23电解加工和电解磨削及超声波加工解析课件.ppt

1、2.3电解加工和电解磨削电解加工和电解磨削2.3.1 电解加工的基本原理与规律电解加工的基本原理与规律2.3.2 电解加工的特点及应用电解加工的特点及应用2.3.3 电解磨削的基本原理电解磨削的基本原理2.3.4 电解磨削的特点及应用电解磨削的特点及应用2.3.1 电解加工电解加工的基本原理与规律的基本原理与规律 1、基本原理电解加工是利用金属在电解液中的“电化学阳极溶解”来将工件成型的。12345VA1直流电源；2工具电极；3工件阳极；4电解液泵；5电解液 电解加工原理图 在工件（阳极）与工具（阴极）之间接上直流电源，使工具与工件间保持较小的加工间隙，间隙中通过高速流动的电解液。开始时，两极

2、之间的间隙大小不等，间隙小处电流密度大，阳极金属去除速度快；而间隙大处电流密度小，去除速度慢。随着工件表面金属材料的不断溶解，工具阴极不断地向工件进给，溶解的电解产物不断地被电解液冲走，工件表面逐渐被加工成接近于工具电极的形状，直至将工具的形状复制到工件上。电解质：电解质：溶于水后能导电的物质溶于水后能导电的物质电解质溶液：电解质溶液：电解质电解质+水，简称电解液水，简称电解液电解质电离：电解质电离：如，如，离子型晶体离子型晶体NaClNaClNaCl NaNaCl Na+Cl+Cl-强电解质：强电解质：在水中在水中100%100%电离电离强酸、强碱、大多数盐类强酸、强碱、大多数盐类弱电解质：

3、弱电解质：仅有一部分电离仅有一部分电离氨氨(NH(NH3 3)、醋酸、醋酸(CH(CH3 3COOH)COOH)2 电解液 中性：中性：NaCl，NaNO3，NaClNO3酸性：酸性：HCl，HNO3，H2SO4碱性：碱性：NaOH，KOH2 电解液3 电解液及其特性1）电解液的作用电解液的作用作为导电介质，传递电流作为导电介质，传递电流产生电化学反应产生电化学反应排屑、散热排屑、散热2）对电解液的要求对电解液的要求有有高的导电率高的导电率低粘度和高的导热性来低粘度和高的导热性来保证加工精度和表面质量保证加工精度和表面质量好的化学好的化学性能性能并能阻止工件表面上形成并能阻止工件表面上形成钝化

4、膜钝化膜无无腐蚀性腐蚀性或腐蚀性或腐蚀性小小，无毒，无毒最终产物为不溶性物质，便于排屑最终产物为不溶性物质，便于排屑较好的经济性较好的经济性金属的钝化和活化金属的钝化和活化 阳极钝化：在电解加工中，使金属阳极溶解过程的超电位升高和电解速度减慢的现象。金属钝化的原因，主要有成相理论和吸附理论两种。成相理论认为，金属与溶液作用后在金属表面上形成了一层紧密的极薄的膜，通常是由氧化物、氢氧化物或盐组成，从而使金属表面失去了原来具有的活泼性质，使溶解过程减慢。吸附理论认为，金属的钝化是由于金属表面形成了氧的吸附层引起的。金属的活化：使金属钝化膜破坏的过程称为活化。引起活化的因素很多，例如：把溶液加热，通

5、入还原性气体或加入某些活性离子等等，也可以采用机械办法破坏钝化膜，电解磨削就是利用了这一原理。例：例：NaCl电解液电解液特点：特点：易溶解、电离度高易溶解、电离度高导电性好导电性好含有活化含有活化Cl-离子离子钝化膜小钝化膜小适应面广、价廉适应面广、价廉杂散腐蚀杂散腐蚀严重，复制精度差严重，复制精度差11 电解加工中常用的电解液有NaCl、NaNO3和NaClO3三种溶液。下面仅介绍用10%20%的氯化钠水溶液作电解液加工低碳钢时的主要化学反应：水溶液 H2 O H+OH-工件阳极反应 Fe 2e Fe+Fe+2OH-Fe(OH)24Fe（OH）2+2H2O+O2 4Fe（OH）3（黄褐色沉

