固体中原子及分子的运动-OK课件.ppt
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1、第五章 固体中原子及分子的运动1第一节第一节 引引 言言第二节第二节 扩散定律及其应用扩散定律及其应用第三节第三节 扩散微观理论与机制扩散微观理论与机制第四节第四节 扩散系数和扩散激活能扩散系数和扩散激活能第五节第五节 上坡扩散和反应扩散上坡扩散和反应扩散第六节第六节 影响扩散系数的因素影响扩散系数的因素2第一节第一节 引引 言言 物质在一定的温度下,处于晶格平衡位置上的原子进行物质在一定的温度下,处于晶格平衡位置上的原子进行快速热振动,当获得的能量足够大时,部分原子可脱离快速热振动,当获得的能量足够大时,部分原子可脱离晶格的束缚而发生微观意义上的跃迁并因此而导致一种晶格的束缚而发生微观意义上
2、的跃迁并因此而导致一种宏观上的物质流动现象,此即为扩散。宏观上的物质流动现象,此即为扩散。在固体材料中,扩散是实现物质传输的唯一方式。在固体材料中,扩散是实现物质传输的唯一方式。材料在生产使用中的许多现象及材料的某些性能都与扩材料在生产使用中的许多现象及材料的某些性能都与扩散密切相关,如合金中的固态相变、冷变形金属的回复散密切相关,如合金中的固态相变、冷变形金属的回复与再结晶、凝固、偏析、沉淀、粉末冶金的烧结、均匀与再结晶、凝固、偏析、沉淀、粉末冶金的烧结、均匀化退火及氧化、蠕变等等。化退火及氧化、蠕变等等。因此,阐述扩散宏观定律及微观机制,了解影响扩散的因此,阐述扩散宏观定律及微观机制,了解
3、影响扩散的重要因素,以此为基础深入研究扩散行为具有理论与现重要因素,以此为基础深入研究扩散行为具有理论与现实的双重意义。实的双重意义。3扩散的几种类型扩散的几种类型 化学扩散和自扩散:扩散系统中存在浓度梯度的扩散称为化学扩散,化学扩散和自扩散:扩散系统中存在浓度梯度的扩散称为化学扩散,没有浓度梯度的扩散称为自扩散,后者是指纯金属的自扩散。没有浓度梯度的扩散称为自扩散,后者是指纯金属的自扩散。上坡扩散和下坡扩散:扩散系统中原子由浓度高处向浓度低处的扩散上坡扩散和下坡扩散:扩散系统中原子由浓度高处向浓度低处的扩散称为下坡扩散,由浓度低处向浓度高处的扩散称为上坡扩散。称为下坡扩散,由浓度低处向浓度高
4、处的扩散称为上坡扩散。4 短路扩散:原子在晶格内部的扩散称为体扩散或称晶格扩散;沿短路扩散:原子在晶格内部的扩散称为体扩散或称晶格扩散;沿晶体中缺陷进行的扩散称为短路扩散,后者主要包括表面扩散、晶晶体中缺陷进行的扩散称为短路扩散,后者主要包括表面扩散、晶界扩散、位错扩散等。短路扩散比体扩散快得多。界扩散、位错扩散等。短路扩散比体扩散快得多。相变扩散:原子在扩散过程中由于固溶体过饱和而生成新相的扩相变扩散:原子在扩散过程中由于固溶体过饱和而生成新相的扩散称为相变扩散或称反应扩散。散称为相变扩散或称反应扩散。本章主要讨论扩散的宏观规律、微观机制和影响扩散的因素。本章主要讨论扩散的宏观规律、微观机制
5、和影响扩散的因素。5第二节第二节 扩散定律及其应用扩散定律及其应用 一、基本概念一、基本概念 1.1.扩散通量扩散通量 扩散通量扩散通量单位时间内通过单位横截面的粒子数。单位时间内通过单位横截面的粒子数。用用J J表示,为矢量(因为扩散流具有方向性)表示,为矢量(因为扩散流具有方向性)单位:粒子数单位:粒子数/(s.ms.m2 2)62.稳定扩散和不稳定扩散1)稳定扩散 是指在垂直扩散方向的任一平面上,单位时间内通过该平面单位面积的粒子数一定,即任一点的浓度不随时间而变化,2)不稳定扩散 是指扩散物质在扩散介质中浓度随时间发生变化。扩散通量与位置有关。7二、二、菲克第一定律菲克第一定律 185
