真空镀膜技术及应用课件.ppt
- 【下载声明】
1. 本站全部试题类文档,若标题没写含答案,则无答案;标题注明含答案的文档,主观题也可能无答案。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
2. 本站全部PPT文档均不含视频和音频,PPT中出现的音频或视频标识(或文字)仅表示流程,实际无音频或视频文件。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
3. 本页资料《真空镀膜技术及应用课件.ppt》由用户(晟晟文业)主动上传,其收益全归该用户。163文库仅提供信息存储空间,仅对该用户上传内容的表现方式做保护处理,对上传内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知163文库(点击联系客服),我们立即给予删除!
4. 请根据预览情况,自愿下载本文。本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
5. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007及以上版本和PDF阅读器,压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 真空镀膜 技术 应用 课件
- 资源描述:
-
1、真空镀膜技术及应用镀膜常见的分类真空镀膜的历史真空镀膜的定义真空镀膜的方法真空镀膜在光学行业的应用真空镀膜在半导体行业的应用真空镀膜在汽车行业的应用真空镀膜在其他行业的应用真空镀膜的现状常见的真空镀膜机的外形常见的镀膜机的镀膜方式莱宝镀膜机光学镀膜机车灯镀膜机真空蒸镀镀膜机的相关参数真空镀膜机的结构真空镀膜的工艺参数塑料件真空镀膜工艺流程镀膜制品的品质参数主要内容镀膜技术是表面技术的一类.常见的分类:a.湿式镀膜法;b.干式镀膜法.湿式镀膜法可分电镀法、化学镀法.干式镀膜法常称真空镀膜法、气相沉积法。可分为:物理气相沉积(Physical Vapor DepositionPVD),化学气相沉积
2、(Chemical Vapor DepositionCVD)。PVD一般可分为:真空蒸发镀膜、真空溅射(Sputtering)镀膜、真空离子镀膜。按照不同的分类方法每一类又可以分出多种,不再一一细说,重点说明一下真空蒸镀里的电阻加热蒸镀、电子束加热蒸镀、离子束辅助蒸镀和溅射里的磁控溅射镀膜。镀膜常见的分类真空镀膜技术是近30年来迅速发展的一门新技术,应用较早,但受真空技术和其它相关技术的限制,发展速度较慢。直到二战时期,法西斯德国将这一技术服务于战争,制备各种军用光学镜片和反光镜,从而使这一技术在光学工业中得到迅速发展,并且逐渐形成了薄膜光学,成为光学的重要的分支。它不只是真空应用技术,而是综
3、合了物理、化学一系列的新技术的结果。真空镀膜的历史 在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发(或溅射),使其沉积在被涂覆的物体(称基片、基板或基体)上的方法称为真空镀膜法。真空蒸镀简称蒸镀,是在真空条件下,用一定的方法加热镀膜材料(简称膜料)使之气化,并沉积在工件表面形成固态薄膜。以动量传递的方法,用荷能粒子轰击材料表面,使其表面原子获得足够的能量而飞逸出来的过程称为溅射。磁控溅射是一种高溅射速率、低基片加热的溅射技术,称为高速低温溅射技术。离子镀膜技术简称离子镀,离子镀是在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,在气体离子或被蒸发物质离子轰击作用的同时把蒸发物质或其反应产物沉积在基片
4、上。真空镀膜的定义电阻加热蒸镀是用丝状或片状的钨、钼、钽高熔点金属做成适当形状的蒸发源,将膜料放在其中,接通电源,电阻直接加热膜料而使其蒸发,或者把膜料放入Al2O3、BeO等坩埚中进行间接电阻加热蒸发。电子束加热蒸镀是将膜料放入水冷铜坩埚中,利用高能量密度的电子束加热,使膜料熔融气化并凝结在基体表面成膜。为了改善附着力,增加膜的致密性,镀膜前,镀膜过程中辅助离子束进行轰击的镀膜方法称为离子束辅助蒸镀。真空镀膜的方法人们熟悉的光学仪器有望远镜、显微镜、照相机、测距仪,以及日常生活用品中的镜子、眼镜、放大镜等,它们都离不开镀膜技术,镀制的薄膜有反射膜、增透膜和吸收膜等几种。这一类属于传统光学镀膜
展开阅读全文