6、淀）（黄褐色沉淀）（墨绿色的絮状物（墨绿色的絮状物）12 工具阴极反应 2H+2e H2 从以Fe+上反应可以看出，在电解加工过程中，由于外电源的作用，阳极铁不断失去电子，以Fe+的形式与水溶液中的负离子化合生成Fe(OH)2而沉淀；阴极不断得到电子，与水溶液中的H+结合而游离出氢气。在电解过程中，工件阳极和水不断消耗，而工具阴极和氯化钠并不消耗。按照电极反应的基本原理，按照电极反应的基本原理，电极电位最正的离子将首先电极电位最正的离子将首先在阴极反应。在阴极反应。因此，在阴极上只会析出氢气，而不可能沉因此，在阴极上只会析出氢气，而不可能沉淀出钠。淀出钠。4、影响电解加工生产率的因素 电解加工

7、的生产率，以单位时间内去除的金属量来衡量，用mm3/min或g/min表示。（1）电流密度对生产率的影响）电流密度对生产率的影响 影响电解加工生产率的因素很多，归纳起来主要有两影响电解加工生产率的因素很多，归纳起来主要有两个方面，即个方面，即电量电量和和加工间隙加工间隙。法拉第电解规律：法拉第电解规律：电解时电极上溶解或析出物质的量（质量或是体积）与电解电流大小电解时电极上溶解或析出物质的量（质量或是体积）与电解电流大小和电解时间成正比，亦与电量成正比。和电解时间成正比，亦与电量成正比。蚀除速度：蚀除速度与电流密度成正比，电流速度越高，生产率也越高。平均电流速度为10100A/cm2。当电解液

8、流速较高时，可以选用较高的电流密度。电流密度越高，生产率越高，但在增加电流密度的电流密度越高，生产率越高，但在增加电流密度的同时，电压也随着增高，因此应以不击穿加工间隙、同时，电压也随着增高，因此应以不击穿加工间隙、引起火花放电、造成局部短路为度。引起火花放电、造成局部短路为度。实际的电流强度取决与电源电压、电极间隙、及电解液的导电率。（2）加工间隙对生产率的影响）加工间隙对生产率的影响 一般来说，加工间隙越小，电解液的电阻越小，电流密度越大，蚀除一般来说，加工间隙越小，电解液的电阻越小，电流密度越大，蚀除速度也就越高。速度也就越高。蚀除速度蚀除速度Va与电极间隙与电极间隙成反比：成反比：Va

9、=C/。其中其中C称之为双曲线常称之为双曲线常数。数。平衡间隙平衡间隙：端面平衡间隙端面平衡间隙b指指在电解加工中，加电解加工中，加工 过 程 达 到 稳 定工 过 程 达 到 稳 定时，两极之间的间时，两极之间的间隙。隙。但间隙太小会引起火花放电或间隙通道内电解液流动但间隙太小会引起火花放电或间隙通道内电解液流动受阻、蚀除物排除不畅，以至产生局部短路，反而使受阻、蚀除物排除不畅，以至产生局部短路，反而使生产率下降，因此间隙较小时应加大电解液的流速和生产率下降，因此间隙较小时应加大电解液的流速和压力。压力。1、优点电解加工与其他加工方法相比较，它具有下列特点:1）加工范围广，能加工各种硬度和强

10、度的材料。只要是金属，不管其硬度和强度多大，都可加工。2）生产率高，约为电火花加工的510倍，在某些情况下，比切削加工的生产率还高，且加工生产率不直接受加工精度和表面粗糙度的限制。3）表面质量好，电解加工无切削力和切削热，不产生残余应力和热变形，又没有飞边、刀痕和毛刺。在正常情况下，表面粗糙度Ra可达0.21.25 m。4）阴极工具在理论上不损耗，基本上可长期使用。5）不需要复杂的成型运动就可以加工复杂的空间曲面，且不会像传统机械加工那样，留下条纹痕迹。2.3.2 电解加工电解加工的特点及应用的特点及应用 2、主要缺点和局限性、主要缺点和局限性 1）不能加工非导电材料，较难加工窄缝、小孔及尖角

11、。2）复杂加工表面的电极工具的设计和修正比较麻烦，不利于单件小批量生产。3）电解加工的附局设备较多，占地面积较大，机床要有足够的刚性和防腐性能，造价高。4）电解产物需进行妥善处理，否则将污染环境。3、电解加工的选用原则、电解加工的选用原则 适用于难加工材料的加工；适用于相对复杂形状零件的加工；适用于批量大的零件加工。一般认为，三原则均满足时，相对而言选择电解加工比较合理。4、电解加工的三个条件 （1）工具与工件之间接上直流电源；（2）工具与工件之间保持较小的间隙；（3）工具与工件之间注入高速流动的电解液。5、电解加工的应用22 目前电化学加工主要用于：(1)复杂三维曲面的端面和外圆加工；(2)