6、81858年,菲克(年,菲克(FickFick)参照了傅里叶()参照了傅里叶(FourierFourier)于)于18221822年建立的导热方年建立的导热方程,获得了描述物质从高浓度区向低浓度区迁移的定量公式。程,获得了描述物质从高浓度区向低浓度区迁移的定量公式。假设有一假设有一单相固溶体,横截面积为单相固溶体,横截面积为A A,浓度,浓度C C不均匀,在不均匀,在dt dt时间内,沿方向通过处时间内,沿方向通过处截面所迁移的物质的量与该处的浓度梯度成正比,这就是菲克第一定律。截面所迁移的物质的量与该处的浓度梯度成正比,这就是菲克第一定律。8扩散过程中溶质原子的分布扩散过程中溶质原子的分布9
7、(1 1)第一定律描述:单位时间内通过垂直于扩散方向的某一单位面积截面的)第一定律描述:单位时间内通过垂直于扩散方向的某一单位面积截面的扩散物质流量(扩散通量扩散物质流量(扩散通量J J)与浓度梯度成正比。)与浓度梯度成正比。10(2 2)表达式:)表达式:由扩散通量的定义,有由扩散通量的定义,有 式中式中J J称为扩散通量常用单位是称为扩散通量常用单位是g/(cm2.s)g/(cm2.s)或或mol/(cm2.s)mol/(cm2.s);D D等于浓度梯度为等于浓度梯度为1 1时在时在1 1秒内通过秒内通过1 1面积的物质质量或原子面积的物质质量或原子数。数。D D越大越大,则扩散越快。它是
8、比例系数,称为原子扩散系数;则扩散越快。它是比例系数,称为原子扩散系数;负号表示扩散由高浓度向低浓度方向进行。负号表示扩散由高浓度向低浓度方向进行。xCDJ1112讨论:讨论:对于菲克第一定律,有以下三点值得注意:对于菲克第一定律,有以下三点值得注意:(1 1)不涉及扩散系统内部原子运动的微观过程。)不涉及扩散系统内部原子运动的微观过程。(2 2)扩散系数反映了扩散系统的特性,并不仅仅取决于某一种组元的特性。)扩散系数反映了扩散系统的特性,并不仅仅取决于某一种组元的特性。(3 3)不仅适用于扩散系统的任何位置,而且适用于扩散过程的任一时刻。)不仅适用于扩散系统的任何位置,而且适用于扩散过程的任
9、一时刻。13三、三、菲克第二定律菲克第二定律14(1 1)表达式)表达式:如果扩散系数与浓度无关,则上式可写成如果扩散系数与浓度无关,则上式可写成 一般称上两式为菲克第二定律。一般称上两式为菲克第二定律。)(xCDxtC22xCDtC15(2 2)物理意义)物理意义扩散过程中浓度变化率扩散过程中浓度变化率 与沿着扩散路径上的浓度梯度与沿着扩散路径上的浓度梯度 随着扩随着扩散距离散距离 dx dx 的变化率成正比。的变化率成正比。tCxC16四、四、菲克第二定律的应用菲克第二定律的应用对于非稳态扩散,可以先求出扩散第二定律的通解,再根据问题的初始条件对于非稳态扩散,可以先求出扩散第二定律的通解,
10、再根据问题的初始条件和边界条件,求出问题的特解。为了方便应用,下面介绍几种常见的特解,和边界条件,求出问题的特解。为了方便应用,下面介绍几种常见的特解,并且在下面讨论中均假定扩散系数为常数。并且在下面讨论中均假定扩散系数为常数。17(一)误差函数解(一)误差函数解误差函数解适合于无限长或者半无限长物体的扩散。无限长的意义是相对于误差函数解适合于无限长或者半无限长物体的扩散。无限长的意义是相对于原子扩散区长度而言,只要扩散物体的长度比扩散区长得多,就可以认为物原子扩散区长度而言,只要扩散物体的长度比扩散区长得多,就可以认为物体是无限长的。体是无限长的。(1 1)无限长扩散偶的扩散)无限长扩散偶的
11、扩散(2 2)半无限长物体的扩散)半无限长物体的扩散18(1 1)无限长扩散偶的扩散)无限长扩散偶的扩散1912,0;,0CCxCCx12,;,CCxCCx将焊接面作为坐标原点,扩散沿将焊接面作为坐标原点,扩散沿x x轴方向,列出扩散问题轴方向,列出扩散问题的初始条件和边界条件分别为的初始条件和边界条件分别为t t0 0时:时:t0t0时:时:20采用变量代换法求解,结果如下:采用变量代换法求解,结果如下:无限长扩散偶中的溶质浓度随扩散距离和时间的变化关无限长扩散偶中的溶质浓度随扩散距离和时间的变化关系:系:)2(DtxerfDtxerfCCCCC2222121式中式中 是高斯误差函数。其表达
