完整版场效应管FET课件.ppt
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1、1.基本知识概述2.分类、命名、标识、结构3.制程及工艺4.基本特性5.应用6.常见失效模式及案例分析7.Derating标准及其测试方法1.1 MOSFET的基本知识的基本知识1.1.11.1.1概述概述场效应管是一种利用电场效应来控制其电流大小的半导场效应管是一种利用电场效应来控制其电流大小的半导体器件。这种器件不仅兼有体积小、重量轻、耗电省、封装体器件。这种器件不仅兼有体积小、重量轻、耗电省、封装外型脚数少、散热好、寿命长等特点,而且还有输入阻抗高、外型脚数少、散热好、寿命长等特点,而且还有输入阻抗高、噪声低、热稳定性好、抗辐射能力强和制造工艺简单噪声低、热稳定性好、抗辐射能力强和制造工
2、艺简单,存在存在零温度系数工作点等优点,因而大大地扩展了它的应用范围,零温度系数工作点等优点,因而大大地扩展了它的应用范围,特别是在大规模和超大规模集成电路得到了广泛的应用。特别是在大规模和超大规模集成电路得到了广泛的应用。根据结构的不同,场效应管可分为两大类:结型场效应根据结构的不同,场效应管可分为两大类:结型场效应管(管(JFETJFET)和金属)和金属-氧化物氧化物-半导体场效应管(半导体场效应管(MOSFETMOSFET)。)。然而由于场效应管输入阻抗很高,栅极的感应电荷不易然而由于场效应管输入阻抗很高,栅极的感应电荷不易泻放,且二氧化硅绝缘层很薄,栅极与衬底间的等效电容泻放,且二氧化
3、硅绝缘层很薄,栅极与衬底间的等效电容很小感应产生的少量电荷即可形成很高的电压,容易击穿很小感应产生的少量电荷即可形成很高的电压,容易击穿二氧化硅绝缘层而损坏管子。存放管子时应将栅极和源极二氧化硅绝缘层而损坏管子。存放管子时应将栅极和源极短接在一起,避免栅极悬空。进行焊接时烙铁外壳应接地短接在一起,避免栅极悬空。进行焊接时烙铁外壳应接地良好,防止因烙铁漏电而将管子击穿。良好,防止因烙铁漏电而将管子击穿。本文从场效应管的结构、特性出发,阐述其工作原理、应本文从场效应管的结构、特性出发,阐述其工作原理、应用、失效条件、以及用、失效条件、以及Derating 测试参数、测试方法。测试参数、测试方法。2
4、.1.分类、命名、标识、结构2.1.12.1.1按结构结构分,有两类1.结型JFET(Junction type Field Effect Transistor)利用半导体内的电场效应进行工作,也称为体内场效应器件。a:JFET的概念图b:JFET的符号门极的箭头指向为p指向 n方向,分别表示内向为n沟道JFET,外向为p沟道JFET。2.绝缘栅型IGFET(Insulated Gate Field Effect Transistor)也称金属氧化物半导体三极管 MOSFET(Metal Oxide Semiconductor FET)根据Vgs0V时是否有导电沟道 MOS管又分为:N沟道增强
5、型N沟道耗尽型P沟道增强型P沟道耗尽型如图增强型 MOS管(N型及型及P型导电通道)型导电通道)各种结构的FET均有门极、源极、漏极3个端子,将这些与双极性晶体管的各端子对应如下表所示。根据JFET、MOSFET的通道部分的半导体是p型或是n型分别有p沟道元件,n沟道元件两种类型FET 双极性晶体管漏极栅极源极集电极基极发射极JFET是利用PN结反向电压对耗尽层厚度的控制,来改变导电沟道的宽窄,从而控制漏极电流的大小。而MOSFET则是利用栅源电压的大小,来改变半导体表面的感生电荷的多少,从而控制栅源极电流的大小。3.1 相关制程及工艺一、半导体制造技术从大的方面可以分为:设计芯片工艺封装工序
