电子设计自动化技术-绪论课件.ppt
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1、电子设计自动化技术电子设计自动化技术 (EDA技术)技术)Electronics Design Automation哈尔滨工业大学微电子中心哈尔滨工业大学微电子中心1课程任务课程任务课程任务:超大规模集成电路(课程任务:超大规模集成电路(Very Large Scale Integrated CircuitsVLSI)设计自动化方法及工具的基本设计自动化方法及工具的基本原理原理参考书:参考书:1.超大规模集成电路设计方法学超大规模集成电路设计方法学-杨之廉(清华)杨之廉(清华)2.数字系统设计自动化数字系统设计自动化-薛宏熙薛宏熙(清华)(清华)3.ULSI器件、电路与系统器件、电路与系统-李
2、志坚李志坚(清华)(清华)2第一章第一章绪论绪论3本章内容本章内容大规模集成电路技术发展历程大规模集成电路技术发展历程nICIC技术发展:技术发展:wICIC发明发明w摩尔定律摩尔定律w光刻工艺发展光刻工艺发展w其他技术其他技术n生产线发展生产线发展n设计业发展设计业发展4课程内容EDAEDA技术发展技术发展nICIC设计内容设计内容nIC IC 和和 ComputerComputer互相依赖发展互相依赖发展n集成电路设计自动化技术发展集成电路设计自动化技术发展w第一代第一代:CAD:CADw第二代第二代:CAE:CAEw第三代第三代:EDA:EDA:w第四代第四代:VDSM EDA:VDSM
3、 EDA 5IC技术发展晶体管发明晶体管发明1947年,年,Bell Lab.巴丁巴丁.布拉顿,发现布拉顿,发现Ge片上两个探针,当一个片上两个探针,当一个探针电极电流变化,另一个电极电流成探针电极电流变化,另一个电极电流成比例变化比例变化 Ge(Al)SbSb6IC技术发展19481948年年 Bell Lib.Bell Lib.肖肖 克莱从理论上提出两个克莱从理论上提出两个平行平行PNPN结构成结型晶体管的设想结构成结型晶体管的设想19491949年年 Bell Lib.Bell Lib.完成第一个完成第一个PNPPNP晶体晶体管管,1950,1950年制成有良好结性能的生长结晶体管年制成
4、有良好结性能的生长结晶体管19561956年巴丁年巴丁.布拉顿和肖克莱共同获得诺贝尔布拉顿和肖克莱共同获得诺贝尔物理奖物理奖 PNN7IC技术发展技术发展IC IC 发明发明-1958-1958年年 TI TI 公司公司 单管互连单管互连 -1959-1959年年 4 4个晶体管个晶体管 -1961-1961年年 Fairchild Fairchild 公司公司 平面技术(平面技术(1616个晶体管)个晶体管)Moor Moor 定律定律-1965-1965年年 Fairchild Fairchild 公司公司 Moor Moor 提出提出n每一代(每一代(3 3年)硅芯片上的集成密度翻两番。
5、年)硅芯片上的集成密度翻两番。n 加工工艺的特征线宽每代以加工工艺的特征线宽每代以30%30%的的速度缩小。速度缩小。8IC技术发展MSI LSI VLSI ULSI 102-103 103-104 105-107 108MSI(Middle Scale Integration)中规模中规模LSI(Large Scale Integration)大规模大规模VLSI(Very Large Scale Integration)超大规模超大规模ULSI(Ultra Large Scale Integration)特大规模特大规模9 Wafer,Chip,Die,16 Transistors/chi
6、p(61)10IC技术发展在在ITRS(International Technology Roadmap for Semiconductor,国际半导体技术发展路线图国际半导体技术发展路线图)2001版及其版及其2002年修订版中,将年修订版中,将2001-2007年定年定义为近期,而从义为近期,而从2008-2016年定义为远期年定义为远期 11生产年份定义:任意两公司达到每月生产年份定义:任意两公司达到每月1万个元件的生产量万个元件的生产量2 1124 8 3213特征线宽(半节距):特征线宽(半节距):亚微米(小于亚微米(小于1微米)微米)SM(Sub Micron)深亚微米(小于深亚微
