IC行讲义业特种气体简介课件.ppt

1、IC行业特种气体简介精品IC的定义 IC即集成电路，是采用半导体制作工艺，在一块较小的单晶硅片上制作上许多晶体管及电阻器、电容器等元器件，并按照多层布线或遂道布线的方法将元器件组合成完整的电子电路。IC行业通常包括设计、制造及封装三大块。与我们气体相关主要是其制造模块，另外封装模块也涉及很少的一部分。2023-1-1特气在IC行业里面的应用电子特气广泛应用于IC行业的如下工艺：薄膜沉积；刻蚀；掺杂；钝化；清洗；或用作载气、保护气氛等等。2023-1-1特气在特气在IC体制造中的应用体制造中的应用-工艺工艺Wafer-Probe TestWafer-Probe Test(Front end or

2、 back end)(Front end or back end)AssemblyAssemblyFinal TextFinal TextShip to CustomerShip to CustomerOther Other Processing:Processing:-Ion ImplantIon Implant-DiffusionDiffusion-CMPCMPPhotolithographyPhotolithography-Resist CoatResist Coat-Bake-Bake-Exposure-ExposureEtch FilmEtch Film-Plasma-Plasma-

3、Wet Etching-Wet EtchingDeposit Deposit or Grow Filmor Grow Film-Oxidation-Oxidation-Metallization-Metallization-CVD-CVDMaterial Preparation:Material Preparation:-Epitaxial GrowthEpitaxial Growth(Optional)(Optional)LPCVDLPCVDMetal CVDMetal CVDPECVDPECVDSACVDSACVDAPCVDAPCVDEPIEPIDry EtchDry Etch特气使用20

4、23-1-1特气在特气在IC制造中的应用制造中的应用-原理原理 CVD Deposition:SiH4+N2(Carrier gas)+NH3 plasma&heat SixNy +H2+N2+other volatiles CVD Chamber clean NF3+SixNy plasma SiF4+N2+other volatile 掺杂掺杂:(如如 Implant/DOPOS)PH3+H2混气等混气等 刻蚀刻蚀:SiO2+CF4*SiF4+CO+CO2反应气载气清洁气体固态气态,可被排出腔体固态刻蚀气体气态,可被排出硅片及腔体主要应用：反应载气腔体清洁掺杂刻蚀2023-1-1特气在特气

5、在IC制造中的应用制造中的应用-分类分类 大宗气体 N2 O2 Ar离子注入 BF3 SF6 Xe （红磷、黄磷、金属砒霜）PR（印刷）F2 He Kr Ne扩散 H2 POCl3DRY He CF4 C4F8 C5F8 CHF3 CH2F2 Cl2 HBr BCl3 SF6 COCVD TEOS TEB TEPO PH3 ClF3 SiH2Cl2 NF3 SiH4 NH3 He N2O WF6 C2F6 TiCl4 CH4 2023-1-1特气在特气在IC制造中的应用制造中的应用-用量用量一个八寸的芯片厂每年气体的使用金额约为5千万元人民币。感官认识：2023-1-1国内6寸以上芯片客户不完

6、全统计所在区域名称规模备注长三角台积电（中国）8寸已在供应中芯国际8寸正在评估华力微电子12寸上海先进半导体8寸初试已经通过华宏NEC8寸已在供应宏力半导体8寸无锡海力士12寸无锡华润上华8寸、6寸已在供应苏州和舰8寸正在评估珠三角深圳深爱半导体6寸深圳方正微电子6寸深圳中芯国际12寸已报价京津唐及陕西天津中芯国际8寸北京中芯国际8寸西安三星12寸华中武汉中芯国际12寸长沙创芯6寸南车6寸西北成都德州仪器8寸中航微电子8寸已发样品重庆渝芯8寸已发样品东北大连因特尔12寸2023-1-1芯片厂商对客户要求合法安全可靠的质量管理体系有效的质量监控手段稳定有效的管理团对强大的技术研发实力物流能力专用

7、危险品仓储场所2023-1-1芯片厂商对特气评价流程供应厂商的资质气体规格的确认/比较控片/实验片上基础数据的确认小量产品的实验评价中量产品的实验评价大量产品的实验评价品质管理体系的审核量产审查通过成为合格供应商2023-1-1IC行业有竞争力的气体公司和产品氟碳化合物（C2F6、CF4、SF6等C1-C4产品）日本企业（昭和、住友以及大阳日酸）绿菱气体（CF4、C2F6、CHF3等）黎明化工院（SF6、C2F6等）N02:林德气体NF3和WF6:718所硅烷：AP2023-1-1华特气体在芯片行业的竞争力 国内本土厂商:承担国家02专项项目（C2F6、CHF3）。产品种类齐全：C2F6、CF

8、4、SF6、CHF3、C3F8、C4F8、NO（3N）、NH3、C02、CO（4N）、SiH4等。良好的品牌效应（已经供应的客户）性价比高，确实降低客户的成本 快捷的物流配送（交货期短、应急反映迅速）中芯国际（8寸、12寸）2023-1-1如何开发芯片行业客户个人经验，与大家探讨。要有信心，相信自己的产品；心态很重要熟悉自己的产品（规格、用户、市场行情）如何开拓客户 信息收集（统计相关区域内的所有IC厂商）信息处理（筛选具有价值的客户）找到相关联系人（关键人：每个公司的情况不一样）与客户沟通（了解客户的使其用情况；成本、性价比、交货期等；邮件、电话、展会、拜访）维护客户（评估更多的产品；客户的口碑是最好的广告）自我总结、加强学习、提升自我2023-1-1THANKYOU