前沿传感技术课件.ppt
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1、第第1111章章 前沿传感技术前沿传感技术v11.1 11.1 概述概述v11.2 11.2 微机电传感器微机电传感器 v11.3 11.3 软测量与软传感器软测量与软传感器 v11.4 11.4 模糊传感器模糊传感器 v11.5 11.5 混沌测量混沌测量 v11.6 11.6 仿生学传感器仿生学传感器11.1 概述概述v1.1.什么叫前沿什么叫前沿 根据科学的思维方法,一般认为:人类的某些先进的根据科学的思维方法,一般认为:人类的某些先进的思维、思想、概念、观点、理论、模式、方式、学科、思维、思想、概念、观点、理论、模式、方式、学科、专业、技能、产品、服务、技巧、心理体验等的信息综专业、技
2、能、产品、服务、技巧、心理体验等的信息综合,称为前沿。合,称为前沿。v2.2.前沿传感技术前沿传感技术 传感技术是前沿技术,传感技术学科属前沿学科;传感技术是前沿技术,传感技术学科属前沿学科;本章内容主要介绍其他章节较少涉及的内容;本章内容主要介绍其他章节较少涉及的内容;只作常识介绍只作常识介绍v 单一微传感器单一微传感器。显著特点是尺寸小(从微米级到毫米级、有的甚至达到纳米级),主要采用精密加工、微电子技术以及MEMS技术,使尺寸大大减小。v 集成微传感器集成微传感器。将微小的敏感元件、信号处理器、将微小的敏感元件、信号处理器、数据处理装置封装在一块芯片上,形成集成的传感器。数据处理装置封装
3、在一块芯片上,形成集成的传感器。v 微传感器系统微传感器系统。包括微传感器、微执行器,可以独包括微传感器、微执行器,可以独立工作。此外,还可以由多个微传感器组成传感器立工作。此外,还可以由多个微传感器组成传感器网络网络或者通过其他网络实现异地联网。或者通过其他网络实现异地联网。11.2 11.2 微机电传感器微机电传感器 11.2.1 11.2.1 微传感器微传感器1 1力力微传感器:(微传感器:(1 1)工作)工作原理原理v由于力的作用,能够引起物体的变形,因此只要能由于力的作用,能够引起物体的变形,因此只要能够测得变形量,就能够测到力。够测得变形量,就能够测到力。v在这种通过物体变形来测量
4、力的系统中,一般由弹在这种通过物体变形来测量力的系统中,一般由弹性元件来感受力的作用,产生弹性变形,再由敏感性元件来感受力的作用,产生弹性变形,再由敏感元件将这种变形转换成另一种信号输出。元件将这种变形转换成另一种信号输出。11.2.3 几种典型微机电传感器几种典型微机电传感器1 1力力微传感器:(微传感器:(2 2)电容式硅微加速度计)电容式硅微加速度计v该加速度计由一个与两端固定的梁带动中央该加速度计由一个与两端固定的梁带动中央的质量块构成,质量块的位移由其上下金属的质量块构成,质量块的位移由其上下金属电极的电容信号读出。电极的电容信号读出。11xAC22xAC2 2微陀螺:(微陀螺:(1
5、 1)工作原理)工作原理v微机械振动陀螺:利用振动元件来测出角速微机械振动陀螺:利用振动元件来测出角速度,振动陀螺的工作原理是基于哥氏效应,度,振动陀螺的工作原理是基于哥氏效应,通过一定形式的装置产生并检测哥氏加速度。通过一定形式的装置产生并检测哥氏加速度。vac2)(2mFc2 2微陀螺:(微陀螺:(2 2)微陀螺示例)微陀螺示例v微机械振动陀螺:利用振动元件来测出角速微机械振动陀螺:利用振动元件来测出角速度。度。11.3.1 11.3.1 软测量概述软测量概述11.3.2 11.3.2 软测量技术基本原理软测量技术基本原理11.3.3 11.3.3 软测量技术的应用软测量技术的应用 11.
