材料分析测试方法第十一节透射电子显微镜课件.ppt

1、1物理学院物理学院 邢晓东邢晓东xingxdnankai.edu13662195823课件保存于：课件保存于：cailiaofenxi2019163密码：密码：xingxiaodong2一、透射电子显微镜的结构一、透射电子显微镜的结构二、透射电子显微镜的工作原理二、透射电子显微镜的工作原理3透射电镜的组成部分：（1）电子光学系统电镜的核心部分，为直立积木式结构（镜筒），上面是照明系统，中间是成像放大系统，下面是观察与记录系统；（2）真空系统 为镜筒提供10-4 10-6 Torr的真空度（3）电源系统（4）循环冷却系统（5）控制系统4照明系统照明系统成像放大系统成像放大系统观察记录系统观察记录

2、系统 透射电镜电子光学系透射电镜电子光学系统统的基本结构、原理与光学显微镜很相似，均包括三个部分：5透射电镜电子光学系统透射电镜电子光学系统图 透射电子显微镜的剖面图 6（1）照明系统）照明系统组成部分：电子枪、聚光镜和相应的平移对中、倾斜调节装置作用：提供一束亮度高、相干性好（能量稳定、平行度好）、照明孔径角小和束流稳定的照明源。通过聚光镜的控制可以实现从平行照明到大会聚角的照明条件。为满足中心暗场成像的需要，照明电子束可在23范围内倾斜。7（1）照明系统）照明系统A、电子枪类型：热电子发射型、场发射型热电子发射型的热阴极三极电子枪：阴极：阴极：灯丝（钨、LaB6）阳极：阳极：中央带小孔的金

3、属板，接地（给电子加速）栅极：栅极：控制极，使电子束强烈 会聚（成实际电子源）图 电子枪结构示意图1：阴极；2：栅极；3：阳极；4：电子束交叉点 8（1）照明系统）照明系统 电镜中唯一的静电透镜，等电位面在空间呈弯曲状；电子枪交叉点即所电镜中唯一的静电透镜，等电位面在空间呈弯曲状；电子枪交叉点即所谓的电子源，交叉点处电子束直径约几十微米。谓的电子源，交叉点处电子束直径约几十微米。（a）自偏压回路）自偏压回路（b）电子枪结构图）电子枪结构图9（1）照明系统）照明系统阴极材料：六硼化镧（LaB6）为了提高照明亮度，随后发明了电子逸出功小的材料作阴极。它比钨丝阴极的亮度高12数量级，而且使用寿命增长

4、。图 LaB6电子枪的结构原理图 10（1）照明系统）照明系统场发射电子枪（FEG：field emission gun）目前亮度最高的电子枪。在金属表面加一个强电场，金属表面的势垒就变小，由于隧穿效应，金属内部的电子穿过势垒从金属表面发射出来，这种现象称为场发射。图 场致发射电子枪结构原理图 11（1）照明系统）照明系统表表 各种电子枪特性比较各种电子枪特性比较12（1）照明系统）照明系统B、聚光镜系统（Condenser Lens)聚光镜用来会聚电子枪发出的电子束，以最小的损失照明样品（即将电子枪第一交叉点的电子束聚集到试样上），并调节控制该处的照明强度、孔径角和束斑尺寸。照明系统光路图照

5、明系统光路图13（1）照明系统）照明系统照明系统光路图照明系统光路图双聚光镜系统：双聚光镜系统：第一聚光镜：短焦距的强激磁透镜束斑缩小率约为1/101/50，将电子枪第一交叉点束斑（直径50 m）缩小为15m；第二聚光镜：长焦距的弱激磁透镜适焦时放大倍数为12倍；样品表面上的电子照明束斑直径为210m；14（1）照明系统）照明系统双聚光镜系统优点：双聚光镜系统优点：聚光镜和物镜之间有足够的空间放置样品和其他装置；方便调节束斑尺寸，满足满屏要求和亮度要求，电子束的平行性和相干性都较好；15一般称之为：第二聚光镜光阑，安装在第二聚光镜下方的焦平面位置；作用：限制照明孔径角，可以挡掉高角度散射即远离