7、米(小于0.5微米)微米)DSM(Deep Sub Micron)超深亚微米超深亚微米(小于小于0.25微米)微米)VDSM(Very Deep Sub Micron)14今天一个家庭可能拥有100个CPU,一个汽车达40-50个CPU1516IC技术发展2001年年8月,日本以下一代月,日本以下一代7050nm器件技术开器件技术开发为目标发为目标,开始启动一项开始启动一项 称为称为MIRAI的计划的计划 (Millennium Research for Advanced Informa-tion Technology,新千年先进信息技术研究),新千年先进信息技术研究),20012007年年2
8、013年实现年实现32nm芯片芯片;目前分子、原子器件已有突破。美国科学杂志评目前分子、原子器件已有突破。美国科学杂志评出出2001年十大科技突破:以纳米碳管、纳米导线年十大科技突破:以纳米碳管、纳米导线为基础的逻辑电路及使用一个分子晶体管的可计为基础的逻辑电路及使用一个分子晶体管的可计算电路算电路氢原子的直径为氢原子的直径为1=1/10nm 最近报道已制出最近报道已制出4nm复杂分子,具有开关特性复杂分子,具有开关特性 17IC技术发展光刻工艺发展光刻工艺发展Photolithography(photo light process)n超微细光刻技术超微细光刻技术:采用分辨率增强技术;光学光刻
9、的采用分辨率增强技术;光学光刻的极限分辨率可以达到波长的极限分辨率可以达到波长的1/2。n因为光学光刻材料可达到的深紫外波为因为光学光刻材料可达到的深紫外波为193nm和和157nm,即光学光刻极限为即光学光刻极限为 0.1-0.07 微米微米 n 目前利用光刻胶的减量应用和边墙的剖面控制等目前利用光刻胶的减量应用和边墙的剖面控制等多种方法来使有效栅长最小化,可达到多种方法来使有效栅长最小化,可达到0.450.45微米微米,但对光刻胶、光刻工艺的(刻蚀控制等)的要求更但对光刻胶、光刻工艺的(刻蚀控制等)的要求更高。成本还不能太高。高。成本还不能太高。18IC技术发展n根据判断,世界微电子制造技
10、术将在根据判断,世界微电子制造技术将在2013年年前后即前后即0.032微米时产生一次大的变革,微米时产生一次大的变革,其主要内容是主流光刻技术从光学光刻转移其主要内容是主流光刻技术从光学光刻转移到下一代光刻技术,包括电子束投影光刻、到下一代光刻技术,包括电子束投影光刻、离子束投影光刻(激光等离子体光源)、离子束投影光刻(激光等离子体光源)、X射线光刻(分辨率射线光刻(分辨率30-50nm)n国际上正在研究利用毛细管放电获国际上正在研究利用毛细管放电获13.5nm强强辐射辐射EUV光源(光源(Extra Ultra Violet)19IC技术发展Moor定律定律(线宽线宽)在传统的在传统的CM
11、OS器件制造工艺器件制造工艺中已经表现出其极限性中已经表现出其极限性,要不断引入新材料和新要不断引入新材料和新器件,如高器件,如高k值栅介质、值栅介质、Cu引线等。引线等。保持按保持按Moor定律给出的速度发展已成为业界定律给出的速度发展已成为业界发展集成电路技术和生产水平的目标,直到光发展集成电路技术和生产水平的目标,直到光刻掩膜版和工艺制造成本使线宽进一步缩小失刻掩膜版和工艺制造成本使线宽进一步缩小失去经济意义。去经济意义。20IC技术发展2122232425人脑开关速度人脑开关速度1ms=0.1MHz2627课程内容大规模集成电路技术发展历程大规模集成电路技术发展历程nICIC技术发展:
12、技术发展:wICIC发明发明w摩尔定律摩尔定律w光刻工艺发展光刻工艺发展w其他技术其他技术n集成电路产业发展集成电路产业发展n设计业发展设计业发展28电子制造业对集成电路电子制造业对集成电路 巨大的市场需求巨大的市场需求The huge requirement of market中国是世界上最大的消费类电子信息产品的生产国。中国是世界上最大的消费类电子信息产品的生产国。-居世界第一产量的产品居世界第一产量的产品:电视机、收录机电视机、收录机、VCD视盘机、电话机、电子钟表计视盘机、电话机、电子钟表计算器、电冰箱、空调机等。算器、电冰箱、空调机等。-居世界主要生产地位的产品居世界主要生产地位的产
