超声波扫描显微镜教学课件.ppt

1、SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING1超声波扫描显微镜超声波扫描显微镜Scanning Acoustic MicroscopeSonoscan D9500SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING21.1.超声波基础知识超声波基础知识2.2.超声波扫描微成像工作原理超声波扫描微

2、成像工作原理3.3.超声检测设备的参数和软件介绍超声检测设备的参数和软件介绍4.4.超声波成像应用举例超声波成像应用举例5.5.超声波检测和超声波检测和X X射线检测射线检测SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING31、超声波基础知识、超声波基础知识SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINE

3、ERING4ULF 超声的应用：清洗,焊接,治疗,成像和传感超声波清洗和焊接：20KHz40KHz超声波成像：5MHzBasics of Ultrasound(Basics of Ultrasound(超声波基超声波基础础)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING5 Ultrasound is an elastic disturbance that propagates through materials (mainly solids

4、and liquids)at frequencies above 20 KHz.(超声波的频率在20KHz以上，人不能听到)An ultrasonic wave cannot propagate through a vacuum at any frequency or through air at frequencies above 10 MHz.(任何频率超声波都不能穿透真空。当超声波频率大于10MHz时，也不能穿透空气)The pressures generated at the focal spot are in the micro Joule range and are not har

5、mful to even moderately delicate samples.The pulse in the acoustic microscope has very low energy in comparison.(C-SAM使用的超声波的频率和能量不会对人体和样品有害。)Basics of Ultrasound(超声波基础超声波基础)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING6Ultrasound at Interfaces(

6、界面处的超声波界面处的超声波)When an ultrasound pulse impinges on an interface,part of the energy is reflected and part transmitted.(在界面处的超声波，有些会被反射，有些会穿过该界面。)The relative strength of the transmitted(T)and reflected(R)ultrasound at an interface is governed by the acoustic impedance of the materials on each side o

7、f the interface.(在界面处超声波反射和穿过的相对强度是由界面两边物质的声阻抗决定的。)Acoustic Impedance(Z)-the product of the density of the material and the velocity of ultrasound(Z=V).(声阻抗是物质的密度和超声波在该物质中的传播速度的乘积。)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING7Material 1Material

8、 2R(%)T(%)PlasticAir-1000CeramicPlastic-8218CopperPlastic-87131212ZZZZR1222ZZZT1Material 2Transmitted wave(穿透波)Reflected wave(反射波)Reflection Coefficient(R)(反射系数R)Transmission Coefficient(T)(穿透系数T)Ultrasound at Interfaces(Ultrasound at Interfaces(界面处的界面处的超声波超声波)Z 1Z 2SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统

9、工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING8Acoustic Impedance of Materials(声阻抗值声阻抗值)Acoustic Impedance(Z)-is the product of a materials density times its ultrasonic velocity Z=V In practical terms-Acoustic Impedance is a materials characteristic property that determines the

10、amount of reflected and transmitted energy that occurs when an ultrasonic wave encounters a boundary or interface between two materials.SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING95 MHz15 MHz30 MHz50 MHz75 MHz100 MHz150 MHz230 MHz300 MHzLow Fr

11、equency Greater PenetrationHigh Frequency Higher ResolutionSample Back SurfaceSample SurfaceFrequency,Resolution and Frequency,Resolution and PenetrationPenetration(频率、分辨率和穿透力频率、分辨率和穿透力)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING101Si Metalliz

12、ation10 MHz10 MHz100 MHz100 MHz1 GHz1 GHzFlip ChipsWafer BondingBGAsThick Film AdhesionThin FilmsPlastic ICsCSPPorosity&cracks in MetalsCeramicsMedical UltrasoundHermetic Seal IntegrityPenetration(穿透能力)-Resolution(分辨率)Frequency,Resolution and Penetration(频率、分辨率和穿透力频率、分辨率和穿透力)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点

13、实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING11SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING12 Higher frequency,higher resolution,lower penetration.(更高的频率，则拥有更高的分辨率，更低的穿透能力)Thicker parts require lower frequencies t

14、o maintain penetration depth.(更厚的样品需要较低频率的探头来维持较好的穿透厚度)Higher attenuation materials such as plastics require lower frequencies.(高衰减的材料：如塑料等要求较低频率)Lower attenuation materials such as Si can be inspected using higher frequencies.(低衰减的材料：如硅材等能使用较高频率来扫描检测)Frequency,Resolution and Penetration(频率、分辨率和穿透力频