6、3 软测量与软传感器软测量与软传感器v软测量技术一般是根据某种最优准则,通过选择软测量技术一般是根据某种最优准则,通过选择一些容易测量且与一些容易测量且与主导变量主导变量密切联系的密切联系的二次变量二次变量(辅助变量辅助变量)来预测主导变量,它所建立的软测量来预测主导变量,它所建立的软测量模型可以完成一些实际硬件检测仪器所不能完成模型可以完成一些实际硬件检测仪器所不能完成的测量任务。的测量任务。v在测量中不存在直接的物理传感器或仪器实体,在测量中不存在直接的物理传感器或仪器实体,而是利用其他由直接物理传感器实体得到的信息,而是利用其他由直接物理传感器实体得到的信息,通过数学模型计算手段得到所需
7、检测信息的一种通过数学模型计算手段得到所需检测信息的一种功能实体。功能实体。11.3.1 软测量概述软测量概述1 1软测量技术的软测量技术的数学描述数学描述和结构和结构v软测量的目的就是利用所有可以获得的信息求取主导变量的软测量的目的就是利用所有可以获得的信息求取主导变量的最佳估计值,即构造从可测信息集最佳估计值,即构造从可测信息集到到 的映射。可测信息的映射。可测信息集集包括所有的可测主导变量包括所有的可测主导变量y(y可能部分可测可能部分可测)、辅助变量、辅助变量、控制变量控制变量u和可测扰动和可测扰动d1 1。f为估计函数关系,即软测量为估计函数关系,即软测量模型。模型。v在这样的框架结
8、构下,软测量的性能主要取决于过程的描述、在这样的框架结构下,软测量的性能主要取决于过程的描述、噪声和扰动的特性、辅助变量的选取以及最优准则。噪声和扰动的特性、辅助变量的选取以及最优准则。y),(1udfy 11.3.2 软测量技术基本原理软测量技术基本原理1 1软测量技术的数学描述和软测量技术的数学描述和结构结构v软测量技术的软测量技术的核心核心是建立工业对象的精确可靠的是建立工业对象的精确可靠的模型模型。v初始初始软测量模型是对过程变量的软测量模型是对过程变量的历史历史数据进行辨识而来的。数据进行辨识而来的。v在现场测量数据中可能含有随机误差甚至粗大误差,必须在现场测量数据中可能含有随机误差
9、甚至粗大误差,必须经过数据变换和数据校正等经过数据变换和数据校正等预处理预处理,将真实信号从含噪声,将真实信号从含噪声的混合信号中分离出来,才能用于软测量建模或作为软测的混合信号中分离出来,才能用于软测量建模或作为软测量模型的输入。量模型的输入。v软测量模型的软测量模型的输出输出就是就是软测量对象的软测量对象的实时估计实时估计值值。2 2影响软测量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(1 1)中间)中间辅助变量辅助变量的选择:的选择:1)1)变量变量类型类型的选择的选择 v灵敏性灵敏性:能对过程输出或不可测扠动作出快速反应;:能对过程输出或不可测扠动作出快速反应;v特异性特异性:对过程输出或
10、不可测扰动之外的干扰不敏感;:对过程输出或不可测扰动之外的干扰不敏感;v过程适用性过程适用性:工程上易于获得并能达到一定的测量精度;:工程上易于获得并能达到一定的测量精度;v精确性精确性:构成的软测量估计器满足精度要求;:构成的软测量估计器满足精度要求;v鲁棒性鲁棒性:构成的软测量估计器对模型误差不敏感。:构成的软测量估计器对模型误差不敏感。v遗憾的是以上选择原则难以用定量的形式表示,而现代工遗憾的是以上选择原则难以用定量的形式表示,而现代工业某些对象具有数百个检测变量,面对如此庞大的可测变业某些对象具有数百个检测变量,面对如此庞大的可测变量集,若采用定性分析的方法对每个变量逐一进行判断,量集
