第一章光学测量的基础知识课件.ppt
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- 第一章 光学 测量 基础知识 课件
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1、作业在下面三张PPT中:P11P24P83本次课程的内容本次课程的内容:参考书目w范志刚范志刚,光电测试技术光电测试技术,电子工业出版社电子工业出版社,2019w苏大图,光学测试技术,北京理工大学出版社,苏大图,光学测试技术,北京理工大学出版社,2019w杨国光,近代光学测试技术,浙江大学出版社,杨国光,近代光学测试技术,浙江大学出版社,2019w张琢,范志刚,激光干涉测试技术及应用,机械工业出版张琢,范志刚,激光干涉测试技术及应用,机械工业出版社,社,2019w孙长库,叶声华,激光测量技术,天津大学出版社,孙长库,叶声华,激光测量技术,天津大学出版社,2019w殷纯永,现代干涉测量技术,天津
2、大学出版社,殷纯永,现代干涉测量技术,天津大学出版社,2019w汤顺青,色度学,北京理工大学出版社,汤顺青,色度学,北京理工大学出版社,1991一、一、领域和特点领域和特点1.1.研究领域研究领域定义:定义:光学测试技术光学测试技术 利用光学原理实现精密测利用光学原理实现精密测 量的技术。量的技术。意义:意义:是先进制造工业的核心技术是先进制造工业的核心技术近代光学测试技术近代光学测试技术 利用激光,计算机等光利用激光,计算机等光机电算一体化实现精密测量的技术。机电算一体化实现精密测量的技术。名词:分清二套四组名词名词:分清二套四组名词1 1)计量计量(Metrology)Metrology)
3、对物理量的标定,传递与对物理量的标定,传递与控制,重点是确保精度。控制,重点是确保精度。2 2)测量测量(Measurement)Measurement)获取物理量的方法,重点获取物理量的方法,重点是获取方法。是获取方法。3)3)检验检验(Inspection)Inspection)产品质量的评估技术。产品质量的评估技术。4)4)测试测试(Measuring&Testing)Measuring&Testing)是指具有试验研究是指具有试验研究性质的测量,一般是测量与试验的总称,侧重于技术性质的测量,一般是测量与试验的总称,侧重于技术方法。是人们认识客观事物的方法。方法。是人们认识客观事物的方法
4、。计量计量是实现单位统一、量值准确可靠的活动。或者说是以实是实现单位统一、量值准确可靠的活动。或者说是以实现单位统一、量值准确可靠为目的的测量。现单位统一、量值准确可靠为目的的测量。当生产的发展和商品的交换变成当生产的发展和商品的交换变成社会性活动社会性活动时,客观上就时,客观上就需要测量单位的统一需要测量单位的统一,并要求在一定准确度内对同一物体在不并要求在一定准确度内对同一物体在不同地点,用不同的测量手段,达到其测量结果一致。同地点,用不同的测量手段,达到其测量结果一致。为此,就要求以法定的形式建立统一的单位制,建立计为此,就要求以法定的形式建立统一的单位制,建立计量基准、标准,并以这种计
5、量基准、标准检定其他计量器具,量基准、标准,并以这种计量基准、标准检定其他计量器具,保证量值准确可靠,从而形成了区别于测量的新概念保证量值准确可靠,从而形成了区别于测量的新概念 计计量,也可以说,量,也可以说,统一准确的测量就是计量统一准确的测量就是计量。计量在历史上称之为计量在历史上称之为“度量衡度量衡”。随着生产和科学技术的。随着生产和科学技术的发展,现代计量已远远超出发展,现代计量已远远超出“度量衡度量衡”的范围。现有热学、力的范围。现有热学、力学、学、电磁学、无线电、时间频率、电离辐射、光学、声学、电磁学、无线电、时间频率、电离辐射、光学、声学、化学等计量专业,已形成了化学等计量专业,