15、率、分辨率和穿透力)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING13医用医用 B超：超：分辨率范围cm-mm频率范围500KHz-1MHz声纳：声纳：分辨率范围m-cm频率范围20KHz-500KHz超声波显微镜：超声波显微镜：分辨率范围mm-m-nm频率范围5MHz-2GHzClassification(超声波功能仪器的分类超声波功能仪器的分类)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE

16、 KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING14 Advantage of Acoustic Micro Imaging(超声波微成像的优点超声波微成像的优点)超声波显微成像(AMI)利用高频率的超声波(一般在5MHz以上)探测物体内的结构、缺陷、以及对材料做定性分析。其优点如下：其优点如下：Non Destructive (无损检测，非破坏性)Sensitive inspection technique for bond evaluation (对粘结层面非常敏感)Penetrates most materials (能穿透大多数

17、的材料)Subsurface structures (浅表层结构的分析)Mechanical properties (材料力学性能的检测-非线性超声测试)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING15Grain boundary structures,Textures材料的晶格结构Cracks裂纹Delamination,Adhesion,Artefact 分层缺陷、附着物以及其他夹杂物Particles,inclusions,Preci

18、pitations杂质颗粒、夹杂物、沉淀物等Voids,Holes,bubbles,空洞、空隙、气泡等Detection and Application of AMI(超声波微成像的超声波微成像的主要用途主要用途)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING162、超声波扫描微成像工作原理、超声波扫描微成像工作原理SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY F

19、OR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING17CASE 1 Z2 Z1(由软-硬是正波)CASE 2 Z2 Z1(由硬-软是负波)CASE 3 Z2=Z1(材质没有变化)(Z2-Z1)(Z2+Z1)R/I=两种物质的声阻抗的差异决定反射波(回声)的正负极性和幅值IncidentReflectedZ1Z2Determining Echo Polarity Determining Echo Polarity(确定回声正负极性确定回声正负极性)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY F

20、OR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING18Large PositivePositiveNo SignalNegativeLarge NegativeSymmetricOr 对称 AmplitudeAsymmetricOr 非对称PolarityColor MappingColor Mapping(着色图着色图)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING19 Ultrasound is either Ref

21、lected or Absorbed or Scattered or Blocked by flaws differently than by the surrounding material.(超声波会被材料反射、散射、吸收或是阻挡。)Acoustic Micro ImagingAcoustic Micro Imaging(超声波微成像超声波微成像)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING20Time-Distance Relatio

22、nshipUltrasound Two Modes(超声波两种工作方式)1.Pulse Echo or C-Mode Technique (反射方式)Level specific(针对特定的层面)2.Through Transmission or T-Scan Technique (透射方式)Entire thickness of the sample (整个厚度)Graphical Presentation of Working Principle(基本工作原理图示基本工作原理图示)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LAB

23、ORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING21Transmitter(发射器发射器)Pulser(脉冲发生器脉冲发生器)Water(媒介水媒介水)Lens(镜头镜头)Transducer(传感器传感器)Pulse Echo or C-Mode technique is a level specific scan.The images have a sharp focus as the data from the C-Mode scan is based on data from a specific level in the device.Pul

24、se-Echo or C-Mode Technique Pulse-Echo or C-Mode Technique(反射方式反射方式)Amplifier(信号放大信号放大)Sample(样品样品)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING22Through Transmission or T-Scan is a non-level specific scan.The ultrasound is passed through the en

25、tire thickness of the device.T-Scan is a non-ambiguous technique as ultrasound can not pass through an air gap.Through Transmission or T-Scan Technique(透射方式透射方式)Transmitter(发射器发射器)Amplifier(信号放大信号放大)Pulser(脉冲发生器脉冲发生器)Transducer(传感器传感器)Transducer(接收传感器接收传感器)Water(媒介水媒介水)Lens(镜头镜头)Sample(样品样品)SKLMS SK

26、LMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING23Some sound transmittedNo sound transmitted Some sound reflected All the sound reflectedDelaminationTechniqueResultCommentReflection(反射模式)Ultrasound is reflected more from bad bond than good bond(坏的粘合面反射的能量高

27、过好的粘合面)Interpret Echoes Isolate Layers Sharp Pictures (特定的层面，图像清晰)Transmission(透射模式)No ultrasound crosses air gap(不能穿过空气)No ambiguity(不准确)Composite image throughout entire part thickness Image may be a little fuzzy (图像不如反射方式清楚)Pulse-Echo vs.Thru-Scan(反射反射vs.透射透射)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家