11、,若采用定性分析的方法对每个变量逐一进行判断,工作量非常大,简直不可能实现。现在主要根据工业对象工作量非常大,简直不可能实现。现在主要根据工业对象的机理、工艺流程以及专家经验来选择辅助变量。的机理、工艺流程以及专家经验来选择辅助变量。2 2影响软测量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(1 1)中间)中间辅助变量辅助变量的选择:的选择:2)2)变量变量数目数目的选择的选择v辅助变量数量的下限是被估计的变量数,然而最优数量的确辅助变量数量的下限是被估计的变量数,然而最优数量的确定目前尚无统一的结论。一般来说,原始辅助变量数目、类定目前尚无统一的结论。一般来说,原始辅助变量数目、类型很多,往往有
12、数十个,并且相关程度差异较大,为了实时型很多,往往有数十个,并且相关程度差异较大,为了实时运行方便,有必要对输入变量进行适当的降维处理。运行方便,有必要对输入变量进行适当的降维处理。v选择选择思想思想是对各原始辅助变量与主导变量之间的相关性进行是对各原始辅助变量与主导变量之间的相关性进行分析,根据分析所得相关性的强弱,以决定哪些适合作为建分析,根据分析所得相关性的强弱,以决定哪些适合作为建模用的辅助变量。模用的辅助变量。2 2影响软测量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(1 1)中间)中间辅助变量辅助变量的选择:的选择:3)3)检测点检测点位置位置的选择的选择v对于许多工业工程,与各辅助变
13、量相对应的检测点位置的选对于许多工业工程,与各辅助变量相对应的检测点位置的选择是相当重要的。在使用软测量技术时,检测位置对模型的择是相当重要的。在使用软测量技术时,检测位置对模型的动态特性有一定影响。因此,对输入中间辅助变量各个检测动态特性有一定影响。因此,对输入中间辅助变量各个检测点的检测方法、位置和仪表精确度等需有一定要求。点的检测方法、位置和仪表精确度等需有一定要求。v采用奇异值分解或工业控制仿真软件等方法进行检测点的选采用奇异值分解或工业控制仿真软件等方法进行检测点的选取,一般情况下,辅助变量的数目和位置常常是同时确定的,取,一般情况下,辅助变量的数目和位置常常是同时确定的,用于选择变
14、量数目的准则往往也被用于检测点位置的选择。用于选择变量数目的准则往往也被用于检测点位置的选择。2 2影响软测量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(2 2)输入数据的处理输入数据的处理v软仪表是根据过程测量数据经过数值计算从而实现软测量的,软仪表是根据过程测量数据经过数值计算从而实现软测量的,其性能很大程度上依赖于所获过程测量数据的准确性和有效其性能很大程度上依赖于所获过程测量数据的准确性和有效性。性。v一方面,在数据采集时,要注意数据的一方面,在数据采集时,要注意数据的“信息信息”量,均匀分量,均匀分配采样点,尽量拓宽数据的涵盖范围,减少信息重叠,避免配采样点,尽量拓宽数据的涵盖范围,减少
15、信息重叠,避免某一方面信息冗余,否则会影响最终建模的质量;另一方面,某一方面信息冗余,否则会影响最终建模的质量;另一方面,对采集来的数据进行适当的处理,因为现场采集的数据必然对采集来的数据进行适当的处理,因为现场采集的数据必然会受到不同程度环境噪声的影响而存在误差。会受到不同程度环境噪声的影响而存在误差。2 2影响软测量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(2 2)输入数据的处理输入数据的处理v数据数据预处理预处理:由于工业现场采集的数据具有一定随机性,数:由于工业现场采集的数据具有一定随机性,数据预处理主要是消除突变噪声和周期性波动噪声的影响。为据预处理主要是消除突变噪声和周期性波动噪声的
