无尘室ESD防护架构课件.ppt

1、5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎南京廠ESD防護LEADER:靖儒偉副理 MEMBERS:潘劍峰課長 張舜華組長 趙強 RADIANT NANJING CO.,LTD.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎目錄一:南京廠ESD組織編成 二:靜電的介紹 三:南京廠ESD防靜電對策 四:ESD防護檢測&管理 RADIANT NANJING CO.,LTD.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎RADIANT NANJING CO.,LTD.ESD Team Leader生產技術:靖儒偉品質品質黃義雄(品保經理)工務課工務課張明琨 副理背光板廠背光板廠靖儒偉/吳明璋(副理)趙

2、強（工程師）侍永超（班長）李海龍 組長資訊課資訊課许富浓(副理)劉中俊 組長許偉（組長）郭唐谷(副理)李超（工程師）開發課開發課ESD 小組 監督/點檢成效執行單位 無塵室/機房 整體接地防護 ESD 小組 監督/點檢成效執行單位 ESD 小組 監督/點檢成效執行單位 提供 ESD 相關教育訓練資料 一:南京廠ESD組織編成 5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎二:靜電的介紹 所謂靜電所謂靜電,主要是指伴隨兩個物體的接觸和分離等力學運動主要是指伴隨兩個物體的接觸和分離等力學運動,本來本來是中性的物體是中性的物體,呈現往正或負某一方偏移的狀態的電荷呈現往正或負某一方偏移的狀態的電荷 已產

3、生的靜電在物體上蓄積稱之為靜電帶電已產生的靜電在物體上蓄積稱之為靜電帶電 靜電帶電現象有多種靜電帶電現象有多種,代表性的如摩擦帶電代表性的如摩擦帶電,剝離帶電及誘導帶電剝離帶電及誘導帶電RADIANT NANJING CO.,LTD.何為靜電何為靜電5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎 兩個物體摩擦產生靜電兩個物體摩擦產生靜電.特別是絕緣體之間更容易產生靜電並很難除掉特別是絕緣體之間更容易產生靜電並很難除掉.以下為摩擦帶電序列呈現正或負電的傾向性以下為摩擦帶電序列呈現正或負電的傾向性RADIANT NANJING CO.,LTD.摩擦摩擦帶電帶電5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心

4、引擎在剝離密切貼附的物體時會在剝離密切貼附的物體時會產產生靜電生靜電,如撕膜作業時如撕膜作業時產產生的靜電生的靜電RADIANT NANJING CO.,LTD.剝離剝離帶電帶電5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎RADIANT NANJING CO.,LTD.誘導帶電誘導帶電帶電物體附近有帶電物體附近有絕絕緣導體時緣導體時,受靜電誘導的電荷分布不均會導致導體受靜電誘導的電荷分布不均會導致導體帶電帶電5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎靜電產生的危害靜電產生的危害1.1.人體的電擊人體的電擊 因人體靜電而發生電擊因人體靜電而發生電擊,是由於從帶電人體往接地的導體或是從帶電物是由

5、於從帶電人體往接地的導體或是從帶電物體向人體釋放靜電時產生的放電電流而導致的體向人體釋放靜電時產生的放電電流而導致的RADIANT NANJING CO.,LTD.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎2.2.生產危害生產危害 因靜電產生的靜電能量會損傷電子部品的半導體元件因靜電產生的靜電能量會損傷電子部品的半導體元件,從而導致工程不從而導致工程不良品的產生良品的產生(半導體元件處於破壞狀態卻透過了檢查半導體元件處於破壞狀態卻透過了檢查,對於顧客來說對於顧客來說,拿拿到這樣的產品就變成市場不良到這樣的產品就變成市場不良)另外另外,由靜電產生的電磁波由靜電產生的電磁波(噪音噪音)的影響的影

6、響,計測機等電子儀器就可能產生計測機等電子儀器就可能產生誤差誤差RADIANT NANJING CO.,LTD.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎人體周遭的靜電源人體周遭的靜電源 1.1.絲絲.是天然材料中最能產生靜電的物品是天然材料中最能產生靜電的物品,如頭巾如頭巾,內衣內衣,罩衫罩衫,裙子等裙子等 2.2.鍍層加工製品鍍層加工製品,如褲子如褲子,套裝等進行潑水處理加工時套裝等進行潑水處理加工時 3.3.合成纖維合成纖維,所有的纖維都會產生靜電所有的纖維都會產生靜電RADIANT NANJING CO.,LTD.人体人体帶電帶電 人體帶電人體帶電,沒有進行人體靜電對策沒有進行人體靜

