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类型切削-4X精密加工和特种加工简介课件.ppt

  • 上传人(卖家):晟晟文业
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  • 上传时间:2022-11-17
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    关 键  词:
    切削 精密 加工 特种 简介 课件
    资源描述:

    1、成形工艺基础切削41成形工艺基础切削42 近年来随着科技的进步和生产的发展近年来随着科技的进步和生产的发展,出现出现的许多由的许多由坚硬而又难加工坚硬而又难加工材料制成的,具有精密材料制成的,具有精密公差尺寸和低表面粗糙度的复杂零件的加工,许公差尺寸和低表面粗糙度的复杂零件的加工,许多新的加工方法应运而生。这些方法本章指精密多新的加工方法应运而生。这些方法本章指精密加工和加工和“现代加工方法现代加工方法”或或“特种加工工艺特种加工工艺”。精整加工精整加工是生产中常用的精密加工,它是指是生产中常用的精密加工,它是指在精加工之后从工件上切除很薄的材料层在精加工之后从工件上切除很薄的材料层,以以提高

    2、提高成形工艺基础切削43 工件精度和减少表面粗糙度值为目的的加工方法工件精度和减少表面粗糙度值为目的的加工方法,如研磨、珩磨等。如研磨、珩磨等。光整加工光整加工是指是指不切除或从工件上切除极薄材不切除或从工件上切除极薄材料层料层,以降低表面粗糙度为目的的加工方法,如,以降低表面粗糙度为目的的加工方法,如超精加工、抛光等。超精加工、抛光等。研磨是用研磨工具和研磨剂,从工件上研去研磨是用研磨工具和研磨剂,从工件上研去一层极薄表面层的精加工方法。一层极薄表面层的精加工方法。成形工艺基础切削44 采用不同的研磨工具采用不同的研磨工具(如研磨心棒、研磨套、研如研磨心棒、研磨套、研磨平板等磨平板等)可对内

    3、圆、外圆和平面等进行研磨。可对内圆、外圆和平面等进行研磨。图示图示为研磨外圆的工具。研磨套为研磨外圆的工具。研磨套2 2由夹套由夹套1 1夹持,它的孔内有螺旋槽可贮藏研磨剂。其上还夹持,它的孔内有螺旋槽可贮藏研磨剂。其上还有一条内外相通的直槽,使其有一定胀缩性。有一条内外相通的直槽,使其有一定胀缩性。为了磨料能嵌入研磨套的内表面,研磨套的为了磨料能嵌入研磨套的内表面,研磨套的材应软些,常用的是材应软些,常用的是铸铁铸铁。研磨时先在工具表面涂上一层均匀的研磨剂研磨时先在工具表面涂上一层均匀的研磨剂,将该工具套在工件上将该工具套在工件上,并调节好配合的松紧程度并调节好配合的松紧程度,成形工艺基础切

    4、削45 然后让工件旋转,手持研磨工具在轴向来回移然后让工件旋转,手持研磨工具在轴向来回移 动,直至达到研磨的要求为止动,直至达到研磨的要求为止 。研磨剂研磨剂是很细的磨料是很细的磨料(粒度为粒度为W14W14W15)W15)、研磨液和辅助材料的混合剂。研磨液和辅助材料的混合剂。常用的有常用的有液态研磨剂、研磨膏和固体研磨剂液态研磨剂、研磨膏和固体研磨剂(研磨皂)(研磨皂)三种。三种。主要起主要起研磨、吸附、冷却和润滑研磨、吸附、冷却和润滑等作用。等作用。1)1)精度高质量好精度高质量好成形工艺基础切削46 经研磨后的工件表面经研磨后的工件表面,尺寸精度可达尺寸精度可达IT4IT4IT1IT1级

    5、级;表面粗糙度值可减小到表面粗糙度值可减小到0.10.006m0.10.006m。形状精度。形状精度 亦可相应提高。亦可相应提高。2)2)生产效率低,加工余量小生产效率低,加工余量小。3)3)研磨剂易飞溅,污染环境研磨剂易飞溅,污染环境。在现代制造业中研磨应用很广,许多在现代制造业中研磨应用很广,许多精密量精密量块、量规、齿轮、钢球、喷油嘴、石英晶体、陶块、量规、齿轮、钢球、喷油嘴、石英晶体、陶瓷元件、光学镜头及棱镜瓷元件、光学镜头及棱镜等零件均需研磨。等零件均需研磨。成形工艺基础切削47二、珩磨二、珩磨 利用珩磨工具对工件表面施加一定压力,珩利用珩磨工具对工件表面施加一定压力,珩磨工具同时作