16、影响。为提高数据处理的精确度,除去随机噪声,可采用数据平滑化提高数据处理的精确度,除去随机噪声,可采用数据平滑化方法如时域平滑滤波和频域滤波法等。方法如时域平滑滤波和频域滤波法等。v数据数据二次处理二次处理:根据软测量采用的系统建模方法及其机理不:根据软测量采用的系统建模方法及其机理不同,须对预处理后的数据进行二次处理,如采用神经网络方同,须对预处理后的数据进行二次处理,如采用神经网络方法进行系统建模需要对预处理后的数据进行归一化处理,采法进行系统建模需要对预处理后的数据进行归一化处理,采用模糊逻辑方法需对预处理后的数据进行量化处理。用模糊逻辑方法需对预处理后的数据进行量化处理。2 2影响软测
17、量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(3 3)数学模型数学模型的建立:的建立:1 1)机理机理方法方法v机理模型通常由代数方程组或微分方程组组成。在对工业对机理模型通常由代数方程组或微分方程组组成。在对工业对象的物理化学过程获得了全面清晰的认识后,通过列写对象象的物理化学过程获得了全面清晰的认识后,通过列写对象的平衡方程的平衡方程(如物料平衡、能量平衡、动量平衡、相平衡等如物料平衡、能量平衡、动量平衡、相平衡等)和反映流体传热传质等基本规律的动力学方程、物性参数方和反映流体传热传质等基本规律的动力学方程、物性参数方程和设备特性方程等,确定不可测主导变量和可测辅助变量程和设备特性方程等,确定
18、不可测主导变量和可测辅助变量的数学关系,建立估计主导变量的精确数学模型。的数学关系,建立估计主导变量的精确数学模型。v机理建模的应用受模型准确程度的影响,而且由于要求解方机理建模的应用受模型准确程度的影响,而且由于要求解方程组,计算量大,收敛慢,难以满足在线实时估计的要求,程组,计算量大,收敛慢,难以满足在线实时估计的要求,对模型进行简化必然会降低模型的精度。计算时间和计算精对模型进行简化必然会降低模型的精度。计算时间和计算精度的矛盾制约了机理建模的应用。度的矛盾制约了机理建模的应用。2 2影响软测量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(3 3)数学模型数学模型的建立:的建立:1 1)机理机
19、理方法方法v由于大多数实际过程存在着严重的非线性和不确定性,难以由于大多数实际过程存在着严重的非线性和不确定性,难以单独采用机理方法,但可以借助已知的对象特性确定经验模单独采用机理方法,但可以借助已知的对象特性确定经验模型的结构或辅助变量,再利用经验方法确定模型的具体参数。型的结构或辅助变量,再利用经验方法确定模型的具体参数。这种方法目前应用最广泛。这种方法目前应用最广泛。(3 3)数学模型数学模型的建立:的建立:2 2)经验经验方法方法v经验模型是根据测量对象的外特性来描述其动态行为的模型。经验模型是根据测量对象的外特性来描述其动态行为的模型。由测量数据直接求取模型的方法称为系统辨识;根据既
20、定模由测量数据直接求取模型的方法称为系统辨识;根据既定模型结构由测量数据确定参数的方法称为参数估计。型结构由测量数据确定参数的方法称为参数估计。2 2影响软测量性能的主要因素影响软测量性能的主要因素(3 3)数学)数学模型模型的的建立建立:3)3)基于基于人工智能人工智能的方法的方法v人工智能技术因无需对象精确的数学模型成为软测量技术中人工智能技术因无需对象精确的数学模型成为软测量技术中建模的有效方法。人工神经网络、模糊技术等模仿人脑的逻建模的有效方法。人工神经网络、模糊技术等模仿人脑的逻辑思维,用于处理模型未知或不精确的控制问题,在软测量辑思维,用于处理模型未知或不精确的控制问题,在软测量中
