无尘室相关标准课件.ppt

1、无尘室相关标准 o无尘室原理o无尘室衡量标准o无尘室验收标准Contents无尘室原理o无尘室概念无尘室概念:l以工业铝材(或不锈钢方通、铁方通喷塑)作为框架,采用风机滤网机组FFU送风,四周用防静电垂帘(或钢化玻璃),内部净化级别可达100100K级,适用局部净化级别要求高的区域。l对微粒控制、温度、湿度、照明、噪声、静电、微振的多功能综合整体。无尘室原理o依据送风方式的不同依据送风方式的不同：可分为乱流式乱流式(非均匀流型非均匀流型)和单一方向式单一方向式(均匀流型均匀流型)。lClass 1100 均采用单向流送风方式，即在同一截面的任一点，气流的方向和速度均保持一致，将室内的尘埃粒子以

2、最快的速度带走。靠送风气活塞般的挤压作用。新风量不小于总风量的2%4%。lClass 1000 100000采用非单向流送风方式，以不均匀的速度呈不平行流动，伴有回流或涡流，主要靠气流不断稀释室内空气，将室内的污染逐渐排出，以实现净化。靠气流扩散来稀释。新风量不小于总风量的10%30%。o测量单位测量单位：微米微米(micrometer),1um=1m的百万分之一。无尘室衡量标准o洁净度洁净度参照参照 STD-209E无尘室衡量标准oAir Change&HEPA 遮蔽率遮蔽率无尘等级Air Change(次/hr）HEPA 遮蔽率Class 10024048050%100%Class 100

3、01724010%35%Class 10000108%10%Air change:FFUAir change:FFU的表面积的表面积*风速风速*FFUFFU数量数量/Clean Room/Clean Room体积体积HEPAHEPA遮蔽率：遮蔽率：FFUFFU的表面积的表面积*FFUFFU数量数量/Clean Room/Clean Room面积面积无尘室衡量标准o风速、温湿度风速、温湿度 气流速度为：0.30.5m/s(60100ft/min)。一般之温度控制范围：T=(212)一般之湿度控制范围：(455)RH 无尘室衡量标准o压差压差 在两个无尘室间合理的设计压力差应为10Pa，而在无尘室

4、和未确认洁净等级的区域应保持有15Pa的压力差。当产生这些压力差有实际困难时，维持5Pa的最小压力差是可以接受的。无尘室验收标准o用Particle Counter(Met One）测空气中之粒子总数及大小(离作业面为30公分)。o依据ISO14644-1可分为三种操作状态：完工状态-无制程设备、原料或工作人员。完工后停止生产状态-室内有制程设备，不含工作人员。运转状态-三者皆在工作状态。无尘室验收标准o取样次数要求取样次数要求l单一方向气流的测试数量100方法一、气流的流入体积/25方法二、气流的流入体积/洁净度等级的平方根选数字小者l 非单一方向气流的测试数量方法：气流的流入体积/洁净度等

5、级的平方根例如：计算iMac所使用的洁净室的测试数量 (1.6*3+2.3*2.4+2.7*7.01+1.3*2.44+1.66*3.2)*2.2m/=3次例如：计算M97所使用的洁净室的测试数量方法一、(16*1.9*2.1)m/25=3次方法二、(16*1.9*2.1)m/=7次1000无尘室验收标准o洁净度取样要求洁净度取样要求l取样需两点以上l测试点要平均分布l各测试点须一个以上的取样数l全体需5个以上的取样数l各测试点的取样数不一样也可以 无尘室验收标准o洁净度判断标准洁净度判断标准 两个条件需同时满足两个条件需同时满足：l在每个测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下l这些平

6、均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下无尘室验收标准o实例说明实例说明 在Ring Room空态下，共取3个点，每个点测量0.5um的粒子，测量记录如下：第一点 8、0 第二点 20、8 第三点 11、23、14 判断依据一判断依据一、在各测试点的粒子浓度平均值应在CLASS上限值以下 第一点的平均值 （8+0)/2=4 第二点的平均值 （20+8)/2=14 第三点的平均值 （11+23+14)/3=16o小结：满足无尘室验收标准 判断依据二、判断依据二、这些平均值的平均在95%的信赖界限的上限值在CLASS上限值以下 上限值UCL=M+SE*UCL系数 M：平均值的平均

7、 M=(4+14+16)/3=11.3 SE：标准误差 SE=SD/SD：标准偏差 L：测试点数量 SD=6.429 SE=6.429/=3.71LL)1-2/(3)11.3-(162)11.3-(142)311.-(4无尘室验收标准UCL系数：95%信赖界限的UCL系数 上限值UCL=M+SE*UCL系数 =11.3+3.71*2.9=22.1 总结：满足无尘室验收标准o其余要求其余要求序号验收项目验收标准尺寸备注 1立柱/横梁铁方通喷塑100*100mm2托框/盲板冷轧钢板喷塑1200*670mm3黑色网格状防静电PVC窗帘/门帘静电阻值：1061094无尘室镇流器/镇流器飞利浦/T8灯管1200mm5FFU美埃/米河1175*575*250风机档位：3档6高效过滤器美埃1170*570*70mm7初效过滤器米河495*495*45mm8电线（电路图另附）无锡沪安国标9配电箱/开关斯奈德注：1.PVC窗帘与地面高度为1520cm，且应该在立柱内侧。2.配电箱是三相电，电压380V。图片欣赏FFU风淋室1.2米方通立柱托框初效高效自己找找看？1、盲板？2、PVC帘？3、垂帘？抢答环节1、PVC帘为什么要围在内侧？2、初效过滤器是保护初效的，换成中效的可以不？3、初效和高效应该多久更换一次呢？4、影响无尘室产品良率的因素有哪些？Over!Thanks！