无尘室使用管理课件.ppt
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- 无尘室 使用 管理 课件
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1、无尘室洁净度之维持和控制,除了硬设备之配合投资外,也需要良好的软件管理制度来搭配,方能维持良好的洁净度。无尘室内之微污染来源,作业人员占约80%,作业人员进出无尘室时尘埃有显著增加,有人动作时,洁净度马上劣化,可见洁净度劣化之原因人是主要因素。洁净等级 合格的温湿度范围 洁净度合格标准(1升气体中 备注温度 湿度%RH 粒径0.5m 粒子数 粒径5m粒子数 百级1925507030千级19255070350五千级192550701761万级192550703532十万192550703530200无尘室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑物、工作服、风管材料
2、以及一般性气体、给水、溶剂等;而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装材料等。无尘室适当之正压保持(0.5mmAq),做好施工工程之不漏气,人员设备、原材料搬入无尘室前先做好清洁擦拭等防尘动作,空气过滤器适当的管理和设置。隔间板、地板等无尘室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用无尘室专用器等。墙壁体应光滑无死角、无尘室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间 换气次数应足够,适当的空间布置以及污染源接排气和空调的气流速度须适当,再加上日常是清洁维护无尘室运转管理,可依作业人员、原物料、设备及无尘室内所用东西等
3、加以探讨,并依计划(planning)、实施(Doing)、追踪(Checking)、动作(Action)之PDCA循环步骤执行。前以提及在无尘室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依无尘室管理,而所有人员也均能配合实施,则污染源的产生可说已减大半。现就进入无尘室的作业人员之管理和注意事项说明如下:(1)进入无尘室之人员,必须要具备有达成高洁净度标准,并要维持最好状态之观念。(2)作业人员进入无尘室数目以维持最小限度原则(愈少愈好),并须依无尘室进出标准流程进出无尘室,如图3所示。出则相反方向进行,唯不须经空气洗尘室之脱尘处理。(3)对作业人员必须经常讲解无尘室管理之数据,并加以教
4、育与训练,内容如无尘室管理之一般常识、无尘室之构造与功能、维护和清洁、安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、无尘室内之步行方式等,并经考试合格者方能进入无尘室工作。(4)在无尘室作业人员须经常保持自己各方面的干净与清洁。(5)在无尘室内之作业人员或其它人员之移动或动作均为发尘源,其直接影响制程,同时亦会影响气流之扰动,为防止与控制上述情形,基本上须注下列事项:a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作。b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。c.与作业无关的私心谈话尽量避免。d.为控制发尘量,人员步行及作业要静静地进行。表2所示为人体在不同动作时之发尘量。e.作业要在洁净之工作
5、柜或工作桌进行。f.工具等器具须收入有盖子之箱子或柜中,并置放一定的场所。(6)作业人员须经常保持干净之手,除了常洗手、剪指甲外,手并应保养,以防皮肤之剥离,男性须每天刮胡子。(7)洁净衣要经常保持着衣之状态。(8)下列所述者不能进入无尘室:a.非作业人员或事先未得许可者。b.未照规定穿着洁净衣者。c.刚做激烈运动流汗者。d.吸烟或吃东西后,尚未经过半小时以上者。图4为吸烟和未吸烟者微尘产生量与时间之比较图,由图上很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者的90倍,直至30分钟后才降至15倍,此为为何无尘室禁止吸烟人员和吸烟未满30分钟不准进入的原因所在。故针对在无尘室作业人员之招募,若能
6、选择不吸烟者为对象,将可带来甚大利益。a)没有经过清洁过程之器材、零件物品、测定器等各种物品。b)纸箱及未经特别处理之记录或笔记用纸、影印数据等。c)铅笔、橡皮擦、墨水等。d)香烟、化妆品、卫生纸、饮食品等。e)作业员个人用品如打火机、宝石、装饰品、钱包、钥匙、手帕、小日记手册或其它个人物品等。无尘室洁净度维持之最大控制对象为作业人员,因此对于作业人员之数目、行动状态、进出规则之制定与执行,提高无尘室内作业人之洁净度意识、反复教育,均为必须,因作业人员之动作而产生污染的增加倍率。除了人员进出无尘室须予于规范管理外,愿物料及设备之进出也必须经过洁净程序,方不至于影响无尘室之洁净度。其进无尘室之流
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