6、具体制造流程如下:完成功能设计和电路设计以后,用图形化的掩模版图在硅基片上形成该图形(常称图形转移),由氧化、扩散、光刻、腐蚀、离子注入、CVD(Chemical Vapor Deposition 化学气相沈淀)和金属化等技术的组合,形成硅片工序,从而制成LSI芯片。然后,经过划片、装配、键合和塑封(或壳装)等组装工序并作封闭检验之后,硅LSI就完成了。制造工艺流程图功能、系统设计、逻辑设计系统设计、逻辑设计电路设计、版图设计硅片材料工程硅片工艺掩模版制作工艺制作掩模原版制作光刻版拉单晶切片硅片研磨抛光氧化、扩散光刻腐蚀CVD金属化组装工艺划片装配键合塑封/管壳封检验工程产品检验可靠性试验成品
7、芯片工艺芯片工艺掺杂掺杂图形生成图形生成扩散离子注入光刻腐蚀CVD薄膜生成薄膜生成金属化氧化从工作任务来分,可以将芯片工艺归纳为掺杂、图形生成和薄膜生成三类:?1、掺杂依靠扩散或离子注入实现,它是通过控制进入硅基片的杂质类型、浓度、进入区域等因素以形成元件和正常工作的器件的基本工艺。?2、图形生成是为了进行选择性元件形成和配置、元件隔离、元件间布线的图形加工技术。包含光刻和腐蚀技术。?3、薄膜的生成除了形成硅表面保护膜、开头控制栅膜、层间绝缘膜、元件间隔离等的热氧化膜的氧化之外,还包括形成氮化硅膜、多晶硅膜的CVD、金属布线用的金属溅射等。这些基本工艺间的关系是,将光刻、腐蚀多次插入循环往复地
8、进行着的扩散、离子注入、氧化、CVD和溅射等工序之间。?二、工序简介二、工序简介?氧化:将硅片放置在高温氧气气氛中进行的工序。方法有:在水蒸汽中进行加热的湿氧氧化和在氧化气氛中加热的干氧化两种方法是使硅原子与氧结合,成为SiO2,即变成硅氧化物。定厚度和距离的选择性氧化膜来实现。?元件隔离:为防止元件之间的相互干扰,可以采取生成具有一?栅氧化膜:是MOS的基本结构,即形成金属-氧化膜-硅MOS结构的氧化膜层。这层氧化膜的质量密切关系到MOS晶体管的特性和可靠性,被称为晶体管的心脏。?如今,氧化膜有阻挡离子注入、气相扩散等杂质扩散的掩模作用,也可以灵活地用作对必要的区域选择性掺杂的掩蔽材料。?扩
9、散:指杂质从浓度高处向低处流动(扩散)所引起的现象。扩散由杂质、温度、物质决定的扩散系数来规定。一般,硅片工艺中作为掺杂原子的常用磷(P)、砷(As)、硼(B)。向硅片扩散磷、砷杂质时,可使硅片成为n型,而扩散硼质质时,将成为p型。三、关键原材料检验规程简介三、关键原材料检验规程简介?芯片芯片?包装、外观、电参数?判定标准:1、芯片的包装盒无破损,芯片之间应有隔离。2、芯片的面积要求1/3的圆片,不变形。3、芯片表面有钝化膜,无脱落,无一条以上的划伤线或裂纹线,无两个小圆圈以上的水迹。压焊电极铝层无严重发黄。4、芯片背面金属化层不发黑和无三条以上的擦伤线。5、电参数允许有二只不符合规范值的管芯
10、,允许有二只HFE、gm输出特性为小电流复合的管芯。测试VCEO/VDSS时允许有二只击穿点大于规范值。而击穿特性不符合1.3格要求的管芯(1.3格为图示仪的一大格三小格)。VCEO/VDSS击穿特性的检查都用IC/ID-500uA条件。?金丝金丝?1、外观 2、抗拉强度?判定标准:1、金丝粗细均匀,不应有凹凸点.2、金丝表面干净无污物,无霉点.3、金丝绕线紧凑,排列整齐、无松动,出线顺畅。4、在压焊机上进行压焊,金丝承受的拉力应符合:(20m金丝:23mN)、(23、25.4m金丝:29mN)、(30m金丝:39mN)、(50m金丝:100mN)?塑料塑料?1、型号、产地、贮存期2、工艺试用