13、品:手机、软、硬盘驱动器、显示器、计算机板卡、鼠标手机、软、硬盘驱动器、显示器、计算机板卡、鼠标器等器等29增长曲线图增长曲线图0 0101020203030404050506060199919992000200020012001200220022003200320042004集成电路集成电路电子制造业电子制造业国民经济国民经济世界经济世界经济半导体器件半导体器件30集成电路产业发展集成电路产业发展集成电路是信息产业的基础集成电路是信息产业的基础nICIC产值产值:信息产品产值信息产品产值:国民经济增长国民经济增长=1:10:100=1:10:100n今天一个家庭可能拥有今天一个家庭可能拥有1
14、00100个个CPUCPU,一个汽车达一个汽车达40-40-5050个个CPUCPU“九五九五”以来,我国集成电路产业受到国家高以来,我国集成电路产业受到国家高度重视。度重视。“十五十五”期间,全国芯片制造业的投资将超过期间,全国芯片制造业的投资将超过100100亿美元,相当于集成电路产业前亿美元,相当于集成电路产业前3030年投资年投资总额的总额的3 3倍,其中外资占一半以上份额。倍,其中外资占一半以上份额。“十一五十一五”期间估计将投资期间估计将投资300300亿美圆以上。亿美圆以上。31集成电路进出口情况集成电路进出口情况The imports&exports of Chinas IC0
15、12345678(10亿亿Billion)进口数进口数(块块)Import(pcs)1.141.392.072.943.143.765.257.57进口额进口额(美元美元)Import($)0.410.550.91.61.982.844.347.23出口额出口额(美元美元)Export($)0.290.370.490.760.760.881.231.27出口数出口数(块块)Export(pcs)0.10.110.220.330.290.460.771.951997199819992000200120022003200432 1995-2005年年我国集成电路销售额我国集成电路销售额占占世界市场
16、世界市场的的份额份额图图1995-2005 China IC Market vs Worldwide IC Market33 产业情况产业情况(Industry updates)我国集成电路产业已具备了一定的发展我国集成电路产业已具备了一定的发展基础基础,由十几个芯片生产骨干企业由十几个芯片生产骨干企业,几十个封装几十个封装厂厂,数百家设计公司数百家设计公司,若干个关键材料及专用设若干个关键材料及专用设备仪器制造厂组成的产业群体备仪器制造厂组成的产业群体,在地域上呈现在地域上呈现相对集中的局势(苏浙沪、京津、粤闽地区)。相对集中的局势(苏浙沪、京津、粤闽地区)。销售额销售额2006年将达到年将
17、达到1000亿元人民币亿元人民币34中国半导体产业情况中国半导体产业情况企业数量企业数量 650家家从业人员从业人员 20万人万人销售额销售额 750亿元亿元 (2005年)年)35专业构成专业构成(销售额销售额 545.3亿元-2004年)集成电路设计集成电路设计14.9%14.9%封装测试封装测试51.9%51.9%集成电路制造集成电路制造33.2%33.2%36集成电路生产能力集成电路生产能力预测预测A Forecast of Production Ability2005年年 产量达到产量达到200亿块,销售额亿块,销售额600-800亿亿 元,元,约占当时世界市场份额的约占当时世界市场
18、份额的2-3%。2010年年 产量达到产量达到500亿块,销售额亿块,销售额2-3000亿元右,亿元右,约占当时世界市场份额的约占当时世界市场份额的5-8%左右。左右。(中国市场规模达中国市场规模达1000亿美圆以上亿美圆以上)37中国IC知识产权现状发展势头强劲发展势头强劲2000年起,我国IC专利申请量年增长率突破40(图1)38产业现状产业现状-知识产权是动力知识产权是动力 自主知识产权是形成中国核心竞争力的关键自主知识产权是形成中国核心竞争力的关键,也是自主创新也是自主创新的关键的关键.2004年我国进口集成电路占当年我国总进口额年我国进口集成电路占当年我国总进口额(5614亿美圆亿美
19、圆)的的9.7%,是石油进口总额是石油进口总额1.3倍倍,是各种钢材、是各种钢材、铁矿砂及其精矿产品进口额的铁矿砂及其精矿产品进口额的1.6倍倍.集成电路创新包括产品、技术和基础研究集成电路创新包括产品、技术和基础研究3方面。方面。专利处于起步专利处于起步我国申请我国申请IC专利专利27252件,世界件,世界1024227件,占件,占2.6%国内企业申请国内企业申请4791件,其余是国际企业的申请。件,其余是国际企业的申请。0.5%中芯国际(上海)中芯国际(上海)5年内为生产工艺的专利要付出年内为生产工艺的专利要付出1.7亿美亿美圆的代价圆的代价,纠纷很多纠纷很多39生产线发展生产线发展集成电
