任务一CDI系统开车前的准备工作课件.ppt
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1、工作任务工作任务任务一任务一任务二任务二任务三任务三CDI系统开车前的准备工作CDI系统开车停产操作CDI系统正常运行操作任务四任务四CDI系统常见应急事故预防及处理项目五:尾气干法回收(项目五:尾气干法回收(CDICDI系统操作)系统操作)应知职业知识 1、本岗位生产流程、操作规程和生产技术规范。2本工种安全技术知识(特别是氢气、氯硅烷、压力容器和设备、冷冻及压缩机设备的使用和维护)。3本岗位主要设备(喷淋塔、吸收塔、脱吸塔、填料塔、吸附柱、各类泵、氢压缩机、螺杆机机、蒸发器、冷凝器)等结构、性能、使用材质和操作条件。4、了解尾气干法回收成份及基本原理、氢气净化方法及原理。5、生产中常用的一
2、些物理化学名词的意义:沸点、露点、压力、吸收、脱吸、再生、净化、含量(包括其单位%、PPm、PPb)及原子、分子、原子量、分子量等。6、尾气量、吸收塔(柱)温度、压力,脱吸塔温度、压力;吸附柱再生温度、使用时间变化对氢气质量的影响。7、干法回收氢与湿法回收氢两种方法区别比较 8、了解经过流程主要设备后物料成分、温度及含量的变化 9、多晶硅生产全流程及各工序产品的主要技术经济指标。10、一定的化工知识(传热、传质、换热面积的计算等)。11、气体(氢气)净化的常用方法,常用净化(硅胶):活性碳、分子筛、105催化剂等成分、工作温度、作用及再生温度。学习目标学习目标应会职业技能 1、在突然停电、停水
3、、停气时能及时正确处理。2、正确处理、更换、再生本岗位所使用的脱氧剂、脱水剂。3、使用高压气瓶和气体净化系统。4、正确使用本岗位电气设备、电控设备和水气系统。5、能组织本岗位生产的开车、停车和检修。6、进行本岗位流程的料、气平衡计算及操作。7、根据化学分析检测结果,分析产品质量情况并提出改进意见。8、按技术规范的规定对本岗位所用阀门、容器及设备进行拆洗、干燥、安装、检漏和保温。9、看懂较复杂的工艺设备零件和安装配置图。10、分析多晶硅生产各项技术经济指标完成情况,并提出改进意见。11、根据多晶生产线用氢情况,调节并保持整个生产系统压力及用气平衡。12、对机电设备出现的故障能分析原因并提出维修意
4、见。学习目标学习目标 在多晶硅还原生产过程中,还原炉内的SiHCl3一次转化率只有10左右,大量的SiHCl3并没有反应随尾气排出。多晶硅生产过程中产生尾气中的各组分都是化学有害物质,不加处理直接排放到环境中对人的健康和生态环境都会产生很大的危害。如何把这部分尾气回收是多晶硅生产的重要环节,不仅可以减少污染环境,还可以降低生产成本。任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作尾气回收的意义SiHCl3合成工序 经过除尘后的混合气含有:SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2、H2和HCl,通过尾气回收系统分离出氯硅烷(SiHCl3、SiCl4、SiH2Cl2)、H2和HC
5、l。还原后尾气成分主要有:H2、SiHCl3、SiCl4和HCl等SiHCl3氢还原工序 还原后尾气成分主要有:H2、SiHCl3、SiCl4和HCl等SiCl4氢化工序 尾气的回收就是将尾气中的有用成分,主要是H2、SiHCl3、SiCl4和HCl等,通过物理和化学的方法使之分离,经过提纯后再应用于生产中。主要来自于以下三个工序:什么是尾气回收?任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作尾气回收的方法 最早应用于生产中的回收方法是湿法回收方法。由于湿法回收存在一些问题,随后发展起来了干法回收方法。目前,多晶硅厂多采用干法回收。湿法回收干法回收任务一任务一 CDICDI
6、系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作工艺原理工艺过程 利用尾气中不同组分的沸点差异,对尾气采取逐级降温的方式,将不同沸点的组分分离开来,从而达到回收的目的。将尾气冷却到80,氯硅烷被冷凝下来;再将剩下的混合气体(主要成分是H2和HCl)进行深冷-180左右,HCl被冷凝成液态,与H2分离。存在的问题存在的问题1 1、将尾气进行深冷,耗能非常大;2、深冷低温对设备要求非常高;3、深冷设备维修费用高。任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作湿法回收任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作湿法回收流程湿法回收流程氯硅烷冷凝液 (SiHCl3+S
7、iCl4+SiH2Cl2)至精馏尾气H2+HCl液氮 冷凝1冷凝2氢气回还原工序 液态HCl 至SiHCl3合成工艺原理工艺过程 干法回收的基本工艺原理是利用尾气中各组分沸点和溶解度的差异,采用冷凝和吸收/脱吸的方法,实现各组分的分离回收。干法回收主要工艺流程由四大部分组成,即:低温喷淋、压缩冷凝、吸收和脱吸、活性炭吸附任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作干法回收任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作干法回收流程尾气低温喷淋压缩冷凝吸收脱吸氯硅烷冷凝液(SiHCl3+SiCl4+SiH2Cl2)至精馏 HCl 至SiHCl3合成活性炭吸
8、附 H2返回原工序吸收再生吸附脱吸(解吸)指利用气体混合物在液体中溶解度的差异而使气体中不同组分分离的操作。是净化剂使用一段时间后,吸附量达到饱和,将吸附剂中的杂质和水份除去使之复活,再次连续使用的过程称之为再生。吸收得到的溶质气体从液体中取出来,这种是溶质从溶液里脱离过程称为脱吸(或解吸)。在某些物质的界面上从周围介质中把能够降低界面张力的物质自动地聚集到自己的表面上来,使得这种物质在相表面上的浓度大于相内部的浓度,叫吸附。吸附干法回收系统常用术语任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作主要设备结构、
9、性能鼓泡系统鼓泡系统 包括:鼓泡气气换热器、鼓泡塔、氯硅烷储罐、氯硅烷泵、氯硅烷换热器、氯硅烷计量泵。作用:还原尾气中的H2、HCl、SiHCl3、SiCl4等通过以上设备,在一定的压力、温度、流量、液位下,得到充分的鼓泡、洗涤后,将大部分氯硅烷冷却至氯硅烷储罐。还原尾气中的H2、HCl沸点低,鼓泡系统的压力、温度不能将其冷凝,从而达到气、液分离。经过鼓泡、洗涤后的H2、HCl和少量的氯硅烷进入干法回收工艺的压缩部分。包括:氢压机、水冷器、压缩气吸收气换热器、压缩过冷器。作用:把不凝气体H2、HCl和少量的氯硅烷升压以满足吸收塔的工艺要求,同时将少量的氯硅烷冷凝下来。余下H2、HCl气体进入吸
10、收塔。任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作压缩、过冷系统压缩、过冷系统 包括:吸收塔、富液储罐、富液泵、一级富液、贫液交换器、二级富液、贫液热交换器。作用:H2、HCl气体进入吸收塔内,在一定温度、压力、流量下,用SiCl4作为吸收剂使其溶解在其中,即HCl气体被所吸收,从而H2被分离出来。任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作吸收塔系统吸收塔系统任务一任务一 CDICDI系统开车前的准备工作系统开车前的准备工作 包括:3套吸附柱、热油泵、冷油泵、水冷器、膨胀油槽 作用:除去H2中微量的HCl,为了避免HCl影响多晶硅的沉积速度。从而得
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