单晶炉机械结构课件.ppt

1、拉制单晶棒拉制单晶棒（本产品研究环节）（本产品研究环节）石英砂金属硅石英砂金属硅 多晶多晶 单晶硅棒单晶硅棒 单晶硅片单晶硅片 集成电路集成电路 太阳能电池太阳能电池 太阳能电池应用太阳能电池应用 集成电路应用集成电路应用 直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单直拉式单晶硅生长炉是一种高效率制备硅单晶体的设备。晶体的设备。将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行将多晶硅原料放在炉体的石英坩埚内进行高温高温熔化（大于熔化（大于1450），在，在低真空度低真空度和和氩气保护氩气保护下，下，通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷通过籽晶插入多晶硅熔体后，在籽晶周围形成过冷态并进行有规律结晶生长，形

2、成一根单晶棒体。态并进行有规律结晶生长，形成一根单晶棒体。加热器加热器籽晶籽晶CCD坩埚提升坩埚提升旋转机构旋转机构坩埚坩埚 抽真空抽真空 检漏检漏 调压调压 熔料熔料 稳定稳定 熔接熔接 引晶引晶 放肩放肩 转肩转肩 等径等径 收尾收尾 停炉停炉 氧化氧化籽晶提升籽晶提升旋转机构旋转机构单晶棒单晶棒液面测液面测温仪温仪热场测热场测温仪温仪氩气氩气流量流量炉体炉体电控柜电控柜电源柜电源柜总重总重 籽晶提升机构经籽晶提升机构经过静平衡和动平过静平衡和动平衡测试衡测试 带称重传感器带称重传感器 快慢速双电机快慢速双电机 外置限位调节外置限位调节 观测玻璃窗观测玻璃窗 光电编码计行程光电编码计行程拆

3、装钢丝绳时缆索管位置拆装钢丝绳时缆索管位置 取出压力辊子组件取出压力辊子组件 右端盖右端盖 左端盖左端盖取出右端盖取出右端盖花键轴、缆索管花键轴、缆索管取出晶转磁流体取出晶转磁流体10拆下提升腔右端盖的拆下提升腔右端盖的4颗螺钉。颗螺钉。11拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将拆下提升腔左端盖的盖板，用铜棒敲击花键轴，将 其向其向右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母右端推出，同时顺时针旋转花键轴使得缆索管从铜螺母的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁的螺纹上脱开，将花键轴、缆索管、右端盖以及晶转磁流体密封作为一个整体从提升腔内抽出。流体密封作为一个整体从提升腔内抽

4、出。12用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。用小拉马取下花键轴左端的滚动轴承。13松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的松开并取下把花键轴滑套固定到缆索管上的4颗螺钉。颗螺钉。9松开压力滚子组件固定到提升腔上的松开压力滚子组件固定到提升腔上的4颗螺钉，拆下颗螺钉，拆下 压压力滚子组件。力滚子组件。14将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花将缆索管从花键滑套上拉出，小心，不要把滑套拉出花键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。键轴，否则，滚珠将会从滚槽中掉下来。左端盖及铜螺母左端盖及铜螺母对中针对中针缆索管的对中缆索管的对中1、使用、使用0.2mm的塞尺塞入离的塞尺塞入离合器，当离合器通电时

5、，合器，当离合器通电时，固定离合器右侧的定位螺固定离合器右侧的定位螺钉。钉。2、离合器断电，取出塞尺，、离合器断电，取出塞尺，重新通电，检查是否吸合。重新通电，检查是否吸合。3、离合器断电，用、离合器断电，用0.2mm的的塞尺检查间隙是否有变化。塞尺检查间隙是否有变化。4、反复测试几次，至离合器、反复测试几次，至离合器吸合、分离正常。吸合、分离正常。设备名称维修周期步骤籽晶钢缆每次运行检查磨损、损坏情况籽晶提升滑轮及卷丝轮每个月清洁并检查对中性晶转和晶升皮带3个月检查磨损/对中和张力晶转、晶升电机噪声、刷磨损3个月检查碳刷长度联轴器紧定螺钉3个月检查紧固性晶升离合器组件的调整3个月检查离合器间

6、隙及动作 滚珠直线导轨滚珠直线导轨 精密丝杆，自锁精密丝杆，自锁 承受轴向力磁流承受轴向力磁流体密封体密封 快慢速双电机快慢速双电机 光电编码计行程光电编码计行程拆旋转皮带拆旋转皮带松开松开3个紧定螺钉个紧定螺钉取下旋转接头和冷却管取下旋转接头和冷却管取下波纹管取下波纹管取夹紧圈和旋转带轮取夹紧圈和旋转带轮抽出坩埚轴抽出坩埚轴拆下固定磁流体的螺钉拆下固定磁流体的螺钉提起磁流体提起磁流体设备名称维修周期步骤坩埚轴冷却胶管每个月检查裂纹及损坏情况埚转、埚升驱动皮带3个月检查磨损、对中和张紧埚转、埚升电机驱动装置3个月检查所有螺钉的紧固埚转、埚升电机噪声、刷磨损3个月检查碳刷长度波纹管3个月检查损坏

7、情况丝杆3个月清洁和润滑铜螺母3个月检查磨损情况滚珠直线导轨6个月清洁和润滑丝杠轴承6个月脂润滑坩埚轴每年检查磨损和对中1、将副炉室升起，旋开。、将副炉室升起，旋开。2、确认、确认O型圈已经装好，把型圈已经装好，把翻板阀关闭。翻板阀关闭。3、用、用5mm的内六角扳手和的内六角扳手和17mm的呆扳手把翻板阀两端的的呆扳手把翻板阀两端的固定螺钉松开。固定螺钉松开。4、打开真空泵，真空球阀，、打开真空泵，真空球阀，抽取主炉室真空。抽取主炉室真空。5、利用主炉室内外压差，翻、利用主炉室内外压差，翻板阀会自动吸紧。板阀会自动吸紧。6、当压力抽到极限真空时，、当压力抽到极限真空时，将翻板阀两端的固定螺钉上

8、紧。将翻板阀两端的固定螺钉上紧。7、充入氩气，做一次隔离实、充入氩气，做一次隔离实验以确保翻板阀调整后密封良验以确保翻板阀调整后密封良好。好。松开外端的松开外端的2只外六角螺钉只外六角螺钉松开内端的松开内端的2只内六角螺钉只内六角螺钉采用光学系统将晶体图像采用光学系统将晶体图像分到分到2 2个独立个独立CCDCCD完成引晶、完成引晶、等径的单独控制。等径的单独控制。图像处理速度快，引晶跟图像处理速度快，引晶跟踪能力强，引晶效果好踪能力强，引晶效果好机械调整简单机械调整简单采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构，采用了国内首创、独特的副炉室自动旋转机构，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，可在副炉室提升到位时的缓慢旋开和快速旋闭，提高取晶的安全性；提高取晶的安全性；采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了采用特殊的隔离阀板水冷内循环结构，避免了采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患；采用浮动式翻板阀中软管及接头漏水的隐患；采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程采用独特的氩气分流环结构，保证在拉晶过程中氩气气流的均匀性。中氩气气流的均匀性。谢 谢！