光学元件表面光洁度标准课件.ppt

1、表面光洁度标准 讲稿2005/8/62023-1-812一.定义：表面缺陷标准表面缺陷标准：依据美国军用标准MIL-PRF-13830B用两组数字表示表面缺陷大小。例如40/20（或40-20）前者限制划痕大小，后者限制麻点大小。道子、亮路都统称为划痕。斑点、坑点、点子 都称为麻点。规定长与宽的比大于长与宽的比大于4 4：1 1的为划痕；长与宽的比小于长与宽的比小于4 4：1 1的为麻点。点子划痕2023-1-83当元件的不同区域表面光洁度要求不一样时，等效直径的计算以区域进行：表面质量要求高的内区域其等效直径以内区域为准（如有效孔径的区域），表面质量要求低的外区域计算的是整体元件的等效直径。

2、划痕点子A区20-10B区80-50如左图元件表面质量要求不同，则在判定A区是否符合要求时，应取内圆直径进行计算。而B区则取整个元件的圆直径2023-1-84三角的面积为（低高）/2=(a b)/2三角等效直径DahD2长方形面积=长宽=a b长方形的等效直径DD面积=(D/2)2ab美军标规定对于非圆形元件其直径取相等面积圆的直径。abD2ahA区：20-10B区：80-503mm1mm4mm2mm对于长方形元件（当长与宽的比5mm元件最大划痕的长度和超过超过元件直径的1/4。所以元件不合格。不合格。60#划痕长3mm60#划痕长3mm左图是大家看的编号2的样品（图片是放大的不是实际尺寸）图

3、中的划痕为20#，且长度1/4D。对于表面质量要求20-10该产品不合格。但本次样品未提出表面质量要求，而是要大家自已决定光洁度等级。因此该产品划痕可判为40#。2023-1-873.当元件存在最大划痕，而最大划痕的长度之和未超过1/4D，要求所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和，不得超过最大划痕级数的一半。例：有一长30mm宽10mm的元件，元件的表面质量要求为6040，元件上有2条2mm的60#划痕，3条4mm的40#划痕。它的等效直径直径为20mm 1/4D1/4D为1/420=5mm 最大划痕的长度和长度和为：2mm+2mm=4mm 4mm303630；因此，元件不合格

4、不合格。60#划痕长2mm40#划痕长4mm2023-1-88如左图所示的产品则20#划痕长度0.7mm。10#划痕长度2mm对于表面质量要求20-10该产品最大划痕长度1mm1/5。所有级数的划痕乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：20 0.7/5+10 2/5=2.8+2=4.8606660；因此，元件不合格。不合格。左图是大家看的编号3的样品。（图片是放大的不是实际尺寸）图中有20#划痕长度2.2mm。10#划痕长度7mm对于表面质量要求20-10该产品不合格。对于表面质量要求40-20则该产品所有级数乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：202.2/5+107/5=8.8+1

5、7=25.825.840。元件符合40-202023-1-8105.当元件质量指标要求划痕等级为20或优于此等级时，元件表面不准有密集划痕即在元件中任何一个6.35mm面积的区域，不允许有4条或4条以上的大于等于10#划痕。20mm左图是大家看的编号3的样品。（图片是放大的不是实际尺寸）图中有5条划痕，该元件直径为6mm；对于表面质量要求20-10该产品不合格。对于表面质量要求40-20则该产品所有级数乘以划痕长度与元件直径之比所得乘积之和为：202.2/5+107/5=8.8+17=25.825.840元件不合格不合格。SC-QA027表面质量标准麻点的判定标准有6条。其它5条是美军标规定的

6、。公司内控标准一条。2.每20mm直径上只允许有1个最大麻点。例：元件为20mm，质量指标要求为6040，元件有2个直径0.4mm的麻点元件不合格不合格0.4mm的点子元件20mm内有二个直径0.4mm的点子,元件不合格.元件20mm内只有一个直径0.4mm的点子,符合本条2023-1-8153.每20mm直径上所有麻点直径的总和不得超过最大麻点的2倍例：40mm40mm的元件，质量指标要求为60-40，其中一个20mm的区域有40#点子一个，20#点子一个，10#点子一个，同时在另一个20mm区域中，20#点子2个，10#点子4个，5#点子1个。A区的麻点直径的和:=40+20+10=70

7、80，B区不合格。因此元件不合格不合格。B区A区C区0.2mm左图元件表面质量要求60-40：A区麻点直径和为10+10+20=4080.C区麻点直径和为20 2+10=5080.B区不合格该元件不合格。2023-1-816左图是本次样品的第11号。（图片是放大的不是实际尺寸）有1个5#点子，1个3#点子。（但然这些点子有可能擦掉就看不到了这里只是作为例子来说明）。这产品如果不考虑两点间距可以判定点子为级数5。为什么？因为产品只有1个最大点子5#，而所有的点子之和为0.05+0.03=0.080.1(5#点子的两倍），所有点子可判定为级数5#。2023-1-8174.当麻点质量要求为10或更优

8、等级时，任何两个麻点的间距必须大于大于1mm1mm。例:元件40mm40mm的元件，质量指标要求为20-10,有两个5#的点子，点子之间的距离为0.8mm.0.8mm1mm元件不合格不合格0.05mm的点子距离0.8mm左图是本次样品的第11号。（图片是放大的不是实际尺寸）有1个5#点子，1个3#点子。是上面的例子，刚才将它判定为5#，但对于5#级数两点间距必须大于1mm，因此元件不符合要求，所有本元件的点子只能判为20#。2023-1-8185.5.小于小于2.5um2.5um的麻点略去不计的麻点略去不计。图为放大图为放大5050倍显微镜观察到倍显微镜观察到2.5um2.5um的麻点的麻点(

9、相当于相当于0.12mm0.12mm比正常比正常10#10#麻点大一些麻点大一些)此麻点可略去不计！此麻点可略去不计！6.6.当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小。当出现如图所示密集麻点时以麻点聚集的外围圈径为麻点大小。以图中外圆为麻点大小，如果超过表面质量要求以图中外圆为麻点大小，如果超过表面质量要求则该元件不合格。则该元件不合格。光洁度写成两位数据形式时必须按标准写，如产品点子判为0#，但划痕判为40#，则产品光洁度为40-20而不是40-0。如果产品点子判为20#而划痕判为0#，则产品光洁度为40-20而不是0-20。2023-1-819编号13样品光洁度？2023-1-820气泡和包络：气泡和包络：包络当作气泡考虑。依据美国军用标准MIL-PRF-13830B气泡的级数与麻点一样，单位也相同。不规则气泡值也是取最大宽度和长度的平均值。气泡的允许值与麻点相同。但气泡和包络必须与麻点区分开来，单独评价。有灰斑的元件为不合格元件不合格元件。2023-1-82023-1-8212023-1-822