7、電對策(防帶電作業服防帶電作業服,靜電鞋靜電鞋,靜電手環等靜電手環等)時時,一般的動作可以帶上數千伏的電一般的動作可以帶上數千伏的電 人體帶電時人體帶電時,如不穿靜電手環如不穿靜電手環,靜電服進行作業的話靜電服進行作業的話,將會在不知不覺中將會在不知不覺中對半導體造成破壞對半導體造成破壞5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎導電性的基準導電性的基準RADIANT NANJING CO.,LTD.導體與絕緣體導體與絕緣體導體導體 金屬等的物體固有阻值很低金屬等的物體固有阻值很低,具有電荷易流動的性質具有電荷易流動的性質.靜電產生時靜電產生時,若接若接 地的話電荷就會很快的流走地的話電荷就會

8、很快的流走絕緣體絕緣體 塑膠和乙烯等的物體固有阻值比較高塑膠和乙烯等的物體固有阻值比較高,具有電荷難流動性具有電荷難流動性.產生靜電時產生靜電時,即時接地電荷夜不會流走即時接地電荷夜不會流走,處於帶電狀態處於帶電狀態 人體本身也是很好的導體人體本身也是很好的導體5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎RADIANT NANJING CO.,LTD.導電性的基準5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎三:南京廠ESD防靜電對策1.1.作業環境作業環境 首先工廠生產車間確保均設定靜電對策用接地線首先工廠生產車間確保均設定靜電對策用接地線,且與設備用接地線分且與設備用接地線分離離,單獨鋪設單

9、獨鋪設 作業台及作業椅子等工程內使用物品連接接地線作業台及作業椅子等工程內使用物品連接接地線,確保靜電的釋放路徑確保靜電的釋放路徑RADIANT NANJING CO.,LTD.實驗結果顯示如果濕度能控制在實驗結果顯示如果濕度能控制在50%60%50%60%左右就能大幅有效防止靜電的左右就能大幅有效防止靜電的產生產生,所以生產車間均有溫濕度管控所以生產車間均有溫濕度管控生產線溫濕度管控表生產線溫濕度管控表 5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎2.2.作業者作業者 通常情況下通常情況下,人體和椅子及衣服的摩擦等會產生數千伏的帶電人體和椅子及衣服的摩擦等會產生數千伏的帶電,防帶電防帶電作業

10、服可以抑制帶電作業服可以抑制帶電,並且靜電可以透過靜電手環接地並且靜電可以透過靜電手環接地,不對半導體等不對半導體等放電放電 產線作業員穿戴防靜電作業服產線作業員穿戴防靜電作業服,佩戴靜電手環佩戴靜電手環RADIANT NANJING CO.,LTD.穿戴防靜電作業服穿戴防靜電作業服 佩戴靜電手環佩戴靜電手環 5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎3.3.部品收納部品收納 除以上對作業者的防靜電管控外除以上對作業者的防靜電管控外,對半成品對半成品,成品的收納採用抗靜電袋成品的收納採用抗靜電袋收納收納RADIANT NANJING CO.,LTD.抗静电袋收纳产品鋁包裝袋5 4 3 2 1

11、 创创造核心引擎造核心引擎4 4 生產線設備與儀器生產線設備與儀器RADIANT NANJING CO.,LTD.生產線設備生產線設備,儀器的靜電對策基本與作業椅相同儀器的靜電對策基本與作業椅相同.設備與設備用設備與設備用 接地線連接接地線連接,治具儀器與靜電對策用接地線相連接治具儀器與靜電對策用接地線相連接.生產線設備生產線設備 生產線工作桌的接地生產線工作桌的接地5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎鋪設抗靜電桌墊鋪設抗靜電桌墊RADIANT NANJING CO.,LTD.接地間電阻規格：接地間電阻規格：7.5 7.5 10 E51.0 10 E51.0 10 E9 (IEC 61

12、340)10 E9 (IEC 61340)5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎 作業椅防靜電作業椅防靜電使用防靜電椅作業使用防靜電椅作業,輪子直接著地輪子直接著地,並可以透過鏈子接觸地面的接地線並可以透過鏈子接觸地面的接地線防靜電作業椅表面阻值量測防靜電作業椅表面阻值量測RADIANT NANJING CO.,LTD.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎5.5.生產線儀器生產線儀器 生產線正常生產產品的過程中生產線正常生產產品的過程中,使用到以下設備有離子風扇使用到以下設備有離子風扇,離子風槍離子風槍,恆流源等恆流源等RADIANT NANJING CO.,LTD.生產線組裝環