6、光轴的电子，提高电子束的平行性和空间相干性，控制照射到样品上的光斑大小和光照强度。光阑孔直径：光阑孔直径：2020400 400 m m1617（1）照明系统）照明系统DF物镜光阑：选择透射斑为明场像；衍射斑为暗场像；远轴电子，球差和像散严重，图像质量不高；18C、电子束倾斜与平移装置、电子束倾斜与平移装置电磁偏转器：作用是使入射电子束平移和倾斜。电磁偏转器：作用是使入射电子束平移和倾斜。19C、电子束倾斜与平移装置、电子束倾斜与平移装置通过电磁偏转器使入射电子束平移和倾斜。通过电磁偏转器使入射电子束平移和倾斜。中心暗场成像CDF：入射电子偏转2，衍射束平行于光轴，图像分辨率高；20（1）照明

7、系统）照明系统照明系统光路图照明系统光路图照明系统的作用：照明系统的作用：提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好（相干性好）、束流稳定的电子束；电子束的相干性：电子束的相干性：指电子波相互之间具有相同的频率和恒定的相位差。时间相干性：时间相干性：类似于单色光，相干的电子束要求具有相同的波长，即相同的能量；空间相干性：空间相干性：与电子源的尺寸有关，理想的空间相干性是所有电子从电子源的一个点发出。电子源的尺寸越小，电子束的相干性越好，亮度也越高，但稳定性降低。21样品室：样品平移与倾斜装置样品室：样品平移与倾斜装置样品室：承载样品（铜网：3mm），位于照明部分和物镜之间承载样品，并使样品能在物镜

8、极靴孔内平移、倾斜、旋转，以选择感兴趣的样品区域或位向进行观察分析。要求：要求：样品在样品台中保持良好的热、电接触；样品移动机构有足够的机械精度；样品可以相对于电子束照射方向倾斜。侧插式倾斜装置22Double Tilt Holder 3mm size limitation样品室：样品平移与倾斜装置样品室：样品平移与倾斜装置23样品室：样品平移与倾斜装置样品室：样品平移与倾斜装置24（2）成像放大系统）成像放大系统1874年，德国人阿贝年，德国人阿贝(E.Abbe)从波动光学的观点提出了一种成像理论，把物体通过凸透镜成像的过程分成两步：从物体发出的光发生夫琅禾费衍射，在透镜的像方焦平面上形成其

9、傅里叶频谱图；像方焦平面上频谱图各发光点发出的球面次级波在像平面上相干叠加形成物体的像。电磁透镜成像和光学透镜成像一样可分为两个过程：电磁透镜成像和光学透镜成像一样可分为两个过程：第一，是平行电子束与样品作用产生衍射波经物镜聚焦后在物镜背焦面形成衍射谱（衍射斑），即物的结构信息通过衍射谱呈现出来。该过程可用傅里叶变换来描述。第二，是背焦面上的衍射斑发出的球面次级波通过干涉重新在像面上形成反应样品特征的像。该过程是傅里叶变换的逆变换。25（2）成像放大系统）成像放大系统电子光学系统的核心：三组电磁透镜、两个金属光阑和消像散器；三组电磁透镜、两个金属光阑和消像散器；电磁透镜用于成像和放大，其数目取

10、决于所需的最大放大倍数。光阑限制电子束，调整衬度和选择图像范围。物镜：强激磁、短焦距、低像差、高分辨率、放大倍数100300倍 中间镜：弱激磁、长焦距、变倍透镜、020倍放大镜其物平面与物镜的像平面重合衍射镜其物平面与物镜后焦面重合投影镜：强激磁、短焦距、景深大一般都设置两个中间镜和两个投影镜。物镜物镜中间镜中间镜投影镜投影镜26物镜：作用物镜：作用是第一次形成高分辨率电子显微图是第一次形成高分辨率电子显微图像或电子衍射花样。像或电子衍射花样。物镜在成像系统中最重要，决定了仪器的分辨本领和图像的分辨率和衬度，因此必须降低其像差；组成：物镜、物镜光阑和消像散器；物镜：强激磁、短焦距、低像差、高分

