸变品质因素与表面吸收率的关系 2023年年1月月17日星期二日星期二 透镜表面镀增透膜或不镀膜时,大部分激光穿过基体,表面吸收率与热畸变品质因素的关系见图1,当表面吸收系数小时,ZnSe优于GaAs,而表面吸收系数大时,GaAs略好。透镜表面镀50反射膜时,只有部分激光穿过基体,表面镀膜层的吸收较之基体的吸收占主导地位,GaAs优于ZnSe,如图2。GaAs常用作数千瓦激光器的输出镜。透镜镀99反射膜时,透射光仅1,透射材料对光的吸收很小,不仅GaAs的热畸变品质因素高
13、。Ge因其导热性好也且有高的热畸变品质因素,接近GaSe的水平,如图3。热畸变品质因素与表面吸收率的关系热畸变品质因素与表面吸收率的关系 2023年年1月月17日星期二日星期二 1.1.51.1.5 激光束质量因子激光束质量因子M M2 2和远场发散角的乘积基模高斯光束束腰宽度场发散角的乘积实际光束束腰宽度和远2M 激光束的光束质量是激光器输出特性中的一个重要指标参数。评价光束质量的方法很多,曾采用聚焦光斑尺寸、远场发射角等作为评价标准,这些评价标准各有优缺点,长期以来均未形成评价激光束质量的统一标准。1988年,利用无量纲的量-光束质量因子M2较科学合理地描述了激光束质量,并为国际标准组织所
14、采纳。1、定义:对于基模(TEM00)高斯光束,有M21,光束质量好,实际光束M2均大于1,表征了实际光束衍射极限的倍数表征了实际光束衍射极限的倍数。光束质量因子M2可表示为402DM 2023年年1月月17日星期二日星期二 Z处的激光功率密度:1.2 1.2 激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用R1A A 能量变化过程:激光入射材料表面,一部份反射,一部份进入材科内部。对不透明物质,透射光被吸收。其吸收率或辐射率为1、激光与材料作用的一般规律zvveRFzF)1()(0B 状态变化:在不同的功率密度等条件下,材料表面区域发生各种不同的变化。这种变化包括温度升高、熔化、汽化、形成小
15、孔和等离子体云等。材料表面区域物理状态的变化反过来又极大地影响材料对激光的吸收。2023年年1月月17日星期二日星期二 1.2 1.2 激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用)(1)(TRT为消光系数K)1()1()(2222KnKnTR2、金属材料对激光的吸收特性一般来说,吸收率是随波长和温度的改变而改变的。垂直入射下的反射率为为消光系数K)1(4)(22KnnT垂直入射下材料的吸收率为 式中,n为复吸收率的实部;K为消光系数。对于金属材料来说n和K均是波长和温度的函数。2023年年1月月17日星期二日星期二 1.2 1.2 激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用1)波长
16、对材料吸收率的影响 图中可看出,波长在0.4-1.0m范围内,n,K变化较慢,而吸收率在这个区域变化较大。在长波区域n和K随波长的增加迅速增加,而相应的吸收率则减小。2023年年1月月17日星期二日星期二 1.2 激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用常用金属的吸收率常用金属的吸收率20 2023年年1月月17日星期二日星期二 1.2 1.2 激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用2)温度对材料吸收率的影响A、金属材料的吸收率()与温度m6.10 2023年年1月月17日星期二日星期二 1.2 1.2 激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用2320202120/)
17、1(006.0/)1(0667.0/)1(365.0)(TrTrTrTB、金属材料的吸收率与温度和金属电阻率的关系式其中:r20为20时金属的电阻率为电阻率随温度的变化系数T为材料温度C、对CO2激光()吸收率m6.102320202120)1(174)1(9.62)1(2.11)(TrTrTrT测出材料的电阻率后,即可计算出材料的吸收率。2023年年1月月17日星期二日星期二 材料的电阻率及随温度的变化系数材料的电阻率及随温度的变化系数例合金钢室温时,吸收率为多少?1500?2023年年1月月17日星期二日星期二 1.2 激光与固体材料的相互作用激光与固体材料的相互作用吸收率计算(对吸收率计
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