静电防护基础知识课件.ppt
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- 静电 防护 基础知识 课件
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1、静电防护静电防护一、什么叫静电、静电产生的原因二、静电产生的方式 三、静电放电(ESD)、静电的危害四、影响静电的因素五、静电损害的特点六、静电消除及静电防护七、实际工作中应该注意的问题静电防护静电是指相对静止的电荷,是一种常见的带电现象。静电的基本物理特性为:静电的基本物理特性为:1 1、吸引或排斥。、吸引或排斥。2 2、与大地有电位差。、与大地有电位差。3 3、会产生放电电流。、会产生放电电流。物质都是由分子组成,分子是由原子组成,原子中有带负电的电子和带正电荷的质子组成。当两个不同的物体相互接触时就会使得一个物体失去一些电荷,如电子转移到另一个物体使其带正电,而另一个体得到一些剩余电子的
2、物体而带负电。电荷的积聚形成了静电。静电防护(a)两物体接触时发生电荷转移(b)因电荷转移在界面上形成双电层(c)两物体分离时分别带有正负静电荷静电防护 很多人误以为把手放在物体上时,没有产生静电火花的话,就没有危害,其实人们无法感知约2000V以下的静电,但是,对半导体却有深刻的影响。人体带电电压人体带电电压1.0 1.0 KVKV2.0 2.0 KVKV2.5 2.5 KVKV3.0 3.0 KVKV4.0 4.0 KVKV5.0 5.0 KVKV6.0 6.0 KVKV7.0 7.0 KVKV人们感觉到的冲击程度人们感觉到的冲击程度根本感觉不到根本感觉不到只在手指尖处能感觉到,但无痛感只
3、在手指尖处能感觉到,但无痛感突然间一惊,但无痛感突然间一惊,但无痛感象感觉到针扎入很一样痛象感觉到针扎入很一样痛从手掌到肘处能感觉到静电的冲击从手掌到肘处能感觉到静电的冲击,并且并且很痛很痛手指感觉到强烈的痛手指感觉到强烈的痛受到冲击后受到冲击后,胳膊感觉很沉重胳膊感觉很沉重手指、手掌强烈的疼痛和麻的感觉手指、手掌强烈的疼痛和麻的感觉备备 注注微小的放电的声音微小的放电的声音可以看到放电时的发光可以看到放电时的发光能感觉到针扎似的痛能感觉到针扎似的痛人体的带电电压和感知的程度人体的带电电压和感知的程度人们感觉得到的静电人们感觉得到的静电半导体半导体:处于导体和之间的物质通过特殊处理可以处于导体
4、和之间的物质通过特殊处理可以 调节电子的流调节电子的流 (Si:Si:硅素,硅素,GEGE:锗等半导体:锗等半导体CHIPCHIP的原料可以使用的原料可以使用)静电防护1、接触起电、接触起电2、摩擦带电、摩擦带电3、剥离带电、剥离带电4、流动带电、流动带电静电防护可以说我们周围时刻存在着静电即,作业者或机械(机器)的所有动作都可以产生静电,下面我们来看一下周围可以产生静电的物质或作业动作.静电起源静电起源作业者作业者衣衣 服服作业椅作业椅部品桶部品桶作业台作业台,地面地面,治治具具.工具工具.设备设备.其它其它 使静电产生的物质或作业动作使静电产生的物质或作业动作 走动动作走动动作 推椅子或从
5、椅子上站起来的动作推椅子或从椅子上站起来的动作 穿衣服穿衣服,脱衣服的动作脱衣服的动作 一般的衣服、头巾、手套等一般的衣服、头巾、手套等 合成纤维做成的衣服(导电性工作服除外)合成纤维做成的衣服(导电性工作服除外)塑料盖和外衣,塑料盖和外衣,WAXWAX处理过的地面处理过的地面 使用坐势使用坐势 表面表面COATINGCOATING,打蜡处理,塑料处理资材类,打蜡处理,塑料处理资材类 没有接地的烙铁没有接地的烙铁 PE-BAG,PE-BAG,纸,玻璃制品等纸,玻璃制品等 塑料以及用一般用材料做了表面处理的树木金属塑料以及用一般用材料做了表面处理的树木金属 箱子箱子 纸箱等纸箱等我们周围的静电产