11、辨率、放大倍数100300倍；物镜的分辨率主要取决于极靴的形状和加工精度；目前，高质量的物镜分辨率可达0.1nm左右。27物镜光阑：物镜光阑：也叫衬度光阑。作用：减小像差（球差、像散和色差）；提高图像衬度；进行暗场及衍衬成像操作。光阑孔直径：光阑孔直径：2020120120 m m 一般安放在物镜的后焦面上。一般安放在物镜的后焦面上。选择不同的电子透射束、散射选择不同的电子透射束、散射束或衍射束进行成像。束或衍射束进行成像。改善和调节图像的最终衬度。改善和调节图像的最终衬度。28物镜光阑物镜光阑都用无磁性的金属（铂、钼等）制造。都用无磁性的金属（铂、钼等）制造。高性能电镜中常用高性能电镜中常用

12、抗污染光阑或称自洁光阑抗污染光阑或称自洁光阑。光阑孔周围开口，电光阑孔周围开口，电子束照射后热量不易子束照射后热量不易散出，处于高温状态，散出，处于高温状态，污染物不易沉积。污染物不易沉积。29消像散器消像散器像散是由于透镜磁场的非旋转对称而引起的，可以通过引入矫正磁像散是由于透镜磁场的非旋转对称而引起的，可以通过引入矫正磁场（激磁强度和磁场方向可以调节改变）来进行补偿，把固有的椭场（激磁强度和磁场方向可以调节改变）来进行补偿，把固有的椭圆形磁场校正成轴对称磁场，起到消除像散的作用。圆形磁场校正成轴对称磁场，起到消除像散的作用。消像散器：机械式、电磁式；消像散器：机械式、电磁式；一般安装在透镜

13、的上、下极靴之间。一般安装在透镜的上、下极靴之间。30选区光阑：选区光阑：也叫场限光阑或视场光阑也叫场限光阑或视场光阑作用：作用：通过调节选区光阑的位置和大小，可以选择所要观察的试样区域；实际是通过选择由物镜放大的图像范围来限制产生衍射的试样区域范围。位置：位于物镜像平面附近；位置：位于物镜像平面附近；光阑孔直径：光阑孔直径：2020400400 m m31（2）成像放大系统）成像放大系统弱激磁、长焦距、变倍弱激磁、长焦距、变倍（020倍）倍）透镜；透镜；进一步放大物镜所成的像。通过调节中间镜的可变倍率来控制电镜的总放大倍数。中间镜可以对“像”或“衍射斑点”聚焦，这也决定了荧光屏上显示的是“像

14、”还是“衍射斑点”：放大镜其物平面与物镜的像平面重合衍射镜其物平面与物镜后焦面重合32（2）成像放大系统）成像放大系统作用：将经过中间镜放大（或缩小）的像（或电子衍射花样）进一步放大，并投影到荧光屏上。它的激磁电流一般是固定的。强激磁、短焦距、景深和焦长都非强激磁、短焦距、景深和焦长都非常大（成像电子束进入投影镜时孔常大（成像电子束进入投影镜时孔径角很小，约径角很小，约10-3rad）；）；33（2）成像放大系统）成像放大系统三级放大成像系统不同倍率范围时的工作光路34（3）观察记录系统）观察记录系统观察屏：荧光屏照相机构：相机、照相底板计算机：观察和输出图像由于透射电子显微镜的焦长很长，虽然

15、荧光屏和底片之间有数十厘米的间距，仍能得到清晰的图像。35TEM的基本成像原理的基本成像原理像平面像平面光栅光栅后焦面后焦面入射光束入射光束f00 1-1阿贝成像原理 平行光束受到周期结构试样的散射作用，形成各级衍射束，经透镜聚焦，会聚于其后焦面上，以衍射衍射花样花样的形式将试样结构信息显示出来。然后，各级衍射束通过干涉重新在像平面上会聚，形成反映试样特征的像像。在透射电镜中，物镜是将来自试样不同点处同方向、同相位的弹性散射电子会聚于其后焦面上得衍射花样衍射花样；将来自试样同一点不同方向的弹性散射电子会聚于其像平面上得形貌像像。36TEM的基本成像原理的基本成像原理衍射谱衍射谱在物镜后焦面光栅像光栅像在物镜像平面37Thanks