6、已形成了 一门独立的学科一门独立的学科计量学。计量学。1 1)光学计量光学计量对光学量的标定:光强、亮度对光学量的标定:光强、亮度、照照度、光谱、色度等标定。度、光谱、色度等标定。2 2)光学测量光学测量对光学参数的测量:对光学参数的测量:D D(通光口(通光口 径)、径)、f(f(焦距)、焦距)、2W2W(视场)、(视场)、MTFMTF(像质)。(像质)。3 3)光学检测光学检测对光学元件及光学系统进行质量对光学元件及光学系统进行质量 评估。评估。4 4)光学测试光学测试用光学方法进行精密测试。用光学方法进行精密测试。自自7070年代开始由于年代开始由于激光技术激光技术、光波导技术光波导技术
7、、数字技数字技术术、计算机技术计算机技术以及以及傅里叶光学傅里叶光学的出现,使光学发展成的出现,使光学发展成。以激光为代表的近代光学促使光学测试技术。以激光为代表的近代光学促使光学测试技术出现更多新方法和新技术,从而开始形成近代光学测试出现更多新方法和新技术,从而开始形成近代光学测试技术。技术。近代光学测试技术的出现适应了近代科学和工业技术上近代光学测试技术的出现适应了近代科学和工业技术上提出的提出的高灵敏度高灵敏度、高效率高效率、自动化自动化的测试要求,实现了计量的测试要求,实现了计量上的上的三维性三维性、实时性实时性和和相关性相关性。进入。进入8080年代,又提出了亚微年代,又提出了亚微米
8、、纳米级灵敏度的测试要求,产生了无损检测、在线光学米、纳米级灵敏度的测试要求,产生了无损检测、在线光学诊断等新技术。诊断等新技术。2 2 技术特色技术特色 利用光学进行精密测量,一直是计量测试技术领利用光学进行精密测量,一直是计量测试技术领域中的主要方法。由于光学测试方法的非接触性,高域中的主要方法。由于光学测试方法的非接触性,高灵敏度性和高精度性,而在近代科学研究,现代技术,灵敏度性和高精度性,而在近代科学研究,现代技术,工业生产,空间技术,国防技术中得到广泛应用,成工业生产,空间技术,国防技术中得到广泛应用,成为一种无法取代的技术。为一种无法取代的技术。1 1)非接触性非接触性遥测,软表面
9、(液面、高温表面)遥测,软表面(液面、高温表面)特种测量(深孔、微孔等)特种测量(深孔、微孔等)特别是激光技术,微电子技术与计算机技术的发展,特别是激光技术,微电子技术与计算机技术的发展,使光学测试技术向近代光学测试技术方向发展。使光学测试技术向近代光学测试技术方向发展。作业作业:简述光学测试技术的技术特色简述光学测试技术的技术特色.4 4)三维性三维性全部信息。全部信息。3 3)高精度:高精度:灵敏度:测量系统输出变化量与引起该变化量的输灵敏度:测量系统输出变化量与引起该变化量的输入量之比入量之比 K=K=y yx x亚波长亚波长:/2:/2=0.5m,=0.5m,灵敏度:灵敏度:0.25m
10、0.25m深亚波长:深亚波长:/10/10 灵敏度灵敏度0.05m0.05m(50nm)50nm)2 2)高灵敏度高灵敏度:精度:反映测量结果与真值接近程度的量。精度:反映测量结果与真值接近程度的量。超精度测量,精度超精度测量,精度0.1m0.1m 因此近代光学测试技术已成为当代先进技术因此近代光学测试技术已成为当代先进技术的表征之一。随着二元光学及微光学的发展,光学的表征之一。随着二元光学及微光学的发展,光学系统向系统向微型化、集成化、经济化微型化、集成化、经济化方向发展。方向发展。5 5)实时性实时性 生产线控制生产线控制 实时监测控制实时监测控制光电响应光电响应psps(皮秒)(皮秒)f
