电子探针显微分析仪-课件.ppt

1、第11章 电子探针显微分析仪(X射线显微分析仪)(EPMA)图2.1 定性分析一例图2.2 线分析一例（Ta-Si-Ni合金）图2.5 X射线显微分析仪结构示意图图2.5 X射线显微分析仪结构示意图图2.5 X射线显微分析仪结构示意图图2.5 X射线显微分析仪结构示意图图2.6 X射线显微分析仪所采用的各种信号图2.6 X射线显微分析仪所采用的各种信号图2.6 X射线显微分析仪所采用的各种信号图2.12 由35keV电子束和由其激发产生的X射线各自激发产生的X射线波长与强度的关系（Mo）图2.16 莫塞莱定律图示图2.17 CrK线的强度与加速电压的关系图2.19 铅的质量吸收系数与波长的关系

2、图2.19 铅的质量吸收系数与波长的关系图2.20 背散射系数与原子序数的关系图2.21 样品的倾斜与背散射电子按角度的分布（Au）图2.23 背散射电子的成分信息与凹凸信息分离观察图2.24 吸收电流附带的原子序数之外的其它信息图2.25 由二次电子所反映出的样品电位分布说明图图2.26 N-P-N硅平面型晶体管的表面电位分布像图2.27 关于二次电子产生的说明图图2.27 关于二次电子产生的说明图图2.27 关于二次电子产生的说明图图2.27 关于二次电子产生的说明图图2.28 电子作用的有效范围与其能量的关系图2.29 特征X射线产生区域的模型图2.30 分析区域的深度与加速电压的关系图2.31 在Fe(90%)、Cr(10%)合金中，由荧光激发而产生的CrK线分布比例。图2.32 在Fe、Ni密接样品中的荧光激发效应图2.33 在样品中深度为z的区域所产生信息量的分布图图2.33 在样品中深度为z的区域所产生信息量的分布图图2.34 样品上电子束照射点的温度上升与其热导率的关系加速电压20kV，电子束直径1m。图2.35 X射线的取出角图2.36 X射线的吸收和荧光X射线的产生与X射线取出角的关系。样品：FeCr合金图2.37 分光晶体模型与布拉格衍射图2.37 分光晶体模型与布拉格衍射图2.38 Soller狭缝的作用图2.40 能量色散法装置原理图