MEMS国内外发展状况课件.ppt

1、MEMS传感器国内MEMS研究机构清华大学精密仪器与机械学院天津大学精密仪器与光电子工程学院中科院上海微系统与信息技术研究所东南大学仪器科学与工程学院清华大学精密仪器与机械学院精密测试技术及仪器国家重点实验室清华大学精密仪器与机械学院研究成果一、微机电系统与测控技术微机械陀螺技术微系统与控制技术传感技术与智能仪器二、空间微系统技术微型姿态敏感器技术微能源技术扫描探测技术清华大学精密仪器与机械学院微系统国内MEMS研究机构清华大学精密仪器与机械学院天津大学精密仪器与光电子工程学院中科院上海微系统与信息技术研究所东南大学仪器科学与工程学院天津大学精密仪器与光电子工程学院天津大学精密仪器与光电子工程

2、学院精密仪器工程系智能结构系统及仪器激光数控精密加工微电子机械系统无损检测及动态测试系统 国内MEMS研究机构清华大学精密仪器与机械学院天津大学精密仪器与光电子工程学院中科院上海微系统与信息技术研究所东南大学仪器科学与工程学院 中科院上海微系统与信息技术研究所中科院上海微系统与信息技术研究所研究成果多层三维微机械结构技术硅片沿晶向KOH腐蚀凸角补偿技术 干法刻蚀积累电荷释放和可动结构保护技术 圆片级封装方法 中科院上海微系统与信息技术研究所中科院上海微系统与信息技术研究所微机电系统国内MEMS研究机构清华大学精密仪器与机械学院天津大学精密仪器与光电子工程学院中科院上海微系统与信息技术研究所东南

3、大学仪器科学与工程学院东南大学仪器科学与工程学院研究成果微型惯性仪表与系统研究方面，是国内最早从事MEMS陀螺的2家高校之一，在MEMS陀螺的结构设计等关键技术上已取得重要进展 东南大学仪器科学与工程学院北京大学 深槽刻蚀机 双面光刻机复旦大学 压阻方面 哈工大 电化学腐蚀方面国外MEMS研究机构意法半导体德州仪器（）惠普公司博世公司意法半导体发展趋势在单一封装内整合多个传感器（加速度、陀螺仪、地磁、压力），iNEMO是这种发展趋势的实际案例。意法半导体汽车内置导航系统德州仪器（）投影仪的数字光处理(DLP)芯片 MEMS温度传感器 惠普公司喷墨打印头的MEMS热激励器博世公司全球最大的汽车MEMS器件生产商，主做惯性与压力传感器三星Galaxy Nexus博世BMP180 MEMS压力传感器