13、境是在生產線組裝環境是在離子風扇吹拭環境下離子風扇吹拭環境下離子風槍吹拭單部材離子風槍吹拭單部材等等點燈製具使用恆流源點燈製具使用恆流源5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎生產線使用的治具生產線使用的治具,如點燈治具如點燈治具,設計時亦是選用樹脂板等難產生靜電設計時亦是選用樹脂板等難產生靜電的材料的材料.RADIANT NANJING CO.,LTD.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎 TVTV生產線使用的治具生產線使用的治具,電烙鐵電烙鐵 電動螺絲刀需確保不得有向部品漏電之情電動螺絲刀需確保不得有向部品漏電之情形，導致形，導致INVERTER PCBINVERTER PCB

14、板上電子零件損壞。板上電子零件損壞。RADIANT NANJING CO.,LTD.目的為了防止電氣螺絲刀向部品漏電.實施順序 1)從電氣螺絲刀的平型插銷引出接地線接地.要點1)接地線應纏繞固定,不要散開.2)注意不要應漏電而導致部品破壞.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎四:ESD防護檢測&管理 車間正常生產車間正常生產,靜電對策確認勢在必行靜電對策確認勢在必行,如靜電手環如靜電手環,由於是極易斷線和由於是極易斷線和發生導通不良的物品發生導通不良的物品,所以必須每天進行確認所以必須每天進行確認.對此對此,南京廠製定了一系列的儀器治具點檢及車間作業人員必須遵守南京廠製定了一系列的儀器

15、治具點檢及車間作業人員必須遵守的各項規定的各項規定.RADIANT NANJING CO.,LTD.1.1.離子風扇性能檢測離子風扇性能檢測 定期對生產線所有使用的離子風扇性能進行定期對生產線所有使用的離子風扇性能進行CHECK,CHECK,50551測試表50554電極板高壓產生器離子風扇定期點檢5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎2.2.其他生產部材的點檢其他生產部材的點檢生產中生產中,為確認各種部材帶電以及防靜電對策的效果為確認各種部材帶電以及防靜電對策的效果,使用使用靜電測試儀對生產中使用的無塵服靜電測試儀對生產中使用的無塵服,tray,tray,抗靜電帶進行表面抗靜電帶進行表

16、面帶靜電測定帶靜電測定,同時對作業台同時對作業台,作業椅等進行帶電電位測量作業椅等進行帶電電位測量.RADIANT NANJING CO.,LTD.5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎對無塵服對無塵服,TRAY,TRAY,抗靜電袋進行表面電阻測試抗靜電袋進行表面電阻測試RADIANT NANJING CO.,LTD.重錘式靜電電阻測試儀 D 25.4mm A 50.8mm C 50.8mm B 50.8mm C 25.4mm A 50.8mm B 50.8mm D 25.4mm A 50.8mm C 50.8mm無塵服TRAY鋁袋(抗靜電袋)5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎

17、RADIANT NANJING CO.,LTD.3.靜電手環的檢測靜電手環的檢測 生產現場每日生產前均做靜電手環的點檢生產現場每日生產前均做靜電手環的點檢生產現場靜電手環生產現場靜電手環佩戴規範圖佩戴規範圖 靜電手環電檢器靜電手環電檢器靜電手環點檢表靜電手環點檢表5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎 靜電手環點檢:每日開線前,生產產線班長用靜電手環測試儀按操作說明對人員逐個進行點檢.然後填寫靜電手環點檢表操作SOP點檢表單LOWGOODHIGH靜電手環測試儀人員佩帶後,單手(且不戴任何手套等)按在面板正中央的不鏽鋼彈塊,同時檢查靜電手環上金屬片須接觸到皮膚此時如看到面板上有綠燈亮起,表示此靜電手環是OK的(阻值在800K-9M),如看不到綠燈亮,表示靜電手環NG(阻值低于800K或高于9M),需更換靜電手環測試方式5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎 4.離子風槍點檢 將針等金屬靠近電極,確認是否放電 用乙醇清洗電極RADIANT NANJING CO.,LTD.清洗電極測試電極5 4 3 2 1 创创造核心引擎造核心引擎 以上!TKSRADIANT NANJING CO.,LTD.