20、路生产线特点:超精(光刻),超纯集成电路生产线特点:超精(光刻),超纯(水、(水、气),超净(灰尘)气),超净(灰尘)一条一条6英寸生产线需英寸生产线需2亿美元,亿美元,8英寸英寸10亿美元,亿美元,12英寸英寸20-30亿美元亿美元国际概况国际概况 台湾台湾16家家IDM(Integration Device Manufacture)产值产值占全球占全球7.8%,仅次于美、日、韩,仅次于美、日、韩 专业代工制造(专业代工制造(Foundry)产值占全球产值占全球76.8%,全球第,全球第一(台集电一(台集电-TSMC、联电联电-UMC),),其中其中UMC(Unite Manufacture
21、 Company)1987年成立,年成立,2003年年60亿美圆亿美圆.40生产线发展生产线发展国内发展国内发展n20002000年国内年国内8 8家家上海华虹上海华虹NECNEC、华晶、华晶、华越、贝岭、先华越、贝岭、先进、首钢进、首钢NECNEC、友旺、南科友旺、南科n 上海华虹上海华虹 NEC 8NEC 8”、0.18-0.250.18-0.25微米工艺微米工艺n 其它为:其它为:5-65-6”0.8-1 0.8-1微米工艺。微米工艺。n20012001年以来新建、已投产多家年以来新建、已投产多家n 上海上海 中芯国际中芯国际0.13-0.50.13-0.5微米微米n 上海上海 宏力宏力
22、 0.15-0.250.15-0.25微米微米n 北京北京 中芯国际中芯国际 1212英寸英寸 0.18-0.090.18-0.09微米微米n 天津天津 Motorola 0.25Motorola 0.25微米微米(已转让中芯国际已转让中芯国际)n目前在建项目目前在建项目:TSMCTSMC(上海)上海),上海新进上海新进,中纬集体电路中纬集体电路(宁宁波波),),无锡华润华晶无锡华润华晶,华润上华华润上华,杭州士兰杭州士兰,吉林华微吉林华微,柏玛微电柏玛微电子子(常州常州),),赛米微尔赛米微尔,南京高新南京高新,西安西岳等西安西岳等41生产线发展生产线发展在中国大陆正在和准备建立在中国大陆正
23、在和准备建立300300毫米晶圆厂的有:毫米晶圆厂的有:中芯国际(正在建立),宏力、中芯国际(正在建立),宏力、HynixHynix-意法半导体、飞意法半导体、飞思卡尔和飞利普等思卡尔和飞利普等中国正在成为国际集成电路生产的基地!中国正在成为国际集成电路生产的基地!但是我们不掌握集成电路生产设备制造技术!但是我们不掌握集成电路生产设备制造技术!42课程内容大规模集成电路技术发展历程大规模集成电路技术发展历程nICIC技术发展:技术发展:wICIC发明发明w摩尔定律摩尔定律w光刻工艺发展光刻工艺发展w其他技术其他技术n生产线发展生产线发展n设计业发展设计业发展43设计业发展设计业已形成一个独立的
24、产业设计业已形成一个独立的产业FablessFabless-无生产线的集成电路企业。投资小,无生产线的集成电路企业。投资小,借助国际最先进的生产工艺,得到有自主知识借助国际最先进的生产工艺,得到有自主知识产权的产品。未来几年内集成电路市场的一半产权的产品。未来几年内集成电路市场的一半销销 售额将来自售额将来自 FablessFabless (Fabrication(Fabrication)利用利用FoundryFoundry实现芯片加工:一般先经过多芯实现芯片加工:一般先经过多芯片片 (Multi-Project Wafer(Multi-Project Wafer,简称简称 MPW)MPW)试
25、投试投-0.250.25微米试投片一次微米试投片一次100100万美圆,万美圆,1010个项目,个项目,一个一个1010万万。?44设计业发展Design serves Design serves(ChiplessChipless):):台湾创台湾创意公司等意公司等IDMIDM(Integration Device Integration Device manufacture manufacture)企业中的设计部门企业中的设计部门全球设计业全球设计业 美国占美国占60%60%,台湾占,台湾占22%22%中国占中国占3%3%(自有知识产权的芯片只占全(自有知识产权的芯片只占全球球0.3%0.3
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