电感耦合等离子体-质谱法-70页资料课件.ppt
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1、电感耦合等离子体电感耦合等离子体-质谱法质谱法Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry (ICP-MS)2019/6/4现代仪器分析目录目录ICP-MS的发展的发展1ICP-MS基本原理基本原理2ICP-MS 仪器基本构造及各部工作原理仪器基本构造及各部工作原理3性能指标性能指标4ICP-MS应用范围应用范围5文献学习文献学习6一一历史发展历史发展-电感耦合等离子体质谱简介电感耦合等离子体质谱简介 ICP-MS(Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry),它以独特的接口技术将ICP的高温(8000K
2、)电离特性与四极杆质谱仪灵敏快速扫描的优点相结合,形成了一种新型的元素和同位素分析技术。电感耦合等离子体质谱ICP-MS,是20世纪80年代发展起来的新的分析测试技术。可分析几乎地球上所有元素,ICP-MS技术的分析能力不仅可以取代传统的无机分析技术如电感耦合等离子体光谱技术、石墨炉原子吸收进行定性、半定量、定量分析及同位素比值的准确测量等。还可以与其他技术如HPLC、HPCE、GC联用进行元素的形态、分布特性等的分析。ICP-MS作为质谱仪离子源的优势在于:一是获得了进样条件和样品激发所需要的可控且无污染的高温环境;二是将样品快速完全地引入到一个对所有期望发生的过程都有足够滞留时间的环境。历
3、史发展历史发展-ICP-MS的起源与发展的起源与发展 1960s-70s,问题的提出:,问题的提出:ICP-OES基体干扰及光谱干扰,严重制约该技术进一步发展。1975年-1983年美国、英国、加拿大科学家的联手合作,共同解决一系列关键技术问题。(1)ICP高温与射频场问题;(2)高温等离子体与质谱接口时问题;(3)如何降低等离子体对地电位问题。ICP-AES+SSMS ICP-MS1983 第一台ICP-MS商品仪面世1987 ELAN 500 第二代ICP-MS,第一个耐HF的进样系统1983 ELAN 250 世界第一台商用ICP-MS1990 ELAN 5000 第三代ICP-MS,第
4、一个 采用分子涡轮泵;环境分析里程碑式的进展。1994 ELAN 6000 第四代ICP-MS,采用扩展线性范围的检测器,应用于更多的日常分析。2019 ELAN 6100 第五代ICP-MS,为各应用领域确立了行业标准。2000 ELAN 6100 DRC 第一代采用DRCDRC技术的ICP-MSICP-MS(Dynamic Reaction Cell,DRC)2019 ELAN DRCPlus 第二代DRC,DRC,采用了轴向场技术(Axial Field Technology,AFT)2019 ELAN 9000 第六代 ICP-MS2019 ELAN DRC II 第三代DRCDRC2
5、019 ELAN DRC-e 第四代DRCDRC 随着ICP-MS仪器的改进、优化及普及,ICP-MS成为大量样品元素分析有力武器,几乎成为取代传统元素分析技术。高分辨率扇形磁场(HR-ICP-MS)代替四级杆(ICP-MS)的电感耦合等离子体技术已十分成熟,高分辨率质谱仪在生物蛋白质组成学、金属组成及高纯材料领域的应用,极具潜力。电感耦合等离子体飞行时间质谱(ICP-TOF-MS)将具有良好性能,曾被称为最有希望的下一代质谱仪。动态反应池和碰撞池技术消减或消除多原子离子和同质异序元素的干扰问题。发展趋势主要是:发展趋势主要是:多种仪器一体化,如电感耦合等离子体光谱仪与质谱仪一体化,扩展功能,