    6、往复振动、相对旋转和直线往复运磨工具同时作往复振动、相对旋转和直线往复运动动,切除工件上极小余量的工件精加工切除工件上极小余量的工件精加工方法方法。一般珩磨后可将工件的形状和尺寸精度提一般珩磨后可将工件的形状和尺寸精度提高一级,表面粗糙度高一级,表面粗糙度R Ra a值可达值可达0.20.20.025m0.025m。珩磨加工的工件表面质量特性好、加工精度和珩磨加工的工件表面质量特性好、加工精度和成形工艺基础切削48 加工效率高,加工应用范围广、经济性好。加工效率高,加工应用范围广、经济性好。(又名又名:超级光磨):超级光磨)用细粒度的磨具对工件施加一定压力,并作用细粒度的磨具对工件施加一定压力

    7、,并作往复振动和慢速纵向进给运动,以实现微量磨削往复振动和慢速纵向进给运动,以实现微量磨削的一种光整加工的一种光整加工方法方法。磨具与工件之间的运动如下:磨具与工件之间的运动如下:1)1)工件作低速旋转运动工件作低速旋转运动,工工3 320m/min;20m/min;2)2)油石磨具作往复振动油石磨具作往复振动,每分钟振动每分钟振动30012003001200次次,成形工艺基础切削49 振幅为振幅为3 35mm5mm;3)3)磨具作纵向进给运动磨具作纵向进给运动,进给量进给量f f纵纵为为0.10.10.15 mm/r0.15 mm/r。超精加工能加工钢、铸铁、铜合金、铝合金、超精加工能加工钢

    8、、铸铁、铜合金、铝合金、陶瓷陶瓷 、玻璃、硅和锗等各种金属与非金属、玻璃、硅和锗等各种金属与非金属,可以可以加工外圆、平面、内孔和各种曲面。加工外圆、平面、内孔和各种曲面。尤其适用加工内燃机曲轴、凸轮轴、活塞、尤其适用加工内燃机曲轴、凸轮轴、活塞、活塞销等的光整加工。活塞销等的光整加工。成形工艺基础切削410 超精加工可在普通车床、外圆磨床上进行,超精加工可在普通车床、外圆磨床上进行,对于批量较大的生产则宜在专用机床上进行。对于批量较大的生产则宜在专用机床上进行。工工作时应充分地加润滑油,以便形成油膜和清洗极作时应充分地加润滑油,以便形成油膜和清洗极细地磨屑细地磨屑。超精加工后地工件表面粗糙度

    9、超精加工后地工件表面粗糙度R Ra a值约在值约在0.10.006m0.10.006m之间。之间。抛光是利用机械、化学或电化学地作用,抛光是利用机械、化学或电化学地作用,使工件获的光亮、平整表面的加工方法使工件获的光亮、平整表面的加工方法 成形工艺基础切削411 抛光的主要工具用品有抛光的主要工具用品有软轮软轮和和磨膏磨膏等。等。软轮软轮用用皮革、毛毡、帆布等材料叠制皮革、毛毡、帆布等材料叠制而成,而成,具有一定的弹性,以便抛光时能按工件形状而变具有一定的弹性,以便抛光时能按工件形状而变形,增加抛光面积或加工曲面。形,增加抛光面积或加工曲面。磨膏磨膏由由磨料和油脂磨料和油脂(包括硬脂酸、煤油、

    10、石包括硬脂酸、煤油、石蜡等)配置而成。蜡等)配置而成。磨料的种类取决于工件材料,如:钢制零磨料的种类取决于工件材料,如:钢制零件抛光可选用氧化铁粉及刚玉;铸铁件抛光可选件抛光可选用氧化铁粉及刚玉;铸铁件抛光可选用氧化铁粉及碳化硅粉;有色合金抛光宜选用氧用氧化铁粉及碳化硅粉;有色合金抛光宜选用氧化铬及金刚砂。化铬及金刚砂。成形工艺基础切削412 抛光是安排在工件精加工之后进行,抛光抛光是安排在工件精加工之后进行,抛光之后的工件,粗糙度之后的工件,粗糙度R Ra a值可达值可达0.10.10.012m,0.012m,并并能明显增加光亮度,但不能甚至不能保持原有的能明显增加光亮度,但不能甚至不能保持