11、?判定标准:1、型号、产地与材料清单相符,且在贮存期内。2、塑封料应符合塑封工艺要求,塑封后产品的塑料部分应有良好的光泽。3、试封出来的管子在高压锅内作高压蒸煮试验,时间为8小时,压力为0.110.13Mpa,温度为121124。试验后取出管子,在常态下恢复4小时,测试hFE和ICBO参数,HFE允许有20%的变化,ICBO不超过试验前的2倍。?框架框架?1、外观2、粘片、压焊面、3、尺寸4、可焊性?判定标准:1、框架片镀银面应光亮、不发灰、不发黄。2、框架片放在玻璃平面上应平直,不歪扭、不翘起。粘片和压焊部位应平整不歪扭。3、经粘片和压焊工序后银层不起泡。4、芯片与框架片之间的推力为784m
12、N。5、金丝压焊后的压点拉力应符合:(20m金丝:23mN)、(23、25.4m金丝:29mN)、(30m金丝:39mN)、(50m金丝:100mN)。6、框架片在塑封时不漏胶、不踩片。7、上锡后的引脚均匀光亮,用焊槽法检验其可焊性,浸润良好面积大于95%。四、四、微微 电电 子子 封封 装装 技技 术术1、芯片粘接方法芯片粘接方法(1)Au-Si合金共熔法:芯片背面要淀积Au层,所固定的基板上也要有金属化层(一般为Au或Pd-Ag)。因为在约370时Au和Si有共熔点,该温度下Au和Si的比例为69:31。(2)Pb-Sn合金片焊接法:芯片背面用Au层或Ni层均可,基板导体除Au、Pd-Ag
13、外,也可以是Cu;也应在保护气氛炉中烧结,烧结温度视Pb-Sn合金片的成分而定。这是使Pb-Sn合金片熔后各金属间的焊接。(3)导电胶粘接法:导电胶是含银而具有良好导热、导电性能的环氧树脂。这种方法不要求芯片背面和基板具有金属化层,芯片粘接后,采用导电胶固化要求的温度和时间进行固化。可在洁净的烘箱中完成固化,操作起来简便。上述三种方法均适用于晶体管或小尺寸的IC。(4)有机树脂基粘接法:对于各种大尺寸的IC,只要求芯片与基板粘接牢固即可。有机树脂基的配方应当是低应力的,对于粘接有敏感受性的IC芯片(如各类存储器),有机树脂基及填料还必须去除a粒子,以免粘接后的IC芯片在工作时误动作。注意:各类
14、有机粘接剂都是高分子材料,均需经过硫化或固化,达到高分子间的交联。在此过程中,往往要产生一些低分子挥发物,要令其挥发掉。产生的挥发物随温度的高低和时间的长短而有所不同。为使其反应充分,又不让挥发物大量聚集,产生气泡,或因挥发物急剧逸出,开成许多固化后的通道,造成粘接面积大大减小,粘接力大为减低,以致给产品的可靠性带来巨大危害,因此,各类有机粘接剂应按照室温、中低温、高温、恒温、自然降温的合适温度梯度和时间顺序进行固化。这样均匀地固化,还可减小固化应力。此外,高分子化合物都有随时间自动降解的作用,温度越低,自动降解越弱。因此,各类粘接剂一般都有储存使用的有效期。2、芯片互连技术、芯片互连技术芯片