12、刻模，特别是深窄的槽和孔；(3)靠模加工和特殊形状仿形；(4)多孔加工；(5)拉孔；(6)去毛刺；(7)磨削；(8)珩磨；(9)切断。4.3 电解磨削电解磨削 1、加工原理及特点 （1）加工原理 电解磨削是电解加工的一种特殊形式，是靠金属的溶解(占95%98%)和机械磨削(占2%5%)的综合作用来实现加工的。电流从工件3通过电解液5而流向磨轮，形成通路，于是工件(阳极)表面的金属在电流和电解液的作用下发生电解作用(电化学腐蚀)，被氧化成为一层极薄的氧化物或氢氧化物薄膜4，一般称它为阳极薄膜。但刚形成的阳极薄膜迅速被导电砂轮中的磨料刮除，在阳极工件上又露出新的金属表面并被继续电解。这样，由电解作

13、用和刮除薄膜的磨削作用交替进行，使工件连续地被加工，直至达到一定的尺寸精度和表面粗糙度。（2）电解磨削与普通电解的比较 p相同点阳极溶解机理相同。p不同点阳极钝化膜的去除原理不同。电解磨削中，阳极钝化膜的去除是靠磨轮的机械加工去除的，电解液腐蚀力较弱；一般电解加工中的阳极钝化膜的去除，是靠高电流密度去破坏（不断溶解）或靠活性离子（如氯离子）进行活化，再由高速流动的电解液冲刷带走的。加工范围广，加工效率高。加工精度和表面质量高。砂轮的磨损量小。但电解磨削的机床、夹具等需采取防蚀防锈措施，还需增加吸气、排气装置；而且需要直流电源、电解液过滤、循环装置等附属设备；此外，加工刀具刃口不易磨得非常锋利。

14、（3）与机械磨削的比较（4）电解磨削特点1）磨削力小，生产率高。这是由于电解磨削具有电解加工和机械磨削加工的优点。2）加工精度高，表面加工质量好。因为电解磨削加工中，一方面工件尺寸或形状是靠磨轮刮除钝化膜得到的，故能获得比电解加工好的加工精度；另一方面，材料的去除主要靠电解加工，加工中产生的磨削力较小，不会产生磨削毛刺、裂纹等现象，故加工工件的表面质量好。3）设备投资较高。其原因是电解磨削机床需加电解液过滤装置、抽风装置、防腐处理设备等。电解磨削广泛应用于平面磨削、成型磨削和内外圆磨削。下图（a）、（b）分别为立式平面磨削、卧式平面磨削的示意图。图（c）为电解成型磨削示意图，其磨削原理是将导电

15、磨轮的外圆圆周按需要的形状进行预先成型，然后进行电解磨削。（a）（b）（c）电解磨削示意图(a)(b)213451绝缘层；2磨轮；3喷嘴；4工件；5加工电源2、电解磨削的应用附加内容：附加内容：电铸加工电铸加工 1、电铸加工原理及特点 （1）成型原理）成型原理 与电镀原理相似，电铸成型是利用电化学过程中的阴极沉积现象来进行成型加工的，即在原模上通过电化学方法沉积金属，然后分离以制造或复制金属制品。但电铸与电镀又有不同之处，电镀时要求得到与基体结合牢固的金属镀层，以达到防护、装饰等目的。而电铸则要电铸层与原模分离，其厚度也远大于电镀层。电铸原理如图4-49所示，在直流电源的作用下，金属盐溶液中的

16、金属离子在阴极获得电子而沉积在阴极原模的表面。阳极的金属原子失去电子而成为正离子，源源不断地补充到电铸液中，使溶液中的金属离子浓度保持基本不变。当母模上的电铸层达到所需的厚度时取出，将电铸层与型芯分离，即可获得型面与型芯凹、凸相反的电铸模具型腔零件的成型表面。图4-49 电铸原理图 1-电镀槽；2-阳极；3-直流电源；4-电镀层；5-原模（阴极）；6-搅拌器；7-电铸液；8-过滤器；9-泵；10加热器能准确、精密地复制复杂型面和细微纹路，表面粗糙度Ra可达0.1 m，一般不需抛光即可使用。原模材料不限于金属，可以是石膏、石蜡和环氧树脂等，有时还可用制品零件直接作为母模。表面硬度可达3550HR

