ASYS印刷机工艺参数调整方法课件-2.ppt

1、ASYS印刷机工艺参数调整方法ASYS SZ OFFICE J J Chen介绍 丝网印刷线一共有三道印刷，分别为背电极，铝背场和正电极的印刷ASYS印刷机印刷部件的介绍 印刷头上的锁定螺丝 刮刀 回刮刀 网板 印刷台印刷的工作原理丝网印刷原理：控制流体的运动。印刷前，丝网上的浆料因粘度较大不会自行流动而漏过丝网。印刷时，刮刀把浆料压入网孔，在刮板及丝网的作用下，浆料受到切应力而粘度迅速下降，并滚动运动，在滚动压力的作用下流过网孔，从而与硅片接触，在丝网回弹过程中附着到硅片上。印刷相关参数的作用 印刷压力：用于在印刷时提供给刮刀垂直力，以保证在印刷过程中能把浆料刮干净 印刷间距：保证网板与硅片

2、之间有一定的距离，保证在印刷后网板的回弹。印刷速度：印刷速度决定了整线的产量，但也不能过快。因为浆料在印刷时会滚动运动并产生两种力，一个反作用力和一个朝网板朝刮刀的上下力，速度越大，力越大；从而浆料刮到硅片的量也会加大。网板张力 网板的张力对印刷的质量有很大的影响（如刮不干净浆料，碎片）网板的张力在新的时候最大，随着印刷次数的增加，网板张力程线性下降 随着网板张力的下降，在不改变其它印刷参数的情况下，最明显的就是刮不干净浆料。在加大压力后能把浆料收干净，但因为网板张力减小，加大的印刷压力就可能全部加到硅片上，从而导致碎片或隐裂。印刷过程中碎片产生的原因 硅片在印刷的过程中受到压力过大，从而造成

3、碎片（试想如果没外加压力，硅片在印刷台面是不会碎的）网板张力改变时，未改变间距，只加大压力，硅片承受压力过大而碎片 前段刮刀胶条不平，造成硅片背极不平，在印刷栅线时碎片 台面不平（或不干净）。印刷机的台面是一个平整光滑的平面,中间有很多用于抽真空的小孔组成,印刷过程中，可能某些小孔会因为残留浆料而不平整，需要用专用的刷子清洁，否则会对孔造成毛刺。印刷参数 Pressure print(印刷压力)Snap off(印刷间距)Speed print(印刷速度)调整基本概念在保证印刷符合要求的情况下，为了减少碎片，我们的调整概念是：Snap off（间距）尽可能大 Pressure Print（压力

4、）尽可能小参数相互关系 压力与间距：压力越大时，间距也大；因为压力大时，刮刀与网板接触的地方凸出来也多，间距小的话，硅片承受的压力加大，碎片的概率会加大。两个参数当中的一个改变,另外一个不改,就可能加大硅片碎的可能性或影响印刷质量 印刷速度影响到产能,同时也影响到印刷到硅片浆料的多少参数的调整 先把印刷速度改小，以方便在调试时能很好的观察（如印刷速度为50mm)。完全松开锁定螺丝，并保证刮刀和回刮刀左右的固定螺丝未锁，能自由活动。先设定印刷间距：印刷间距以浆料能很好的印刷到硅片为宜，无粘片和虚印。(推荐为：1.5+0.3)在间距定下后，设定印刷压力。压力由小到大慢慢加，加到在印刷时浆料能收干净

5、就可以。参数的调整 在压力和间距设定好后，印刷一片看看印刷是否合格，否则再作微调。（印刷速度未改）合格后，慢慢朝下拧锁定螺丝，在感觉到锁定螺丝刚碰到东西时，把锁定螺丝锁住。这个动作相当于找到了一个刮胶下降的一个限位，保证刮刀在压力加大时不会再下压。然后加快印刷速度，并测印刷重量，如过大，则减速，过小，则加速。（推荐170mm).参数实时调整在正常的生产印刷过程中，由于网板张力下降，或更换网板，以上参数都要修改。如张力下降时，印刷压力要加大，这时间距可能要稍微加大。而如果换网板，则都要重调。参数流程开始设定间距并松开锁定螺丝设定压力并降慢速度手动印刷浆料印刷到硅片好吗浆料能收干净吗增加点压力试减

6、少点压力固定锁定螺丝改变间距压力大小刚好加快印刷速度到正常值锁定螺丝松90度，压力加5左右浆料重量对吗浆料能收干净吗降低点印刷速度正常生产加快点印刷速度轻重生产常见问题 铝背场粘片：印刷间距过小，适当加大间距并适当加大刮刀的印刷距离。铝背场局部浆料被网板带走：间距大并且印刷压力也大，网板反弹快，使浆料还没完全附着到硅片。铝背场印刷过重：在间距和压力都调整适当的情况下，改变印刷速度能改变印刷到硅片的浆料重量，慢能增加重量，快能减少。加大压力也能改变但会增加碎片的机率。生产常见问题 铝背场印刷不良：印刷机空闲时间过长，网板孔有可能堵塞（或刚换新网板时网孔还没润滑）。把印刷速度放慢，印刷几十片后再恢复到正常速度即可。栅极印刷断线：擦（换）网板。或印刷机空闲时间过长，网板孔有可能堵塞（或刚换新网板时网孔还没润滑）。把印刷速度放慢，印刷几十片后再恢复到正常速度即可。生产常见问题 网板浆料收不干净：网板随印刷次数增加而张力下降，适当松开固定螺丝并加压，但同时间距也增加。手压网板试下张力，如明显张力不足，更换网板。印刷时，网板有残留一条线浆料：刮条已经磨损或不平。更换刮条。在某个点有固定的碎片：印刷台面有毛刺。擦拭台面或用1000目以上的砂纸打磨下该点。THANKS!