15、互连技术主要有(1)引线键合(Wire Bonding,简称WB):热压焊、超声焊和热压超声焊(金丝球焊)。WB焊接灵活方便,焊点强度高,通常能满足70um以上芯片焊区尺寸和节距的焊接需要。(2)载带自动焊(Tape Automated Bonding,简称TAB):单层带、双层带、三层带和双金属带几种。TAB的综合比WB优越,特别是具有双层或三层载带的TAB不公能实现自动焊接,且对芯片可预先筛选、测试,使所有安装的TAB芯片全是好的,这对提高装成品率、提高可靠性和降低成本均有好处。倒装焊(Flip Chip Bonding,简称FCB):是芯片面朝下、将芯片焊区与基板焊区直接互边的技术。综合
16、性能最好。在微电子封装中,半导体器件的失效约有1/41/3是由芯片互连引起的,故芯片互边对器件长期使用的可靠性影响很大。在传统的WB中,互连引起的失效主要表现为失效主要表现为:引线过长,与裸芯片易搭接短路,烧毁芯片;压焊过重,引线过分变形,损伤引线,容易造成压焊处断裂;压焊过轻,或芯片焊区表面太脏,导致虚焊,压焊点易于脱落;压焊点压偏,或因此键合强度大为减小,或造成压焊点间距过小而易于短路;此外,压点处留丝过长,引线过紧、过松等,均易引起器件过早失效。在TAB和FCB中也存在WB中的部分失效问题,同时也有它们自身的特殊问题,如由于芯片凸点形变不一致,从而造成各焊点的键合强度有高有低;由于凸点过
17、低,使集中于焊点周围的热应力过大,而易造成钝化层开裂;面阵凸点FCB时,由于与基板不区配,芯片的焊点应力由中心向周边逐次升高,轻者可引起封装基板变形,重者可导致远离芯片中心的凸点焊接处开裂失效等。WB、TAB、FCB,无论是与芯片焊区的金属(一般为Al、Au)互连(内引线焊接)还是与封装外壳引线及各类基板的金属化层互连(外引线焊接),都存大着生成金属间化合物的问题。如Au-Al金属化系统,焊接处可能形成的金属间化合物就有Au2Al、AuAl、AuAl2、Au4Al、Au5Al等多种,这些金属间化合物的晶格常数、膨胀系数及形成过程中体积的变化都是不同的,而且多是脆性的,导电率都较低。因此,器件在
18、长期使用或遇高温后,在Au-Al压焊处就出现压焊强度降低以及接触电阻变大等情况,最终可导致器件在此开路或器件的电性能退化。这些金属间化合物具有多种颜色,看上去呈紫色,故称“紫斑”;而Au2Al呈白色,则称“白斑”其危害性更大。Au-Al压焊还存在所谓“柯肯德尔效应“,即在接触面上造成空洞。其原因是在高温下,Au向Al中迅速扩散,形成Au2Al(白斑)所致,同样易引起器件的失效。3、引线键合(、引线键合(WB)技术)技术?WB是将半导体芯片焊区与微电子封装的I/O引线或基板上的金属布线焊区用金属细丝连接起来的工艺技术。焊区金属一般为Al或Au,金属丝多是数十微米至数百微米直径的Au丝、Al丝和S
19、i-Al丝。焊接方式主要有热压焊、超声键合(压)焊和金丝球焊三种。4、插装元器件的封装技术、插装元器件的封装技术概述:各类晶体管的封装类型主要有玻封二极管和金属封装的三极管。普通管有3根长引线,高频管或需要外壳接地的晶体管有4根长引线,晶体管的金属底座与C极相通,而e、b两极则通过金属底座的开孔,用玻璃绝缘子隔离,金属帽与金属底座的边缘进行密封焊接,就构成至今仍沿用的TO型金属-玻璃绝缘子全密封封装结构。插装元器件的分类与特点按外形结构分类:有圆柱形外壳封装(TO)、矩形单列直插式封装(SIP)、双列直插式封装(DIP)和针栅阵列封装(PGA)等。按材料分类:金属封装、陶瓷封装和塑料封装等。(