17、C，所以电铸型腔使用寿命长。电铸可获得高纯度的金属制品，如电铸铜，它纯度高，具有良好的导电性能，十分有利于电加工。（2）特点）特点电铸时，金属沉积速度缓慢，制造周期长。如电铸镍，一般需要一周左右。电铸层厚度不易均匀，且厚度较薄，仅为48 mm左右。电铸层一般都具有较大的应力，所以大型电铸件变形显著，且不易承受大的冲击载荷。这样，就使电铸成型的应用受到一定的限制。（1）电铸槽电铸槽 电铸槽材料的选取以不与电解液作用引起腐蚀为原则。一般用钢板焊接，内衬铅板或聚氯乙烯薄板等。（2）直流电源直流电源电铸采用低电压大电流的直流电源。常用硅整流，电压为612 V左右，并可调。2、电铸设备 电铸设备主要包括

18、电铸槽、直流电源、搅拌和循环过滤系统、恒温控制系统等。（3）搅拌和循环过滤系统）搅拌和循环过滤系统为了降低电铸液的浓差极化，加大电流密度，减少加工时间，提高生产速度，最好在阴极运动的同时加速溶液的搅拌。搅拌的方法有循环过滤法、超声波或机械搅拌等。循环过滤法不仅可以使溶液搅拌，而且在溶液不断反复流动时进行过滤。（4）恒温控制系统）恒温控制系统 电铸时间很长，所以必须设置恒温控制设备。它包括加热设备（加热玻璃管、电炉等）和冷却设备（冷水或冷冻机等）。3、电铸加工的工艺过程及要点 （1）主要工艺过程）主要工艺过程原模表面处理电铸过程衬背和脱模处理清洗干燥成品 原模表面处理：金属材料进行钝化处理，非金

19、属材料进行导电化处理。电铸过程：时间较长，电流密度不能太大。衬背处理：塑料模具和印刷电路板。脱模处理：敲击锤打，加热或冷却胀缩分离，薄刀刃剥离，化学溶解，加热熔化等。（2）电铸过程要点）电铸过程要点 溶液必须连续过滤。必须搅拌电铸镀液，降低浓差极化。为使电铸件厚薄均匀，凸出部分应加屏蔽，凹入部位要加装辅助阳极。要严格控制镀液成分、浓度、酸碱度、温度、电流密度等。2.4 超声波加工 1 1超声波加工的原理与特点超声波加工的原理与特点 1)1)加工原理加工原理加工力工具工件振动方向磨料工作液工具振幅 超声波加工原理图 超声波加工是利用工具端面的超声振动，通过磨料悬浮液加工脆硬材料的一 种成型方法，

20、加工原理如图2-5所示。加工时，在工具头9和工件11之间加入 磨料悬浮液13，同时使工具以一定的力作用在工件上。超声换能器1产生16kHz 以上超声波的纵向振动，并通过变幅杆4(连接换能器锥体6)把振幅放大到 0.05-0.1mm。驱动工具端面作超声振动，迫使磨料悬浮液中的磨粒以很大的加速度和速度不断地锤击、冲击被加工表面，使工件材料被加工下来。与此同时，工作液受工具端面的超声振动作用而产生的高频、交变的液压正负冲击波和“空化”作用，加剧了机械破坏作用。超声加工是基于局部的撞击作用，因此就不难理解，愈是脆硬的材料，受到的破坏愈大。相反，脆性和硬度不大的韧性材料则难以加工。因此，可以选择合理工具

21、材料，如用45钢就是一种比较理想的超声加工工具。超声波加工的特点：1)适合于加工各种硬脆材料，特别是不导电的非金属材料，例如玻璃、陶 瓷(氧化铝、氮化硅等)、石英、锗、硅、石墨、玛瑙、宝石、金刚石等。对于导电的硬质金属材料，如淬火钢、硬质合金等，也能进行加工，但加工生产率较低。2)由于工具可用较软的材料，做成较复杂的形状，故不需要使工具和工件作比较复杂的相对运动，因此超声加工机床的结构比较简单，操作、维修 方便。3)由于去除加工材料是靠极小磨料瞬时的局部撞击作用，故工件表面的宏观切削力很小，切削应力、切削热很小，不会引起变形及烧伤，表面粗糙度也较 低，可达Ra=101m，加工精度可达00100