    11、原有的精度。精度。抛光可在抛光机或砂带磨床上进行。抛光可在抛光机或砂带磨床上进行。现代加工方法现代加工方法是不仅用机械能而且更多的应是不仅用机械能而且更多的应 用用电能、化学能、声能、光能、磁能电能、化学能、声能、光能、磁能等进行加工。等进行加工。这些加工方法这些加工方法,在某种意义上说在某种意义上说,即不使用普通即不使用普通成形工艺基础切削413 刀具来切削工件材料刀具来切削工件材料,而是直接利用能量进行加而是直接利用能量进行加工工,与传统的切屑加工相比较与传统的切屑加工相比较,具有以下特点:具有以下特点:切除材料的能量不主要靠机械能,主要切除材料的能量不主要靠机械能,主要为为其他形式的能量

    12、;其他形式的能量;“以柔克刚以柔克刚”工具材料的硬度可低于工工具材料的硬度可低于工件材料的硬度,或者有传统意义的刀具件材料的硬度,或者有传统意义的刀具。在加工过程中在加工过程中,工具与工件之间不存在显工具与工件之间不存在显著的机械切削力著的机械切削力.相应的相应的切削物理现象不明显。切削物理现象不明显。加工能量易于控制、转换,可复合成新加工能量易于控制、转换,可复合成新成形工艺基础切削414 的工艺技术,适应加工范围广。的工艺技术,适应加工范围广。电火花加工是基于脉冲放电蚀除原理产生的电火花加工是基于脉冲放电蚀除原理产生的,故又称放电加工或电蚀加工故又称放电加工或电蚀加工。电火花加工电火花加工

    13、原理图原理图,由脉冲电源、自动进给由脉冲电源、自动进给调节装置、工作液循环系统、工具电极等组成。调节装置、工作液循环系统、工具电极等组成。加工时,脉冲电源的一极接工具电极加工时,脉冲电源的一极接工具电极,另一另一极接工件电极。两极均浸入具有一定绝缘度的液极接工件电极。两极均浸入具有一定绝缘度的液体介质(常用煤油或矿物油)中。体介质(常用煤油或矿物油)中。成形工艺基础切削415 工具电极由自动进给调节装置控制,以保证工具电极由自动进给调节装置控制,以保证工具与工件在正常加工时维持一很小的放电间隙工具与工件在正常加工时维持一很小的放电间隙(0.010.050.010.05)。)。当脉冲电压当脉冲电

    14、压(100v(100v左右左右)加到两极之间,由于加到两极之间,由于工具电极和工件之间的表面不是完全平滑的,而工具电极和工件之间的表面不是完全平滑的,而是存在着凹凸不平处,便将当时条件下极间最近是存在着凹凸不平处,便将当时条件下极间最近点的液体介质击穿,形成放电通道。点的液体介质击穿,形成放电通道。由于通道的截面积很小由于通道的截面积很小,放电时间极短放电时间极短,致使致使能量高度集中能量高度集中(10(106 610107 7w/w/2 2),),放电区域产生瞬间放电区域产生瞬间成形工艺基础切削416 高温高温(5000)(5000)足以使材料熔化甚至汽化,以致形足以使材料熔化甚至汽化,以致

    15、形成一个小凹坑。成一个小凹坑。第一次脉冲放电结束之后,间隔极短时间,第一次脉冲放电结束之后,间隔极短时间,第二个脉冲又在另一极间最近点击穿放电。第二个脉冲又在另一极间最近点击穿放电。如此周而复始高频率地循环下去,工具电如此周而复始高频率地循环下去,工具电极不断地向工件进给,它的形状最终就复制在工极不断地向工件进给,它的形状最终就复制在工件上,形成所需要的加工表面。当然工具也有损件上,形成所需要的加工表面。当然工具也有损耗。耗。成形工艺基础切削417 可加工任何硬、脆、软、韧和高熔点的可加工任何硬、脆、软、韧和高熔点的导电材料导电材料,如硬质合金、导电陶瓷、不锈钢、钛,如硬质合金、导电陶瓷、不锈