11、sfs(飞秒)(飞秒)快速响应快速响应二、技术现状二、技术现状 目前随着激光器的出现和傅立叶光学的形成,特目前随着激光器的出现和傅立叶光学的形成,特别是激光技术与微电子技术、计算机技术的结合,出别是激光技术与微电子技术、计算机技术的结合,出现了光机电算一体化的近代光学测试技术。现了光机电算一体化的近代光学测试技术。1 1、产业现状、产业现状光学产业金字塔中各组成产业及其产值的大致比例,光学产业金字塔中各组成产业及其产值的大致比例,这是这是19901990年日本公布的统计值。年日本公布的统计值。日本公布近三年光学产业国内产值的调查结果2 2、技术现状、技术现状从从原理上原理上说近代光学测试技术的
12、说近代光学测试技术的现状现状主要是三点:主要是三点:1 1)从)从主观光学主观光学发展成为发展成为客观光学客观光学,也就是用光电探,也就是用光电探测器来取代人眼这个主观探测器,提高了测试精度测器来取代人眼这个主观探测器,提高了测试精度与测试效率;与测试效率;2 2)用激光这个单色性、方向性、相干性、稳定性都)用激光这个单色性、方向性、相干性、稳定性都极好的光源来取代常规光源,获得方向性极好的实际极好的光源来取代常规光源,获得方向性极好的实际光线用于各种光学测量上;光线用于各种光学测量上;3 3)从光机结合的模式向光机电算一体化的模式转换,)从光机结合的模式向光机电算一体化的模式转换,实现测量与
13、控制的一体化。实现测量与控制的一体化。从从功能上功能上说,近代光学测试技术的说,近代光学测试技术的现状现状主要有三点:主要有三点:1)1)从从测量发展成为测量发展成为测量;测量;2)2)从从测量发展成为测量发展成为测量;测量;3)3)从从度测量发展成度测量发展成的,具有存贮、记录功的,具有存贮、记录功能的测量。能的测量。合理选择光学测试方法的合理选择光学测试方法的五点原则五点原则:以测以测温度温度为例,若我们采用传感器测量,那么如何选为例,若我们采用传感器测量,那么如何选择合适的传感器呢?择合适的传感器呢?温度传感器有四种主要类型:温度传感器有四种主要类型:热电偶热电偶、热敏电阻热敏电阻、电阻
14、温度检测器电阻温度检测器(RTDRTD)和和ICIC温度传感器温度传感器(见下表见下表)。1)1)测定对象;测定对象;2)2)测定范围;测定范围;3)3)灵敏度或精度;灵敏度或精度;4)4)经济性;经济性;5)5)测试环境。测试环境。将传感器的输出馈将传感器的输出馈送给一个控制送给一个控制CUPCUP散散热风扇转速的脉冲热风扇转速的脉冲宽度调制器宽度调制器(PWM)(PWM)或或DACDAC。这样可将。这样可将CPUCPU的温度保持在设计的温度保持在设计要求之内要求之内(见图见图3)3)。风扇转度控制在消风扇转度控制在消费电子产品中正变费电子产品中正变得越来越重要。得越来越重要。自动风扇转速控
15、制实际上是使用一个本地数字输自动风扇转速控制实际上是使用一个本地数字输出温度传感器来检测出温度传感器来检测CPUCPU的实际管芯温度。的实际管芯温度。作业作业:选择光学测试方法的基本原则有哪些选择光学测试方法的基本原则有哪些,对照这些原则对照这些原则,对比对比衍射计量和全息计量衍射计量和全息计量.工业生产的精密化、自动化和智能化,对光学工业生产的精密化、自动化和智能化,对光学测试技术提出了新要求,促使光学测试技术的近代测试技术提出了新要求,促使光学测试技术的近代发展走向如下几个方向:发展走向如下几个方向:(1)(1)亚微米级亚微米级、纳米级纳米级的高精密光学测量方法首先得的高精密光学测量方法首
