无尘室设计规范课件.ppt
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- 无尘室 设计规范 课件
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1、0無塵室设计規範资料整理:资料整理:金田净化金田净化 顯示器實務顯示器實務1無塵室之定義與應用:1.無塵室之簡介n利用不發塵建材、阻塵設施、空調設備與空間設計,將室內空間作溫度、濕度、氣體流、氣壓及微塵粒子之控制,而達到特殊應用需求之作業或研究場所,稱之為無塵室或清淨室(Clean Room)n無塵室除了在IC半導體、光電與TFT-LCD等高科技產業應用之外,生醫科技、食品加工業、精緻農業與航太產業也需利用清淨室場所以達到品管之要求,唯所需之無塵室等級不同。基因實驗室食品加工業醫療衛生生物科技精緻農業國家太空中心 友達TFT-LCD廠2無塵室之規格1.無塵室之簡介潔淨室依等級之不同,對一定空間
2、內的微塵粒子最大容許量有一共通規範,在國際標準中最常用的規範有Fed-Std-209E及ISO-14644,以Fed-Std-209E的等級規範定義為例:3無塵室之規格1.無塵室之簡介NDL/class 10CIS/class 100繼開科技/class 100004無塵室之種類1.無塵室之簡介無塵室依等級的不同而在氣流設計上會有所區別,一般可分為垂直層流方式(Class 1100)、水平層流方式(Class 11,000)、亂流方式(Class 1,000100,000),其詳細區分如下表:5無塵室之種類1.無塵室之簡介Air flow systemItemDown flowCross fl
3、owMixed flowConventional flowTunnel cleanAir flow system Construction costHighMiddleMiddleLowMiddleRunning costHighMiddleMiddleLowLowFlexibilityEasyDifficultMiddleEasyDifficult垂直層流方式水平層流方式非層流方式遂道方式清淨度11001001,000100,0001100生產時清淨度作業者的影響少上流的發塵對下流有影響作業者的影響大作業者的影響最少設備費高中低中運轉費高中低中生產配置變更容易困難容易困難增設困難困難比較容易
4、比較容易6無塵室之種類1.無塵室之簡介Conventional(hard wall)Soft wall Module type 7無塵室在IC與TFT-LCD產業之必要性1.無塵室之簡介粉塵掉落至IC之線路中會造成IC元件之短路或斷路粉塵掉落很容易使單片之LCD面板良率大幅降低8無塵室設計考量2.無塵室設計考量1.粉塵之阻止2.溫度與溼度控制3.人員動線4.儀器設備位置與移機動線5.噪音防止6.靜電與電磁防止7.震動問題8.安全設施9無塵室空間規畫府視圖2.無塵室設計考量1.人員動線2.儀器設備位置與移機動線微修區黃光工程區薄膜工程區乾蝕刻製程區機台移入/出平區參觀走道緊急出口走道機具設備拆解
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