    16、钢、钛合金、工业纯铁、人造聚晶金刚石等,还可加工合金、工业纯铁、人造聚晶金刚石等,还可加工半导体和非导体材料。半导体和非导体材料。加工时,工具与工件不接触,加工时,工具与工件不接触,“切削力切削力”极小极小。故适合于低刚度工件和微细结构的加工。故适合于低刚度工件和微细结构的加工。特别适合加工复杂截面的形孔和形腔。特别适合加工复杂截面的形孔和形腔。由于脉冲放电持续时间极短,加工表面由于脉冲放电持续时间极短,加工表面的影响极小。的影响极小。故可加工热敏感性很强的材料;故可加工热敏感性很强的材料;成形工艺基础切削418 加工的表面,由许多小的弧坑组成,加工的表面,由许多小的弧坑组成,有有助于油膜形成

    17、,改善润滑助于油膜形成,改善润滑。调整脉冲参数,可以在调整脉冲参数,可以在同一台机床上依同一台机床上依次进行粗、精加工;次进行粗、精加工;易于实现自动控制易于实现自动控制。成形工艺基础切削419 电解加工是利用金属在电解液中发生阳极溶电解加工是利用金属在电解液中发生阳极溶解的原理解的原理,将零件加工成形的一种将零件加工成形的一种方法方法 。电解加工的过程如电解加工的过程如图图。加工时。加工时,工件接直流工件接直流电源的正极电源的正极(阳极阳极),按形状要求制成的工具接,按形状要求制成的工具接成形工艺基础切削420 负极负极(阴极阴极)两极间保持两极间保持0.11mm0.11mm的间隙,具有一的

    18、间隙,具有一定压力(定压力(0.52.5Mpa0.52.5Mpa)的电解液从两极间隙中高)的电解液从两极间隙中高速速(560m/s)(560m/s)流过。流过。接通直流电源后,工具阴极的凸出部分与接通直流电源后,工具阴极的凸出部分与工件阳极的电极间隙最小,此处的电流密度最大,工件阳极的电极间隙最小,此处的电流密度最大,单位时间内消耗的电量最多。单位时间内消耗的电量最多。根据法拉第定律,金属阳极的溶解量与通根据法拉第定律,金属阳极的溶解量与通过的电量成正比。过的电量成正比。成形工艺基础切削421 因此工件上与工具阴极凸起部位的对应部因此工件上与工具阴极凸起部位的对应部位比其他地方溶解迅速位比其他

    19、地方溶解迅速,并随即被高速的电解液并随即被高速的电解液冲走。冲走。同时工具阴极以一定速度同时工具阴极以一定速度(0.53mm/min)(0.53mm/min)向向工件进给工件进给,达到预定的加工深度时达到预定的加工深度时,就获需形状。就获需形状。加工范围广加工范围广,不受材料本身硬度、强度,不受材料本身硬度、强度的限制,高硬、高强度及韧性的导电材料。可加的限制,高硬、高强度及韧性的导电材料。可加工各种复杂形面。工各种复杂形面。成形工艺基础切削422 无机械切削力和切削热作用无机械切削力和切削热作用 工件不会产生残余应力、变形及加工变质层,工件不会产生残余应力、变形及加工变质层,也没有飞边毛剌。

    20、也没有飞边毛剌。加工精度高加工精度高 可达可达0.1mm0.1mm至至0.01mm0.01mm;表面粗糙度;表面粗糙度RaRa值一值一般可达般可达0.8m0.8m,最小,最小RaRa值可达值可达0.1m0.1m。工具无损耗寿命常工具无损耗寿命常 在加工中,工具只发生氢气和沉淀而无溶解在加工中,工具只发生氢气和沉淀而无溶解作用,理论上无损耗,使用寿命长。作用,理论上无损耗,使用寿命长。成形工艺基础切削423 生产率较高生产率较高 为电火花加工的为电火花加工的510510倍,有时甚至高于机械倍,有时甚至高于机械切削。切削。缺点也不少缺点也不少 电解加工的附属设备多,造价高,占地面电解加工的附属设备

    21、多,造价高,占地面积大,加工稳定性不高。电解液有腐蚀性,电解积大,加工稳定性不高。电解液有腐蚀性,电解产物有污染,也应引起重视。产物有污染,也应引起重视。近年来电解加工工艺的应用研究有很大发展近年来电解加工工艺的应用研究有很大发展,成形工艺基础切削424 除了在加工炮膛膛线外,在花键孔、深孔、除了在加工炮膛膛线外,在花键孔、深孔、内齿轮、链轮、叶片、异形零件及模具等方面获内齿轮、链轮、叶片、异形零件及模具等方面获得广泛的应用。得广泛的应用。电火花加工的生产率较低电火花加工的生产率较低,因因此对精度要求不太高的矿山机械、农机、拖拉机此对精度要求不太高的矿山机械、农机、拖拉机零件用锻模,正逐渐采用

