检测技术作业-气密性检测技术分解课件.ppt
- 【下载声明】
1. 本站全部试题类文档,若标题没写含答案,则无答案;标题注明含答案的文档,主观题也可能无答案。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
2. 本站全部PPT文档均不含视频和音频,PPT中出现的音频或视频标识(或文字)仅表示流程,实际无音频或视频文件。请谨慎下单,一旦售出,不予退换。
3. 本页资料《检测技术作业-气密性检测技术分解课件.ppt》由用户(晟晟文业)主动上传,其收益全归该用户。163文库仅提供信息存储空间,仅对该用户上传内容的表现方式做保护处理,对上传内容本身不做任何修改或编辑。 若此文所含内容侵犯了您的版权或隐私,请立即通知163文库(点击联系客服),我们立即给予删除!
4. 请根据预览情况,自愿下载本文。本站不保证下载资源的准确性、安全性和完整性, 同时也不承担用户因使用这些下载资源对自己和他人造成任何形式的伤害或损失。
5. 本站所有资源如无特殊说明,都需要本地电脑安装OFFICE2007及以上版本和PDF阅读器,压缩文件请下载最新的WinRAR软件解压。
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 检测 技术 作业 气密性 分解 课件
- 资源描述:
-
1、目录:u1.概述气密性检测技术u2.气密性检测技术u 2.1 常用气密性检测技术u 2.2气密性检测技术国内外现状u 2.3气密性检测效率改善方法u3.检测技术概述及总结1.概述气密性检测技术 气体泄漏的检测包括有毒气体的泄漏检测、可燃气体的泄漏检测以及气密性检测。前两者多半可以通过化学传感器的方法来进行检测,通常是在元件或系统使用过程中进行检测。如果有合适的传感器,其方法相对简单,通常需要定量检测,而且要求快速、大量地在生产现场进行。返回目录2.气密性检测技术 2.1常用气密性检测技术气密性检测的常用方法有气泡法,涂抹法,化学气体示踪检漏法,压力变化法,流量法,超声波法等等。传统的检测泄漏方
2、法多采用气泡法和涂抹法。气泡法是将工件浸入水中,充入压缩空气,然后在一定时间内收集从中泄漏出来的气泡以测出泄漏量。涂抹法是在内部充有一定气压的工件表面涂抹肥皂水一类的易产生气泡的液体,观察产生气泡的情况以检测泄漏量的大小。返回目录气泡法返回目录这两种方法操作简单,能直接观察到泄漏的部位和泄漏情况,但由于事先不知道工件泄漏的部位和几处泄漏,难以收集全气泡,影响测量的准确性;其次,对于体积大、笨重、外表复杂的零件,气泡附着于零件底部和褶皱处而不易观察;测试完后需要对工件惊醒清扫干燥处理,无法实现自动、定量侧漏。因此,这两种方法在满足高精度、高效率的生产需求方面显得力不从心。检测技术之比较(1)(1
3、)a a 压强保持原来的值不变。说压强保持原来的值不变。说明容器既不漏气亦不放气。明容器既不漏气亦不放气。(2)(2)b b 压强开始上升很快后来呈现压强开始上升很快后来呈现饱和状。说明主要是放气。饱和状。说明主要是放气。(3)(3)c c 压强直线上升,说明主要是压强直线上升,说明主要是漏气漏气。(4)(4)d d 压强开始上升的很快,后来压强开始上升的很快,后来变得较,但不出现饱和的情况,变得较,但不出现饱和的情况,这是上述两种情况的综合,即同这是上述两种情况的综合,即同时存在放气和时存在放气和漏气漏气。判定了真空系统漏气后,就可以着手寻找漏孔所在的位置,以及漏孔的大小。返回目录漏孔大小的
4、概念漏孔的大小不是几何尺寸,真空系统中存在的漏孔通常很小,形状也很复杂,很难用漏孔的几何尺寸来表达。漏孔的本质就是漏气。漏孔的大小:通常我们用漏气率来表达。如几个漏孔大小截面可以不同,但只要漏率(漏气速率)相等,就认为是完全相同的。返回目录漏孔大小的表征漏气速率:一般采用室温下(20),外部为大气压强1.0133*105帕时间单位干燥空气流过漏孔向真空容器漏入的气体量来表达:Q Q0 0=V=V P/P/t t漏率的单位有托升/秒,毫托升/秒,半导体工艺中常用大气压毫升/秒,冷冻工程常用毫克/年。目前压强单位已逐步改为帕,相应的漏率单位为 帕米3/秒。返回目录漏孔大小的影响因素:漏气率大小的决
5、定因素有:1)漏孔的几何尺寸 2)容器外部的压强 3)气体的种类 4)温度以及气体在漏孔中的流动状态等。真空系统检漏常用的方法有压力检漏和真空检漏两大类。返回目录压力检漏:利用压强差,将被检测容器充入压缩空气(或CO2、HCl等),浸没在水中(氨水等)或涂上肥皂水,根据出泡的位置以及时间的长短来判断漏孔的位置以及大小,仅适用于金属的真空设备(灵敏度10-2至10-6)返回目录真空检漏:最常用的方法是将被检测容器抽成真空,在漏孔可疑处用示漏气体进行探找,有漏孔存在时,示漏物质则经过漏孔进入容器,检测器就发出信号。常用的有氦质谱检漏(灵敏度10-810-12)。返回目录真空系统的极限压强一个真空系
展开阅读全文