微纳中心超净间培训课件.ppt

1、微纳中心超净间培训微纳中心超净间培训超净间就是达到一定标准的洁净度的实验室，是微纳加工的重要平台。超净间就是达到一定标准的洁净度的实验室，是微纳加工的重要平台。对于洁净度的标准，美联邦的209E标准的定义是将“室内悬浮粒子浓度控制在一定水平的房间”；洁净室分级：习惯上的称呼为一级-十级-百级千级万级-十万级（美国209E标准），这些级别的划分是由房间内空气的洁净度（空内悬浮粒子的浓度）来实现的。百级、千级、万级定义单位立英尺空气含直径于0.5m尘埃粒数。超净间概述超净间概述超净间工作原理超净间工作原理洁净度不达标的后果洁净度不达标的后果超净间内的主要污染源是人，包括人体衣服表面附着物、纤维、体

2、表脱落物（皮屑、头屑、唾沫）、走路扬起的尘埃等。有数据显示：人员着不同的衣服和各种动作都会对无尘室的空气质量产生影响，见下表：不同衣着、不同动作时的人体产尘不同衣着、不同动作时的人体产尘超净间污染源控制超净间污染源控制 二更区二更区旧鞋柜2新鞋柜2不锈钢长凳白大褂衣柜 4 C407储物柜 4门禁门禁2 2门禁门禁3 3门禁门禁1 1C405C40610万级内走廊万级内走廊缓冲走廊缓冲走廊千级区千级区不锈钢柜子新旧鞋柜Research Center for Micro/Nano System 外部挂衣架(门禁1外走廊)10万级走廊 C409 C412 C410 C407 C411 C414超净间

3、平面布局图超净间平面布局图鞋柜区鞋柜区更衣室更衣室净化间净化间FilterFilterFilter鞋柜鞋柜净净化服化服存存贮贮架架风风淋室淋室净净化化间间桌子，工作桌子，工作台，椅子，台，椅子，货货架，推架，推车车及及设备设备超净间结构图超净间结构图净化鞋不能直接与日常鞋放在一起,否则会交叉污染!应该将净化鞋用塑料袋套好，再放在储物柜内。进出超净间基本操作进出超净间基本操作存放鞋子入柜存放鞋子入柜更换防尘白鞋更换防尘白鞋进出超净间基本操作进出超净间基本操作进出超净间基本操作进出超净间基本操作注意事项注意事项：进出超净间基本操作进出超净间基本操作 1.进入前在粘尘垫上踩过.2.在风淋室进行风淋,

4、时间30秒,风淋时举起双手,缓慢转身3-4圈.3.从更衣室进净化间的风淋室,每次最多进入两人.4.如果发现风淋室不吹风,可以按“急停”,再按“风淋”.如果还有问题,通知管理人员维修.5.禁止从超净间的后门（万级间走廊及412房间都有后门）进进出出，走廊后门是用于运输气瓶和垃圾废液等物品的.Step Step 3 3 进入风淋室进入风淋室 进出超净间基本操作进出超净间基本操作 1.出超净间：只从指定超净间出口走出。2.脱及存放一更白大褂：将一更防尘白大褂挂在分配的衣架上，注意不要将一更防尘白大褂的内侧翻到外面存放 3.更换、存放防尘白鞋 进入鞋柜区，更换防尘白鞋，将防尘白鞋存放到鞋柜里Step

5、4 Step 4 出超净间出超净间 进出超净间基本操作进出超净间基本操作穿鞋子穿鞋子1.进入超净间一定要更换超净间专用鞋子或者换鞋套，不允许穿同一双鞋子/鞋套在超净间内外进进出出；穿衣服穿衣服2.进入超净间一定更换防尘服，出超净间一定将一更防尘服留置在对应的衣柜，严禁将防尘服穿出超净间；不走后门不走后门3.禁止从超净间的后门（万级间走廊及412房间都有后门）进进出出，走廊后门只限于运输气瓶和垃圾废液等物品；不带外人不带外人4.禁止随意带其他没有门禁的人员进入超净间实验室做实验，有需求的人可以申请门禁开通，并接受超净间基本守则的培训。保持清洁保持清洁5.不得长期把垃圾堆放在走廊，要及时通知清洁阿姨来清理。超净间的基本规范超净间的基本规范对于上述超净间守则，如有违规者，视情节轻重进行处罚。发现一次违反超净间守则的，提出口头批评；违反两次以上的，检讨教育，并加以公示；情节严重者将在知会转化中心主任的情况下，停止门禁10个工作日。若要提前开通，必须向微纳中心缴纳超净间规范培训费用50元/人/次（见微纳中心网站收费标准），并接受微纳中心的培训。违反超净间规范的处罚违反超净间规范的处罚