6、扩大了其应用范围。联用技术与元素形态分析迅速发展,如流动注射与ICP-MS(FIICP-MS)、高效液相与ICP-MS(HPLC-ICP-MS)、气相色谱与ICP-MS(GC-ICP-MS)及毛细管电泳与ICP-MS(CE-ICP-MS)。操作软件功能扩大和不断改进。样品前处理技术不断发展,如微波消解与提取技术、激光溅射技术、超声辅助技术等,但样品制备和样品引入仍是目前最薄弱的环节。ICP-MS的特点:的特点:(1)分析元素种类广泛:绝大多数金属元素和部分非金属元素;(2)能够迅速获取同位素信息;(3)检出限低:多数元素具有非常低的检出限,痕量检测能力 非常快的分析速度,多元素同时分析;(4)
7、线性范围宽:大于9个数量级的线性范围;(5)尤其适合分析其它方法难测定的元素如稀土元素,贵金属,铀等;(6)半定量分析,能与色谱分析联用进行元素形态研究。与传统无机分析技术相比,ICP-MS技术提供了最低的检出限、最宽的动态线性范围、干扰最少、分析精密度高、分析速度快、可进行多元素同时测定以及可提供精确的同位素信息等分析特性。ICP-MS的不足:的不足:(1)在质量数(m/z)41以下的区域,在测定等质量数低的离子时比较困难。(2)ICP-MS谱线比ICP-AES谱线简单,在选择待测元素的谱线时自由度不够大。(3)当NaCl等盐类共存时,会使测定信号明显降低,受盐类干扰的程度比ICP-AES大
8、。(4)接口部位通常要保持高温,使接口容易损坏或出现故障。(5)由于ICP-MS灵敏度很高,所以使用的水、试剂、容器和室内气氛等必须严格保持洁净。ICP-MS的工作原理:在ICP-MS中,ICP作为质谱的高温离子源(8000K),样品在通道中进行蒸发、解离、原子化、电离等过程。离子通过样品锥接口和离子传输系统进入高真空的MS部分,MS部分为四极快速扫描质谱仪,通过高速顺序扫描分离测定所有离子,扫描元素质量数范围从6到260,并通过高速双通道分离后的离子进行检测。二、二、ICP-MS原理原理 待测物质以气溶胶或气体形式进入高频电场,在快速变化的电场作用下形成离子。取样锥和截取锥内负气压将所形成的
9、离子吸入到一个真空室,离子在水平电场作用下进入垂直方向的四极杆电场,在垂直变化的电场作用下,各种离子按其质荷比m/Zm/Z被分离出来,进入检测器被计数,根据计数结果可计算出被测样品的浓度。ICP-MS的应用领域分布环境环境:49%饮用水、海水、环境水资源食品、卫生防疫、商检等土壤、污泥、固体废物生产过程QA/QC,质量控制烟草酒类质量控制,鉴别真伪等Hg,As,Pb,Sn等的价态形态分析半导体半导体:33%高纯金属(电极)高纯试剂(酸,碱,有机)Si 晶片的超痕量杂质光刻胶和清洗剂医药及生理分析:医药及生理分析:6%头发、全血、血清、尿样、生物组织等医药研究,药品质量控制药理药效等的生物过程研
10、究地质学地质学:2%金属材料,合金等土壤、矿石、沉积物同位素比的研究激光熔蚀直接分析固 体样品 核工业核工业:5%核燃料的分析放射性同位素的分析初级冷却水的污染分析化工,石化等化工,石化等:4%R&DQA/QC法医,公安等法医,公安等:1%射击残留物分析特征材料的定性来源分析毒性分析样样品品引引入入系系统统离子源离子源接口部分接口部分真空系统真空系统三、ICP-MS 基本原理和仪器基本构造 样品通过离子源离子化,形成离子流,通过接口进入真空样品通过离子源离子化,形成离子流,通过接口进入真空系统,在离子镜中,负离子、中性粒子以及光子被拦截,而正系统,在离子镜中,负离子、中性粒子以及光子被拦截,而