6、生源我们周围的静电产生源静电防护常用物品的摩擦起电序列(-)(+)聚乙烯金银铜硬橡皮 棉花纸铝羊毛 尼龙 人的头发 玻璃 人手 表中越靠左侧的物品,越易产生负电荷;越靠右侧的物品,越易产生正电荷。亦即,在序列中距离越远的物品之间相互接触分离或摩擦,产生的静电电位就越高。静电防护ESD(Electro-Static-Discharge)-静电放电:指具有不同静电电位的物体由于直接接触或静电感应所引起的物体之间静电电荷的转移。通常指在静电场的能量达到一定程度之后,击穿其间介质而进行放电的现象。静电危害:(1)引起电子设备的故障或误动作,造成电磁干扰。(2)击穿集成电路和精密的电子元件,或者促使元件
7、老化,降低生产成品率。(3)高压静电放电造成电击,危及人身安全。(4)在易燃易爆品或粉尘、油雾的生产场所极易引起爆炸和火灾。(5 5)静电引力)静电引力(ESA):吸附灰尘,造成集成电路和半导体元件的污染,大大:吸附灰尘,造成集成电路和半导体元件的污染,大大降低成品率。如韶关屏上的灰尘、异物等。降低成品率。如韶关屏上的灰尘、异物等。静电防护电子器件所能承受静电破坏的静电电压电子器件所能承受静电破坏的静电电压 器件类型器件类型 静电破坏电压静电破坏电压(V)器件类型器件类型 静电破坏电压静电破坏电压(V)VMoS 301800 OP-AMP 1902500 M0SFET 100200 JEFT
8、1401000 GaAsFET 100300 SCL 6801000 PROM 100 STTL 3002500 CMoS 2502000 DTL 3807000 HMOS 50500 肖特基二极管 3003000 EDMOS 2001000 双极型晶体管 3807000 ECL 3002500 石英压电晶体 10000 从上表可见大部分器件的静电破坏电压都在几百至几千伏,而在干燥的环境中人活动所产生的静电可达几千伏到几万伏。静电防护 由人体或周边设备引发的静电放电的时候,有很多能量产生,如果放电通过半导由人体或周边设备引发的静电放电的时候,有很多能量产生,如果放电通过半导体(体(ICIC)时
9、,)时,ICIC内部不能内部不能承受大量剧烈的能量放出,就会遭到破坏。承受大量剧烈的能量放出,就会遭到破坏。半导体半导体 Decap 1Decap 1次次氧化膜破坏部位扩大氧化膜破坏部位扩大破坏部位破坏部位500倍扩大倍扩大半导体的静电破坏事例半导体的静电破坏事例案例:静电防护1、接触特征。接触面积增大、接触压力增大都可使静电增加。2、表面状态。表面粗糙,使静电增加;表面受氧化也使静电增加。3、带电历程。带电历程会改变物体表面特性,从而改变带电特征。一般情况下,初次或初期带电较强,重复性或持续性带电较弱。4、分离速度。分离速度越高,所产生静电越强。所产生静电大致与分离速度的二次方成正比。杂质。
10、一般情况下,混入杂质有增加静电的趋向。但当杂质的加入降低了原有材料的电阻率时,则有利于静电的泄漏。由于静电产生多表现为界面现象,所以,当固体材料表面被水及其污物污染时会增强静电。5、物质种类。相互接触的两种物体材质不同时,界面双电层和接触电位差亦不同,起电强弱也不同。在静电序列中相隔较远的 两种物体相接触产生的接触电位差较大。6、一般情况下,混入杂质有增加静电的趋向。但当杂质的加入降低了原有材料的电阻率时,则有利于静电的泄漏。由于静电产生多表现为界面现象,所以,当固体材料表面被水及其污物污染时会增强静电。7、湿度、温度等.静电防护 静电的产生和温度的高、低有很大程度的差异,温度越低,产生量越大
11、,已证明冬天比夏天产生的多。相对湿度别的静电相对湿度别的静电 35,00035,000v v12,000v12,000v6,000v6,000v7,000v7,000v20,000v20,000v18,0000v18,0000v1,5001,500v v250v250v100v100v600v600v1,200v1,200v1,500v1,500v啊!那么提高湿度就不产生静电吗?带带 电电 物物地毯上走动的人体塑料地板上走动的人体显象管(显示器)作业者塑料包装资材从作业BAG上面拿起聚合塑料袋包装上氨基甲酸脂靠垫的椅子湿度高了,电子元件的工作环境会受的影响,电路板内部漏电等情况就会发生,员工舒
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