    22、电解加工。零件用锻模,正逐渐采用电解加工。叶身形面形状叶身形面形状复杂复杂,精度,精度要求高,加工量大,用电解加工,比机械加工工要求高,加工量大,用电解加工,比机械加工工期短、效率高,期短、效率高,质量好。质量好。成形工艺基础切削425 是靠阳极金属的电化学溶液(占是靠阳极金属的电化学溶液(占95959898)和机械磨削作用(占)和机械磨削作用(占 2 25 5)相结合进)相结合进行的复合加工。行的复合加工。它集中了两者的优点,用于磨削各种硬质合它集中了两者的优点,用于磨削各种硬质合金、量具、涡轮叶片榫头、蜂窝结构件、轧辊、金、量具、涡轮叶片榫头、蜂窝结构件、轧辊、拉丝磨孔等复杂形面的零件。拉

    23、丝磨孔等复杂形面的零件。代替传统的钳工操作代替传统的钳工操作,提高工效提高工效,节约费用。节约费用。成形工艺基础切削426 电解加工还应用于电解加工还应用于等工艺过程中。等工艺过程中。三、超声加工三、超声加工 又名又名超声波加工超声波加工 加工时,在工件和工具之间加入液体(水或加工时,在工件和工具之间加入液体(水或煤油)和磨料混合的悬浮液,并使工具以很小的煤油)和磨料混合的悬浮液,并使工具以很小的力力F F轻轻压在工件上。轻轻压在工件上。成形工艺基础切削427 超声波发生的超声频振荡,通过换能器转换超声波发生的超声频振荡,通过换能器转换成成16000H16000Hz z以上的超声频纵向振动,并

    24、借助于变以上的超声频纵向振动,并借助于变幅杆把振幅放大到幅杆把振幅放大到0.050.1mm0.050.1mm左右。左右。变幅杆驱动工具作超声振动,并以工具端变幅杆驱动工具作超声振动,并以工具端面迫使工作液中悬浮的磨粒以很大的速度不断撞面迫使工作液中悬浮的磨粒以很大的速度不断撞击和研磨工件表面,把工件加工区域内的材料破击和研磨工件表面,把工件加工区域内的材料破碎成很细的微粒并打击下来。碎成很细的微粒并打击下来。既然是基于局部的撞击作用,可见,既然是基于局部的撞击作用,可见,越是越是硬脆的材料,受到的破坏越大,也就越好加工硬脆的材料,受到的破坏越大,也就越好加工。成形工艺基础切削428 反之,脆性

    25、和硬度不大的塑性材,由于有缓反之,脆性和硬度不大的塑性材,由于有缓冲作用而难加工。冲作用而难加工。2.2.超声加工的特点超声加工的特点 如如4545号钢,做成较复杂的形状,故工具和工号钢,做成较复杂的形状,故工具和工件间无须复杂的相对运动,因此超声波机床的结件间无须复杂的相对运动,因此超声波机床的结构简单,操作、维修也方便。构简单,操作、维修也方便。成形工艺基础切削429 加工过程中工具对工件材料的宏观作用力小,加工过程中工具对工件材料的宏观作用力小,热影响小,不致引起变形及烧伤,表面粗糙度也热影响小,不致引起变形及烧伤,表面粗糙度也较低,较低,RaRa值可达值可达10.1m,10.1m,加工

    26、精度可达加工精度可达0.020.01 mm 0.020.01 mm。磨粒硬度一般应比被加工材料高磨粒硬度一般应比被加工材料高,虽加,虽加工精度高,但工具磨损大,生产效率低。工精度高,但工具磨损大,生产效率低。3.3.超声加工的应用超声加工的应用 超声加工虽生产率低,但其加工精度、表面超声加工虽生产率低,但其加工精度、表面粗糙度都较理想,能加工半导体,非导体的硬脆粗糙度都较理想,能加工半导体,非导体的硬脆成形工艺基础切削430 材料,如石英、宝石、钨及钨合金、玛瑙等。材料,如石英、宝石、钨及钨合金、玛瑙等。另外,如宝石轴承、拉丝模、喷丝头,还可以用另外,如宝石轴承、拉丝模、喷丝头,还可以用于超声