11、正离子正常通过,并且达到聚焦的效果。在分析器中,仪器通过离子正常通过,并且达到聚焦的效果。在分析器中,仪器通过改变分析器参数的设置,仅使我们感兴趣的核质比的元素离子改变分析器参数的设置,仅使我们感兴趣的核质比的元素离子顺利通过并且进入检测器在检测器中对进入的离子个数进行计顺利通过并且进入检测器在检测器中对进入的离子个数进行计数,得到了最终的元素的含量。数,得到了最终的元素的含量。1 1、离子源、离子源 离子源是产生等离子体并使样品离子化的部分,离子源离子源是产生等离子体并使样品离子化的部分,离子源结构如图所示。结构如图所示。RF发生器进样系统气路控制 (1)进样系统:如下图所示)进样系统:如下
12、图所示。火焰火焰 雾化器 雾化室 炬管蠕动泵进样进样废液废液雾化气雾化气冷却气冷却气 辅助气辅助气蠕动泵:蠕动泵:蠕动泵把溶液样品比较均匀的送入雾化器,并同时排除雾化蠕动泵把溶液样品比较均匀的送入雾化器,并同时排除雾化室中的废液。通过控制蠕动泵的转速,可以得到理想的进样速度,室中的废液。通过控制蠕动泵的转速,可以得到理想的进样速度,样品提升速度一般为样品提升速度一般为0.7-1ml/min。如果不采用蠕动泵,由于雾化。如果不采用蠕动泵,由于雾化器中雾化气体的流动,也可以提取样品,样品的自然提取速度为器中雾化气体的流动,也可以提取样品,样品的自然提取速度为0.6ml/min左右,随着雾化气流速的
13、变化而变化。左右,随着雾化气流速的变化而变化。雾化器:雾化器:雾化器的作用是使样品从溶液状态变成气溶胶状态,因为只有气状雾化器的作用是使样品从溶液状态变成气溶胶状态,因为只有气状的样品才可以进入矩管的等离子体中。常用的雾化器有同心圆雾化器和直的样品才可以进入矩管的等离子体中。常用的雾化器有同心圆雾化器和直角雾化器,如图所示。角雾化器,如图所示。雾化室:雾化室:由于等离子体对直径较大的微粒的放电效率较差,因此要求进入炬管由于等离子体对直径较大的微粒的放电效率较差,因此要求进入炬管的气溶胶状的样品液滴有均匀和细小的几何尺寸。为了达到这个目的,仪的气溶胶状的样品液滴有均匀和细小的几何尺寸。为了达到这
14、个目的,仪器中采用了雾室。器中采用了雾室。雾室雾室是一个气体流过的通道,当气溶胶通过时,直径大是一个气体流过的通道,当气溶胶通过时,直径大于于10m10m的液滴将被冷凝下来,从废液管排出。雾室的的液滴将被冷凝下来,从废液管排出。雾室的另一个目的另一个目的是柔化雾是柔化雾化器喷出的气溶胶,最终使其均匀的进入等离子体。使用较多的雾化室有化器喷出的气溶胶,最终使其均匀的进入等离子体。使用较多的雾化室有以下三种:以下三种:Scott双通道雾室旋流雾室撞击球雾室等离子炬管等离子炬管:炬管是产生等离子体装置,主要结构如下图。炬管是产生等离子体装置,主要结构如下图。外外管管中中通的是大流量的通的是大流量的氩
15、气,即氩气,即冷却气冷却气,提供给等离子体气体源源不断的,提供给等离子体气体源源不断的Ar原子,在等离子体中,原子,在等离子体中,不断的电离放热,产生的不断的电离放热,产生的Ar离子在射频线圈中震荡碰撞,从而维持了很高离子在射频线圈中震荡碰撞,从而维持了很高的温度,伴随着大量离子流出等离子体,又有很多的温度,伴随着大量离子流出等离子体,又有很多Ar原子流入,从而达到原子流入,从而达到了一种平衡。冷却气的流量大概为了一种平衡。冷却气的流量大概为13-15L/min。在。在内管中内管中流动的气体就是流动的气体就是辅助气辅助气,也是氩气,作用是给等离子体火焰向前的推力,实现不断的电离,也是氩气,作用
16、是给等离子体火焰向前的推力,实现不断的电离,也能避免过高的温度使中心管熔化。辅助气的流量为也能避免过高的温度使中心管熔化。辅助气的流量为0.5-1L/min。中心管中心管流流出的是从雾室排出的样品溶液的气溶胶。出的是从雾室排出的样品溶液的气溶胶。再结合再结合 离子化离子化 原子化原子化 汽化汽化氧化物氧化物 离子离子 原子原子 气态气态 固态固态 液态液态样品气溶胶样品气溶胶M(H20)+X-MXnMXMXM+MO+下图可以看到溶液气溶胶在中心管中随着接近火焰在形态上的改变。等离子体工作时,首下图可以看到溶液气溶胶在中心管中随着接近火焰在形态上的改变。等离子体工作时,首先提供强大的射频电压到先