20、引脚节距多为2.54mm.)TO型金属封装技术工艺是:先将芯片固定在外壳底座的中心,常常采用Au-Sb合金(对NPN管)共熔法或者导电胶粘接固化法使晶体管的接地极与底座间形成良好的欧姆接触;对于IC芯片,还可以采用环氧树脂粘接固化法;然后在芯片的焊区与接线柱间用热压焊机或超声焊机将Au丝或Al丝连接起来;接着将焊好内引线的底座移至干燥箱中操作,并通以惰性气体或N2,保护芯片;最后将管帽套在底座周围的凸缘上,利用电阻熔焊法或环形平行缝焊法将管帽与底座边缘焊牢,并达到密封要求。5、TO型塑料封装技术型塑料封装技术先将I/O引线冲制成引线框架,然后在芯片焊区将芯片固定,再将芯片的各焊区用WB焊到其他
21、引线键合区,这就完成了装架及引线焊接工充,接下来就是完成塑封工序这一步。先按塑封件的大小制成一定规格的上下塑封模具,模式具有数十个甚至数百个相同尺寸的空腔,每个腔体间有细通道相连。将焊接内引线好的引线框架放到模具的各个腔体中,塑封时,先将塑封料加热到150180,待其充软化熔融后,再加压将塑封料压到各个腔体中,略待几分钟固化后,就完成了注塑封装工作,然后开模,整修塑封毛刺,再切断各引线框架泌要的连接部伯,就成为单独的TO塑封件了。然后切筋、打弯、成形和镀锡。工艺中如何控制好模塑时的压力、粘度,并保持塑封时流道及腔体设计之间的综合平衡,是优化模塑器件的关键。4.1.基本特性4.1.1 JFET的
22、基本特性的基本特性?首先,门极-源极间电压以0V时考虑(VGS=0)。在此状态下漏极-源极间电压VDS 从0V增加,漏电流ID几乎与VDS 成比例增加,将此区域称为非饱和区(可变电阻区)。VDS 达到某值以上漏电流ID 的变化变小,几乎达到一定值。此时的ID 称为饱和漏电流(有时也称漏电流用IDSS 表示。此区域称为饱和导通区(恒流区)。当VDS过大则进入击穿区。其次在漏极-源极间加一定的电压VDS(例如0.8V),VGS 值从0开始向负方向增加,ID 的值从IDSS 开始慢慢地减少,对某VGS 值ID=0。将此时的VGS 称为门极-源极间遮断电压或者截止电压,用VGS(off)或Vp表示。n
23、沟道JFET的情况,则VGS(off)值为负,测量实际的JFET对应ID=0的VGS 因为很困难。因此实际应用中将达到ID=0.110A 的VGS 定义为VGS(off)的情况多些。关于JFET为什么表示这样的特性,用图4.1.2作以下简单的说明。JFET的工作原理用一句话说,就是 漏极-源极间流经沟道的ID,用以门极与沟道间的pn结形成的反偏的门极电压Vgs控制ID。更正确地说,ID 流经通路的宽度,即沟道截面积,它是由pn结反偏的变化,产生耗尽层扩展变化控制的缘故。在VGS=0的非饱和区域,图4.1.2(a)表示的耗尽层的扩展因为不很大,根据漏极-源极间所加VDS的电场,源极区域的某些电子
24、被漏极拉去,即从漏极向源极有电流ID 流动。达到饱和区域后,从门极向漏极扩展的过度层将沟道的一部分构成堵塞型,ID饱和。将这种状态称为夹断。这意味着耗尽层将沟道的一部分阻挡,并不是电流被切断。在耗尽层由于没有电子、空穴的自由移动,在理想状态下几乎具有绝缘特性,通常电流也难流动。但是此时漏极-源极间的电场,实际上是两个耗尽层接触漏极与门极下部附近,由于漂移电场拉去的高速电子通过耗尽层。如图4.1.2(b)所示的那样,即便再增加VDS,因漂移电场的强度几乎不变产生ID 的饱和现象。其次,如图4.1.2(c)所示,VGS 向负的方向变化,让VGS=VGS(off),此时耗尽层大致成为覆盖全区域的状态
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