    27、抛光、光整加工、复合加工等许多方面。于超声抛光、光整加工、复合加工等许多方面。成形工艺基础切削431成形工艺基础切削432成形工艺基础切削433成形工艺基础切削434成形工艺基础切削435成形工艺基础切削436 适宜加工纯洁高的要求适宜加工纯洁高的要求 成形工艺基础切削437成形工艺基础切削438 基本原理基本原理:和电子束加工基本类似,在真空条件下,将和电子束加工基本类似,在真空条件下,将离子源产生的离子束经过加速聚焦,打到工件表离子源产生的离子束经过加速聚焦,打到工件表面。不同的是离子带正电荷,其质量比电子大数面。不同的是离子带正电荷,其质量比电子大数成形工艺基础切削439 千、数万倍,如

    28、氩离子的质量是电子的千、数万倍,如氩离子的质量是电子的7.27.2万万倍,故离子加速到较高速度时,比电子束具有更倍,故离子加速到较高速度时,比电子束具有更大的撞击动能,它是靠微观的机械撞击能量而不大的撞击动能,它是靠微观的机械撞击能量而不是靠动能转化为热能来加工的。是靠动能转化为热能来加工的。精细加工,可控性好精细加工,可控性好 是所有现代加工中最精密、最微细的加工是所有现代加工中最精密、最微细的加工方法。方法。高真空加工,污染少高真空加工,污染少 成形工艺基础切削440 尤其适宜对易氧化的金属、合金材料和高纯尤其适宜对易氧化的金属、合金材料和高纯度半导体材料的加工。度半导体材料的加工。压力小

    29、压力小,变形小变形小 加工中产生应力、变形也小加工中产生应力、变形也小,加工工件表面加工工件表面质量高质量高,对材料适应性强。对材料适应性强。设备成本高设备成本高,加工效率低加工效率低,应用范围受限应用范围受限。成形工艺基础切削441 可以较好地实现材料的表面改性处理,使用可以较好地实现材料的表面改性处理,使用离子束还可以向工件表面进行离子溅射沉积和离离子束还可以向工件表面进行离子溅射沉积和离子镀膜加工。子镀膜加工。一台设备离子束加工,既可用于加工,又一台设备离子束加工,既可用于加工,又可用于蚀刻、熔化、热处理、焊接等。可用于蚀刻、熔化、热处理、焊接等。成形工艺基础切削442成形工艺基础切削4

    30、43成形工艺基础切削444 研磨外圆的工具研磨外圆的工具 1-1-夹套;夹套;2-2-研磨套;研磨套;3-3-调节螺钉;调节螺钉;4-4-手柄手柄。成形工艺基础切削445 珩磨头及珩磨油石的切削轨迹珩磨头及珩磨油石的切削轨迹 1-1-工件;工件;2-2-磨条;磨条;3-3-磨条座;磨条座;4-4-联轴器联轴器。成形工艺基础切削446成形工艺基础切削447成形工艺基础切削448 (a)(a)加工通孔加工通孔 (b)(b)加工模具形腔加工模具形腔 (c)(c)加工环形内腔加工环形内腔 (d)(d)加工弯孔加工弯孔 (e)(e)切割板料切割板料 (f)(f)磨拉丝模内表面磨拉丝模内表面成形工艺基础切

    31、削449成形工艺基础切削450成形工艺基础切削451成形工艺基础切削452成形工艺基础切削453原理:真空条件下,由原理:真空条件下,由电子枪旁热阴极发射的电子枪旁热阴极发射的电子,在高电压电子,在高电压(80200kV80200kV)作用下被)作用下被加速到很高的速度加速到很高的速度(1/21/31/21/3光速),然后光速),然后通过电子透镜聚焦形成通过电子透镜聚焦形成高能量密度高能量密度(10(106 610109 9W/mmW/mm2 2)的电子的电子束。当电子束冲击到工束。当电子束冲击到工件时,在极短的时间内件时,在极短的时间内使受冲击部位的温度升使受冲击部位的温度升高到几千摄氏度以上,高到几千摄氏度以上,使材料瞬间熔化或汽化,使材料瞬间熔化或汽化,达到去除材料的目的达到去除材料的目的

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