热压印光刻技术的超声波振动影响课件.ppt

1、熱壓印光刻技術的超聲波振動影響熱壓印光刻技術的超聲波振動影響指導老師：莊承鑫指導老師：莊承鑫學生學生:奈米四甲奈米四甲 49714047 49714047 李庚桓李庚桓 奈米四甲奈米四甲 49714074 49714074 詹凱捷詹凱捷 奈米四甲奈米四甲 49714088 49714088 鄭育叡鄭育叡 奈米四甲奈米四甲 49714089 49714089 王俊傑王俊傑摘要使用到加熱器來維持三種應力，此三種應力為負載力、熱應力、超聲波震動。在超聲波成型過程中，在加熱器發展具有熱解石墨或熱解氮化硼。奈米材料選擇的是聚碳酸酯在溫度150產生塑料玻璃轉移點。超聲波振動的效果在尺寸越小的情況下，真的提

2、升成型過程中的精度。引言奈米壓印技術由S.Y.Chou於1995年提出。本來超聲波振動被用來紓緩在脫模的步驟（2004年前田和蘆田）。超聲波奈米壓印系統的結構採用電腦控制所有操作。底部加壓層是一種熱塑性板可加熱到最高溫度200 還能承受到了5kN的最大負荷力。兩顆伺服馬達一個再上部加壓層控制X軸和Z軸方向，另一顆則在底部加壓層控制Y軸方向移動。超聲波奈米壓印系統的照片和規格 內部結構使用壓電式超聲波發生器 擁有 19千赫的頻率和大輸出功率1,200 W。超聲波振動的振幅有10個階段設置。超聲波振動的振幅上部加壓層中心距離的超聲波振動的振幅的測量結果。實驗過程a.熱壓印光刻b.超聲波奈米壓印不使

3、用超聲波振動的初步實驗做法:矽模 加熱溫度：150 加熱溫度：180 接觸力：100牛頓 接觸時間：10秒加熱溫度為 180 時。壓印的最大高度為1.18微米，最高的寬高比為 1.06的情況下，此時最高的寬高比已下降到其原始值的五分之一。超聲波振動時間點與接觸力的關係高振幅超聲波振動幅度為1.8微米（high-mode level 5）低振幅超聲波振動幅度為1.25微米（low-mode level 5）低振幅的超聲振動在750nm和1m線寬的圖形並未證實任何實質性的變化。低振幅的超聲振動的線寬為500nm的壓印圖案的呈現上升。結論開發出超聲波奈米壓印系統，可以應用超聲波振動、熱應力和負載力到成型過程中。為了克服超聲波振動，將熱解石墨/熱解氮化硼所有功能設計到加熱器裡面上裝載機械應力系統。為了管理和操作超聲波振動準確壓印的時機，控制超聲波的振動發電裝置的方案進行了改進。振幅超聲波振動的開始時間和超聲振動是很重要的成型條件。在超聲振動的印象開始的情況下接觸到了矽模具上面負載之前，成型精度有所改善和壓印種類的增加。發現壓印線寬和超聲波奈米壓印技術的振幅之間有重要關係。因此，超聲波振動援助的效果表現出對奈米領域的貢獻應用。