21、也得到大量的应用。中也得到大量的应用。(4 4)数学模型的)数学模型的修正修正v由于过程的随机噪声和不确定性,所建数学模型与实际对象由于过程的随机噪声和不确定性,所建数学模型与实际对象间有误差,如果误差大于工艺允许的范围时,应对数学模型间有误差,如果误差大于工艺允许的范围时,应对数学模型进行校正。校正方法可以是自学习方法,也可根据当前数据进行校正。校正方法可以是自学习方法,也可根据当前数据进行重新建模。采用卡尔曼进行重新建模。采用卡尔曼布西观测器进行状态估计时,布西观测器进行状态估计时,可通过闭环校正进行数学模型修正。可通过闭环校正进行数学模型修正。1 1软测量技术的应用条件软测量技术的应用条
22、件v软测量技术作为一种新的检测与控制技术,与其他技术相似,软测量技术作为一种新的检测与控制技术,与其他技术相似,只有在其适用范围内才能充分发挥自身优势,因此,必须对只有在其适用范围内才能充分发挥自身优势,因此,必须对其适用条件进行分析;其适用条件进行分析;v通过软测量技术所得到的过程变量估计值必须在工艺过程所通过软测量技术所得到的过程变量估计值必须在工艺过程所允许的精确度范围内;允许的精确度范围内;v能通过其他检测手段根据过程变量估计值对系统数学模型进能通过其他检测手段根据过程变量估计值对系统数学模型进行校验,并根据两者偏差确定数学模型校正与否;行校验,并根据两者偏差确定数学模型校正与否;v直
23、接检测被估过程变量的自动化仪器仪表较贵或维护困难;直接检测被估过程变量的自动化仪器仪表较贵或维护困难;v被估过程变量应具有灵敏性、精确性、鲁棒性、合理性及特被估过程变量应具有灵敏性、精确性、鲁棒性、合理性及特异性。异性。11.3.3 软测量技术的应用软测量技术的应用2工程化实施步骤工程化实施步骤 v(1)二次变量的选择二次变量的选择 v(2)现场数据采集与处理现场数据采集与处理 v(3)软测量模型结构选择软测量模型结构选择 v(4)软测量模型的在线校正软测量模型的在线校正 v(5)软测量模型的实施软测量模型的实施 3软测量技术在工业中的应用软测量技术在工业中的应用 v推断控制 推断控制简介推断
24、控制简介主导变量主导变量 以软件来代替硬件控制以软件来代替硬件控制软仪表和控制器软仪表和控制器4 4研究展望研究展望v(1 1)与与控制技术控制技术结合:检测的目的是为了控制,好的检测结合:检测的目的是为了控制,好的检测手段是精确控制的基础。因此,将软测量技术与各种控制方手段是精确控制的基础。因此,将软测量技术与各种控制方法相结合将推动过程工业的更快发展。同时,飞速发展的通法相结合将推动过程工业的更快发展。同时,飞速发展的通讯技术为现场检测数据的实时传播提供了便利的条件,尤其讯技术为现场检测数据的实时传播提供了便利的条件,尤其采用基于现场总线的智能仪表后,在一台仪表中实现多个回采用基于现场总线
25、的智能仪表后,在一台仪表中实现多个回路的控制将成为可能。路的控制将成为可能。v(2 2)与与计算机技术计算机技术结合:即实现软测量技术软件化,通用结合:即实现软测量技术软件化,通用化。这将大大提高软测量技术的可用性,降低应用难度,拓化。这将大大提高软测量技术的可用性,降低应用难度,拓宽其应用领域。宽其应用领域。4 4研究展望研究展望v(3 3)与与虚拟仪器系统虚拟仪器系统集成:虚拟仪器技术综合运用了计算集成:虚拟仪器技术综合运用了计算机软件技术、智能测试技术、模板及总线的标准化技术、数机软件技术、智能测试技术、模板及总线的标准化技术、数字信号处理字信号处理(DSP)(DSP)技术、图形处理技术
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