22、2mm，而且可以加工薄壁、窄缝、低刚度零件。2 超声波加工设备超声波加工设备又称超声加工装置，它们的功率大小和结构形状虽有所不同，但其组成部分基本相同，一般包括超声发生器、超声振动系统、机床本体和磨料工作液循环系统。其主要组成如下：（1）超声波发生器 超声波发生器的作用是将工频交流电转变为有一定功率输出的超声频振荡，以提供工具端面往复振动的机械能。其基本要求是：可靠性好、效率高、结构简 单、成本低；其次是功率和频率在一定范围内连续可调，对共振频率有自动跟踪和自动微调功能。图2-33中4、5、6为声学组件，安装在一根能上下移动的导轨上，导轨由上下两组滚动导轮定位，使导轨能灵活精密地上下移动。工具

23、的向下进给及对工件施加压力靠声学组件的自重，为了能调节压力大小，在机床后部可改变平衡砝码的重量，也有采用弹簧或液压等其他方法。2.2.超声波加工设备超声波加工设备 1)高频发生器 2)声学部件 (a)锥形(b)指数形(c)阶梯形几种形式的变幅杆几种形式的变幅杆3)机床和磨料工作液 2）机床及磨料工作液。工作液的空化作用对超声加工是非常重要的。工作液还起着传递振动、冷却 (有效地带走切削区的热量)、输送磨料、清除钝化的磨料和切屑等作用。常用的工作液为水。为了提高表面质量，有时也使用煤油或机油。2.4.3超声波加工的基本工艺规律1、超声波加工速度及其影响因素 加工速度又称材料去除率，是指单位时间内

24、去除材料的多少，单位用gmin或mm3min表示。影响加工速度的主要因素有：工具振动频率、振幅、工具和工件之间的静压力、磨料的种类和粒度、悬浮液的浓度、供给及循环方式、工具与工件材料、加工面积和深度等。(1)工具的振幅和频率的影响 一般认为随振幅的增大和频率的提高使加工速度增加；但这样会降低声学系统的使用寿命，同时表面粗糙度也增大。因此，在超声加工中；一般控制振幅在00101mm，频率在1625kHz之间。(3)施加静载荷的影响 切削速度随作用在工具上的静载荷的增加，而达到最大值。极值点随着振动的振幅和工具的横截面积的变化而 移动。实验发现，表面粗糙度很少受到静载荷的影响。与预期的相反，用高的

25、载荷没有产生较大的表面粗糙度。实际上，由于高载荷把颗粒压碎成小粒度，故表面粗糙度得到改善。(3)磨粒直径的影响 磨粒的大小，决定了超声波加工中型腔轮廓的精度。由于磨料沿着孔的侧面向工具的底面流动，所以加工出的孔要比工具大些。为了获得精确和良好的表面 粗糙度，最好是使用一套工具和不止一种尺寸等级的磨料，其等级如下：1级 小于实际尺寸的工具，高的频率，粗的磨粒。2级 小于实际尺寸的工具，高的频率，较细的磨粒。3级 与实际尺寸一样大小的工具，低的频率，很细的磨粒。(4)悬浮液浓度、工具材料和工件材料的影响 增加悬浮液的浓度可以提高切削速率。尼皮勒斯和福斯克特已经提出了材料和磨料特性对材料切除速率的影

26、响的详细资料。尼皮勒斯进一步确定了，当悬浮液混合物的磨料和水的体积分数为 3040时，就产生饱和现象(图236)。实验结果指出，材料切除速率随粘度的增加而急剧下降。悬浮液压入切削区的压力，对材料切除速率有显著的影响。彭特兰观察到在超声波钻孔时，随着改善悬浮液的循环，可使金属切除速率成倍地增长。增大压 送悬浮液的压力，材料切除速率甚至可增加十倍。工具表面的形状，也影响切削速率的最大值。窄的矩形工具，比相同的横截面积的正方形工具会产生更大的最大切削速率。梅特耳金(Metelkin)的研究结果指出，用圆锥形的工具来取代柱形的工具，切削速率增加50。工件材料的脆性，在确定切削速率方面是重要的。脆性的非