28、重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING24Reflection Mode(反射模式反射模式):One Transducer both sends and receives the ultrasoundTransmission Mode(透射模式透射模式):Sending Transducer Receiving TransducerPulse-Echo vs.Thru-Scan(反射反射vs.透射透射)SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY L

29、ABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING253、超声检测设备的参数和软件介绍、超声检测设备的参数和软件介绍SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING26主要组成主要组成Stepper motors 步进马达 Linear motion systems&linear encoders 线性驱动系统和编码器X/Y/Z 工作台和 轴系快速移动和专利平衡和防震系统探头装置和连接系统power

30、supply units 供电系统electronic boards 电控系统ADC 数模转换HF electronics脉冲发生器/接收器装置 A,B,C,Q,M,T,LOBE,STAR,3D,ZIP等等多种扫描模式Transducer探头探头Electronics电子控制系统电子控制系统Mechanical Parts机械系统机械系统特定配置特定配置Stages平台平台Software软件软件Window XP control softwareVHR softwareuser licenses Menu setup Image setup15-75 MHz100-300 MHz0.8-1

31、GHz更高频率各种不同聚焦长度的探头水槽探头固定架其他保护装置和自动系统2个硬盘和电脑配置客制化设计软件设置包软件分析包图像分析包软件保护包软件帮助包更明亮的扫描观测范围Thru-Scan穿透式扫描样品支架应用特别设计水槽水温恒加热和保持装置Shared and Specific Components超声波显微镜主要组成部分超声波显微镜主要组成部分配置图配置图SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING27Printer/CD/U盘打印机/

32、CD刻录/U盘Monitor 1设置显示器parallel portgrafic interfaceAD converterRF-interfacevideo scaninterfaceX/Z Motor controllerX-Y-Z机械移动控制单元scanner system扫描系统Encoder编码器Sample样品Transducer探头Pulser/Receiver高频发射接收器Echo 回波PC Workstation计算机工作站计算机工作站Trigger Unit信号触发器Acoustic Microscope Systems超声波扫描显微镜系统配置超声波扫描显微镜系统配置Mon

33、itor 2图像显示器SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING28High Frequency Ultrasonic Transducers不同频率超声波探头不同频率超声波探头低频：5 MHz 50 MHz中频：75MHz 100MHz高频：230 MHz,不同聚焦尺寸和F#更高频率的探头15,30,50,75,100 MHz,使用穿透扫描臂以及瀑布杯(选件)Transducer parameters:换能器选择的主要参数：-FL(Fo

34、cal Length)焦距长度-Frequency 频率-Bandwidth 带宽SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING29Hourglass shaped beam that narrows to the spot size at the waistFocal planeSpot SizeFocal LengthTransducer Resolution(探头分辨率)每一款传感器的Spot Size是由传感器的频率，焦距和镜头半径决

35、定的。Beam from a Focused Transducer聚焦超声波传感器探头聚焦超声波传感器探头Sonoscan拥有自己研发制造唯一的拥有自己研发制造唯一的多款同一频率不同多款同一频率不同FL的探头的探头SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING30Focal planeSpot sizeHourglass shaped beam that narrows to the spot size at the waistDepth o

36、f FieldX=Spot size=1.22F#Resolution(reflection mode)=X(0.707)Z=Depth of field=7.1(F#)2Example:50MHz and F#2 in water DX is 0.073 mm,resolution is 0.052mm and DZ is 0.85 mmFocal LengthDiameterVelocity(mm/ms)Frequency(MHz)F#=Focal LengthBeam from a Focused Transducer聚焦超声波传感器探头聚焦超声波传感器探头Sonoscan拥有自己研发制

37、造唯一的拥有自己研发制造唯一的多款同一频率不同多款同一频率不同FL的探头的探头SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING31一、分辨率：一、分辨率：超声波显微镜的分辨率主要受探头的频率影响，理论分辨率可以达到声波在材料内的波长L的 1/21/3,这里波长L，L V/f 这里V表示声波在材料内纵向传播速度，f 表示探头的频率，可见探头频率越大，则分辨率越大。但同时可见，超声波显微镜的实际分辨率还受到声波在材料内部纵向传播速度，探头聚焦长度，

38、焦点直径的影响，因此对于不同性质的材料或不同聚焦长度、直径的探头，仪器实际的分辨率是有差异的。Special Parameter of Transducers for AMI超声波扫描探头选择的主要参数超声波扫描探头选择的主要参数SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING32二、灵敏度：二、灵敏度：超声波显微镜探头的灵敏度影响到仪器分辨率所能达到的水平，一般的探头只能达到波长L的1/2，而比较好的探头则能达到波长L的 1/3。影响灵敏度的