16、先得到优先发展;到优先发展;(2)(2)快速发展快速发展小型的小型的、微型的微型的非接触式光学传感器;非接触式光学传感器;(3)(3)半导体激光器半导体激光器(LD)(LD)及其阵列,及其阵列,光滤波光滤波器器,光电探测阵列光电探测阵列等新器件将在过程控制,在线测等新器件将在过程控制,在线测量与控制上得到广泛应用;量与控制上得到广泛应用;(4)(4)微光学微光学这类微结构系统将崭露头角;这类微结构系统将崭露头角;(8)(8)以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本以微细加工技术为基础的高精度、小尺寸、低成本的的集成光学集成光学和其他微传感器将成为技术的主流方向;和其他微传感器将成为技术的主
17、流方向;(5)(5)快速、高效的快速、高效的3 3一一D(D(三维三维)测量技术将取得突破;测量技术将取得突破;(6)(6)发展带存贮功能的全场动态应变测量仪器;发展带存贮功能的全场动态应变测量仪器;(7)(7)发展发展闭环闭环式光学测试技术,实现光学测量与光学式光学测试技术,实现光学测量与光学控制的一体化;控制的一体化;(9)(9)发展光学诊断和光学无损检测技术。发展光学诊断和光学无损检测技术。2 2、声光光开关技术声光光开关技术 基本原理:基本原理:控制电信号经换能器后产生一定频率的声控制电信号经换能器后产生一定频率的声表面波,声表面波在声光介质中传播,使介质折射率表面波,声表面波在声光介
18、质中传播,使介质折射率发生周期性变化,形成了一个运动的衍射光栅,当入发生周期性变化,形成了一个运动的衍射光栅,当入射光束满足布拉格衍射条件时,就可引起光的偏转,射光束满足布拉格衍射条件时,就可引起光的偏转,偏转角由声波的频率和入射光波长决定。偏转角由声波的频率和入射光波长决定。声光光开关的切换速度在毫秒量级,该技术可方声光光开关的切换速度在毫秒量级,该技术可方便地用来制作端口数较少的光开关。便地用来制作端口数较少的光开关。声光光开关是利用介质的声光效应。声光光开关是利用介质的声光效应。3 3、Mach-ZehnderMach-Zehnder干涉仪型光开关干涉仪型光开关 通常在铌酸锂衬底上制作一
19、对平行光波导,波导两通常在铌酸锂衬底上制作一对平行光波导,波导两端分别连接一个端分别连接一个Y Y形分束器。向波导臂注入电流将改变形分束器。向波导臂注入电流将改变光开关的折射率,使光程相应变化,形成相干增强或相光开关的折射率,使光程相应变化,形成相干增强或相消,达到开关的目的。消,达到开关的目的。基本原理:基本原理:开关速度快,在微秒量级;开关速度快,在微秒量级;消光比不够高。消光比不够高。在介质材料(如玻璃或硅基片)先做上波导结构在介质材料(如玻璃或硅基片)先做上波导结构,然后然后,再在波导上蒸镀金属薄膜加热器。当电流通过再在波导上蒸镀金属薄膜加热器。当电流通过加热器时加热器时,金属薄膜通电
20、发热金属薄膜通电发热,改变了波导分支区域内改变了波导分支区域内的热量分布的热量分布,导致其下面的波导的折射率发生变化导致其下面的波导的折射率发生变化,这这样就可将光耦合从主波导引导至目的分支波导样就可将光耦合从主波导引导至目的分支波导,从而从而实现光的开关动作。实现光的开关动作。4 4、热光光开关热光光开关数字型光开关(数字型光开关(DOSDOS)和干涉型光开关)和干涉型光开关(Interferometric switches)(Interferometric switches)。微光学微光学 微光学(微光学(micro-optiCSmicro-optiCS)是微米尺度上的光学,)是微米尺度上