27、金属材料，可用比韧性材料更高的切削速率切割。2.4.3 超声波加工的基本工艺规律（1）加工速度及其影响因素1）工具的振幅和频率的影响：采用大的振幅和高的频率可以获得大的加工能量，加工速度增加；2）进给压力的影响：压力过小，工具末端与工件加工表面之间的间隙增大，减少了磨粒对工件的撞击；压力过大，会使工具与工件加工表面之间的间隙减小，磨粒和工作液不能顺利循环更新，二者都会导致生产率下降；3）磨料种类和粒度的影响：磨粒硬度越大，加工速度越大，磨粒粒度越粗，加工速度越快，精度和表面粗糙度越差；4）磨料悬浮液浓度的影响：磨粒悬浮液磨粒浓度低，加工间隙内磨粒少，加工速度下降；随着悬浮液磨粒浓度增加，加工速

28、度增加；但浓度太高时，磨料在加工区域的循环运动和对工件的撞击运动受到影响，又会导致加工速度降低。一般采用浓度为磨料对水的质量比为0.5-1之间；5）工件材料的影响：材料越脆，则收成冲击载荷的能力越低，越容易加工；反之韧性较好的材料则不易加工。(2)加工精度及其影响因素 超声波加工的精度，除受机床、夹具精度影响之外，主要与磨料粒度、工具精度及其磨损程度、工具在横向振动的大小、加工深度、被加工材料性质等因素有关。加工孔的尺寸精度一般为0.020.05 mm。(3)表面质量及其影响因素 超声波加工具有较好的表面质量，不会产生表面烧伤和表面变质层。超声波加工的表面粗糙度值也较小，一般可达Ra=10.1

29、m。超声波加工的表面粗糙度取决于每颗磨粒每次撞击工件表面后留下的凹痕大小，它与磨粒的直径、被加工材料的性质、超声波振动的振幅以及磨料悬浮工作液的成分等有关。3 超声波加工的应用超声波加工的应用超声加工虽然生产率较低，但其加工精度、表面粗糙度都比较好，而且能加工半导体、非导体的脆硬材料如玻璃、石英、宝石、玉石、钨及合金、玛瑙、金刚石等，除此之外，如宝石轴承、拉丝模、喷丝头还可以用于超声抛光、光整加工、复合加工，也可用于清洗、焊接、医疗、电镀、冶金等许多方面，超声加工目前在各工业部门中主要用于对脆硬材料加工圆孔、型孔、型腔、套料、微细孔等，如图2-39所示。1、型孔、型腔加工、型孔、型腔加工(a)

30、加工圆孔(b)加工型腔(c)加工异形孔(d)套料加工(e)加工微细孔2、切割加工用普通机械加工切割脆硬的半导体材料是很困难的，采用超声切割则较为有效。图2-40为用超声加工法切割单晶硅片示意图。用锡焊或铜焊将工具(薄钢片或磷青铜片)焊接在变幅杆的端部。加工时喷注磨料液，一次可以切割1020片。图2-41所示为成批切槽(块)刀具，它采用了一种多刃刀具，即包括一组厚度为0.127mm的软钢刃刀片，间隔1.14mm，铆合在一起，然后焊接在变幅杆上。刀片伸出的高度应足够在磨损后可作几次重磨。在最外边的刀片应比其他刀片高出0.5mm，切割时插入坯料的导槽中，起定位作用。加工时喷注磨料液，将坯料片先切割成

31、1mm宽的长条。然后将刀具转过90，使导向片插入另一导槽中，进行第二次切割以完成模块的切割加工。3、超声清洗超声清洗的原理主要是基于超声频振动在液体中产生的交变冲击波和空化作用。超声波在清洗液(汽油、煤油、酒精、丙酮或水等)中传播时，液体分子往复高频振动产生正负交变的冲击波。当声强达到一定数值时，液体中急剧生长微小空化气泡并瞬时强烈闭合，产生的微冲击波使被清洗物表面的污物遭到破坏，并从被清洗表面脱落下来。即使是被清洗物上的窄缝、细小深孔、弯孔中的污物，也很容易清洗干净。超声波清洗装置1234567891清洗槽；2变幅杆；3压紧螺钉；4压电陶瓷换能器；5镍片()；6镍片()；7接线螺钉；8垫圈；9钢垫块1、简述电解加工的基本原理。2、电解加工时的电极间隙与电火花加工时的电极间隙在特性上有何不同？3、什么叫混气电解加工，它有哪些优缺点？4、简述电解磨削的基本原理和特点。