17、提供强大的射频电压到RF线圈上,然后利用高压使气体放电产生火花,少量离子在电磁场线圈上,然后利用高压使气体放电产生火花,少量离子在电磁场作用下聚集并相互碰撞,很快就使更多的原子电离,最终形成了稳定的火焰。作用下聚集并相互碰撞,很快就使更多的原子电离,最终形成了稳定的火焰。循环水进入ICP的水蒸气量越小,消耗热量小,中心通道温度降低越少,多原子干扰如氧化物分解得越完全,离子产生效率越高 低流速雾化器,可承受高浓度溶液样品溶液Ar 载气冷却系统铝壳隔热层Ar 混合气大水滴流向废水管冷却和气体控制:冷却和气体控制:由于等离子的高温(高达由于等离子的高温(高达8000-10000度),足以融化任何物质
18、,所以在仪器中多处采用水冷,度),足以融化任何物质,所以在仪器中多处采用水冷,RF工作线圈是中空的,用来作为冷却水的通道。在雾室中采用半导体冷却器,对一般无机溶液,工作线圈是中空的,用来作为冷却水的通道。在雾室中采用半导体冷却器,对一般无机溶液,温度为温度为4摄氏度左右,对有机溶液,可以达到摄氏度左右,对有机溶液,可以达到-10度。需要水冷的部分有:接口、工作线圈、度。需要水冷的部分有:接口、工作线圈、RF工工作线圈、半导体制冷器。在作线圈、半导体制冷器。在ICP-MS中,最基本的气体是氩气,他被作为冷却气、辅助气和雾化气,中,最基本的气体是氩气,他被作为冷却气、辅助气和雾化气,其他可能使用的
19、气体包括氢气、氨气、氦气其他可能使用的气体包括氢气、氨气、氦气(用于用于cct)和氧气(用于消除有机物中的和氧气(用于消除有机物中的C)。)。2 2、真空系统、真空系统 ICP-MS ICP-MS主要用来检测物种的痕量元素,空气中的灰尘含有大量的各种元素,因此在仪器中主要用来检测物种的痕量元素,空气中的灰尘含有大量的各种元素,因此在仪器中真空的要求是很高的。从进样系统到炬管,仪器一直是在常压下工作的,在仪器点火之前,氩真空的要求是很高的。从进样系统到炬管,仪器一直是在常压下工作的,在仪器点火之前,氩气可以祛除管路中的空气。当离子产生后,对这些离子的聚焦、传输和选择分析就必须要求良气可以祛除管路
20、中的空气。当离子产生后,对这些离子的聚焦、传输和选择分析就必须要求良好的真空系统,以免在过程中的粘污。仪器为了达到从常压向真空系统的过渡,提供了三级真好的真空系统,以免在过程中的粘污。仪器为了达到从常压向真空系统的过渡,提供了三级真空系统,来逐步的达到很高的真空度。真空系统如图所示。空系统,来逐步的达到很高的真空度。真空系统如图所示。机械泵用于抽低真空,直接与扩张室(因为离子超声速射流)相连接;分子涡流泵用于抽高真空,工作端与分析室2(主要是四级杆和检测器)相连接,出口端和机械泵相连。采样锥(0.81.2mm 内径)机械泵截取锥(0.40.8mm 内径)等离子体等离子体界面15 Torr大气压
21、760 Torr 离子透镜 1x 10-4 Torr分子涡轮泵采样锥实物外观图截取锥实物外观图 两孔相距6-7mm6-7mm,有Ni和Pt两种材质。3 3、接口、接口 经过两个锥体,只有非常小的一部分离子进入离子透镜。经过两个锥体,只有非常小的一部分离子进入离子透镜。在采样锥处,由于电子速度快,所以大量电子很快打到锥上在采样锥处,由于电子速度快,所以大量电子很快打到锥上,因此采样锥表面为负电性,所以空间电荷区是正电性的。由于因此采样锥表面为负电性,所以空间电荷区是正电性的。由于气体压力的突然下降,所以在两锥之间,产生了离子的超声射气体压力的突然下降,所以在两锥之间,产生了离子的超声射流,所以两
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