21、的光学,其中包括微米尺度的光学表面微结构。微光学在日其中包括微米尺度的光学表面微结构。微光学在日本称为微小光学。本称为微小光学。物理意义上的微光学其单元尺寸已在光波长量级,物理意义上的微光学其单元尺寸已在光波长量级,因此,建立在单元尺度远大于光波长的常规光学,其因此,建立在单元尺度远大于光波长的常规光学,其主要理论及设计方法已不适用微光学或其计算结果不主要理论及设计方法已不适用微光学或其计算结果不够精确。够精确。微光学是一个知识密集、前沿和技术先进的新的微光学是一个知识密集、前沿和技术先进的新的光学学科分支。光学学科分支。闭环控制闭环控制 输出量直接或间接地反馈到输入端,形成闭环参输出量直接或
22、间接地反馈到输入端,形成闭环参与控制的系统称为闭环控制系统。也叫反馈控制系统。与控制的系统称为闭环控制系统。也叫反馈控制系统。为了实现闭环控制,必须对输出量进行测量,并为了实现闭环控制,必须对输出量进行测量,并将测量的结果反馈到输入端与输入量进行相减得到偏将测量的结果反馈到输入端与输入量进行相减得到偏差,再由偏差产生直接控制作用去消除偏差。整个系差,再由偏差产生直接控制作用去消除偏差。整个系统形成一个闭环。统形成一个闭环。集成光学集成光学integated opticsintegated optics研究集成光路特性研究集成光路特性和制造技术以及与微电子学相结合的学科。把和制造技术以及与微电子
23、学相结合的学科。把光源光源、各种各种光学元件光学元件、耦合器耦合器和和检测器检测器等做成薄膜形式并等做成薄膜形式并组合在同一衬底上的微型光学回路称为集成光路。组合在同一衬底上的微型光学回路称为集成光路。集成光路中现已制成的光学元件包括薄膜微型激集成光路中现已制成的光学元件包括薄膜微型激光器、薄膜透镜、棱镜、薄膜型光学波导、耦合器、光器、薄膜透镜、棱镜、薄膜型光学波导、耦合器、光开关、光学调制器、滤波器、光学双稳态器件、模光开关、光学调制器、滤波器、光学双稳态器件、模-数转换器、存储器和检测器等。数转换器、存储器和检测器等。1.2 1.2 光学测量中的常用光源光学测量中的常用光源1.2.1 1.
24、2.1 光源选择的基本要求和光源的分类光源选择的基本要求和光源的分类 为适应各种科技工作的实际需要设计并生产为适应各种科技工作的实际需要设计并生产了各种不同光学性质和结构特点的光源。在具体的了各种不同光学性质和结构特点的光源。在具体的光电检测系统中,应按实际工作的要求光电检测系统中,应按实际工作的要求选择光源选择光源,这些这些要求要求综合起来主要包括以下几个方面。综合起来主要包括以下几个方面。除去那些直接检测规定光源或辐射源特性的光电除去那些直接检测规定光源或辐射源特性的光电检测系统外,总是要求光源特性满足检测的需要。检测系统外,总是要求光源特性满足检测的需要。按照检测任务的不同,要求的光谱范
25、围亦不同,如按照检测任务的不同,要求的光谱范围亦不同,如可见光区、紫外光区或红外光区等。有时要求连续可见光区、紫外光区或红外光区等。有时要求连续的光谱,有时又要求几个特定的光谱段。系统对光的光谱,有时又要求几个特定的光谱段。系统对光谱范围的要求都应在选择光源时给以满足。谱范围的要求都应在选择光源时给以满足。为增大光电检测系统的信号和为增大光电检测系统的信号和信噪比信噪比,这里引入,这里引入光源光源和和光电探测器光电探测器之间之间光谱匹配系数光谱匹配系数的概念,以此描的概念,以此描述两光谱特性间的重合程度或一致性。述两光谱特性间的重合程度或一致性。光谱匹配系数光谱匹配系数定义定义为:为:的的相相
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