39、因素主要决定于探头焦点的直径，通常来说焦点直径越小，灵敏度越大。但实际的焦点直径非常难精确的测量出来，因为声波聚焦点没有明确的边界，而是以不同灰度形状环绕在一起。目前Sonoscan公司自己研发的探头焦点直径能做到微米以下直径。林状波 Special Parameter of Transducers for AMI超声波扫描探头选择的主要参数超声波扫描探头选择的主要参数SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING33三、穿透深度：三、穿透深

40、度：超声波显微镜探头对材料的穿透深度主要受到二个因素影响：探头聚焦声波波束在被检测材料与中间耦合剂之间的折射率N：N=CL,Material/C L,Water这里C L,Material表示声波在被检测材料内的纵向速度，C L,Water表示声波在中间介质中的传播速度（通常用水C L,Water=1.5 mm/s）；材料对声波的吸收系数：吸收系数是由材料内部的晶格大小、材料性质，空隙度等决定，因此比较难以仅用探头来决定穿透的深度，还取决于不同的材料，或同一种材料内部的晶格、空隙等因素。Special Parameter of Transducers for AMI超声波扫描探头选择的主要参数

41、超声波扫描探头选择的主要参数SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING34General Application for Different Frequency of Transducers 不同频率探头的应用领域举例不同频率探头的应用领域举例Low Frequency(10-50 MHz):Anodic bonding,welding structures,packages:低频探头(10MHz 30MHz):delaminations

42、,defects;电极封装、焊接内部结构的分层缺陷、杂质、裂纹等Mid Frequency(50-75 MHz):BGAs,die attach,die top:中频探头(50MHz 75MHz):delaminations,defects,cracks;BGA,粘晶芯片内部的分层缺陷、杂质、裂纹等；High Frequency(100-300 MHz):Delaminations,voids,defects,cracks in thin plastic 高频探头(100MHz 230MHz):packages and flip chips;薄型塑封器件、倒装焊芯片内部的分层缺陷、杂质 、裂纹

43、等；Ultra High Frequency(0.4-2 GHz):Nano-voids,cells,defects,boundaries in ceramics超高频探头(400MHz 2GHz):alloys material;陶瓷，合金材料中的纳米空洞、颗粒、缺陷、界面;SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING35Typical Parameter C-SAM Transducers典型超声波传感器探头参数典型超声波传感器探头参数

44、SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING36Sonoscan Software forAcoustic MicroscopeSonoscan超声波扫描显微镜软件功能超声波扫描显微镜软件功能 Operation Software 操作软件基于Windows XP Easy Opertion 便于操作的人性化设计 Image Analyser 具有图象分析功能SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验

45、室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING37Locate the VHR Visual Acoustics icon on the Microsoft Windows Desktop and double-click on this VHR Visual Acoustics icon双击电脑桌面的VHR软件图标，打开软件。VHR Software LogonVHR软件登录软件登录VHR Visual Acoustics Start-upVHR软件启动软件启动SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制

46、造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING38VHR Software GUIVHR软件界面软件界面SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING39Transducers Selection探头选择和参数设定探头选择和参数设定SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATO

47、RY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING40Parameter and Scaning Set-up探头移动和扫描参数设定探头移动和扫描参数设定SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING41RF Interface and Scan Mode Set-upRF界面和扫描模式参数设定界面和扫描模式参数设定SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE K

48、EY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING42RF Image Set-upRF图像和设定图像和设定SKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KEY LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING43C-SAM D9500 Series Fast Scan Speed(快速扫描)Production screening,QA,Failure Analysis and process control (适用于产品线,QA,失效分析和制

49、程控制)User-selectable transducers for superior image and resolution (更清晰和更高分 辨率图像的可选择探头)Waterfall transducer option for non-immersed scanning (针对非浸入水中的瀑布探头)Auto Focus and automated image acquisition (自动聚焦 和自动扫描图像获取)Sonoscan Scanning Acoustic MicroscopeSKLMS SKLMS 机械制造系统工程国家重点实验室机械制造系统工程国家重点实验室STATE KE

50、Y LABORATORY FOR MANUFACTURING SYSTEMS ENGINEERING44Sonoscan Scanning Acoustic MicroscopeC-SAM D9500 Series Specifications Frequency range:1 500 MHz 频率范围 Transducer selection:5 400 MHz 探头频率选择 Scan field:X,Y方向上 扫描范围 最小0.25 x0.25mm 最大305 x305mm Scan speed:1000mm/sec 扫描速度 Scanner resolution:+/-0.5m 扫描精