12、式为:是高斯误差函数。其表达式为:02)exp(2)(derf 21下面针对误差函数解讨论几个问题。下面针对误差函数解讨论几个问题。曲线的特点:根据上式可以确定扩散开始以后焊接面处曲线的特点:根据上式可以确定扩散开始以后焊接面处的浓度的浓度CsCs,即当,即当t t0 0,x x0 0时时 表明界面浓度为扩散偶原始浓度的平均值,该值在扩散过程表明界面浓度为扩散偶原始浓度的平均值,该值在扩散过程中一直保持不变。若扩散偶右边金属棒的原始浓度中一直保持不变。若扩散偶右边金属棒的原始浓度C C1 10 0,则,则上式简化为上式简化为 而焊接面浓度而焊接面浓度CsCsC C2 2/2/2。在任意时刻,浓
13、度曲线都相对于在任意时刻,浓度曲线都相对于x x0 0,CsCs(C C1 1C C2 2)/2/2为中为中心对称。随着时间的延长,浓度曲线逐渐变得平缓,当心对称。随着时间的延长,浓度曲线逐渐变得平缓,当tt时,扩散偶各点浓度均达到均匀浓度(时,扩散偶各点浓度均达到均匀浓度(C C1 1C C2 2)/2/2。221CCCsDtxerfCC212222扩散的抛物线规律:由关系式看出,如果要求距焊接面为扩散的抛物线规律:由关系式看出,如果要求距焊接面为x x处的浓度处的浓度达到达到C C,则所需要的扩散时间可由下式计算,则所需要的扩散时间可由下式计算式中,式中,K K是与晶体结构有关的常数。此关
14、系式表明,原子的扩散距离与时是与晶体结构有关的常数。此关系式表明,原子的扩散距离与时间呈抛物线关系,许多扩散型相变的生长过程也满足这种关系。间呈抛物线关系,许多扩散型相变的生长过程也满足这种关系。DtKx 23在应用误差函数去解决扩散问题时,对于初始浓度曲线上只有一在应用误差函数去解决扩散问题时,对于初始浓度曲线上只有一个浓度突变台阶(相当于有一个焊接面),这时可以将浓度分布函数个浓度突变台阶(相当于有一个焊接面),这时可以将浓度分布函数写成写成然后由具体的初始和边界条件确定出比例常数然后由具体的初始和边界条件确定出比例常数A A和和B B,从而获得问题的,从而获得问题的解。解。DtxBerf
15、AC224(2 2)半无限长物体的扩散)半无限长物体的扩散生产中最典型的例子是化学热处理,如低碳钢奥氏体化后的渗碳表面强生产中最典型的例子是化学热处理,如低碳钢奥氏体化后的渗碳表面强化工艺。化工艺。如长度(或厚度)足够的渗碳工件的原始碳浓度为如长度(或厚度)足够的渗碳工件的原始碳浓度为C C0 0,渗碳气氛的碳浓,渗碳气氛的碳浓度为度为C Cs s。假设渗碳一开始,表面碳浓度即达到假设渗碳一开始,表面碳浓度即达到C Cs s并始终保持不变,则可写出相应并始终保持不变,则可写出相应的初始条件和边界条件。的初始条件和边界条件。25将坐标原点将坐标原点x x0 0放在表面上,放在表面上,x x轴的正
16、方向由表面垂直向内,即碳原子的扩散轴的正方向由表面垂直向内,即碳原子的扩散方向。假设渗碳一开始,表面碳浓度即达到方向。假设渗碳一开始,表面碳浓度即达到C Cs s并始终保持不变,则可写出相并始终保持不变,则可写出相应的初始条件和边界条件。应的初始条件和边界条件。26可求出满足边界条件的渗碳层中碳浓度分布函数可求出满足边界条件的渗碳层中碳浓度分布函数 :若为纯铁渗碳,若为纯铁渗碳,C C0 00 0,则上式简化为:,则上式简化为:即可求出渗碳工件在经过即可求出渗碳工件在经过t t时间后,距表面任意位置时间后,距表面任意位置x x处的碳浓度处的碳浓度C C(x x,t t)。DtxerfCCCCs
17、21)(00DtxerfCCs2127 而在渗碳工艺中,若给定渗层厚度而在渗碳工艺中,若给定渗层厚度x x处的渗碳浓度为定处的渗碳浓度为定值值C C,则上式可变形为:,则上式可变形为:根据上式可以估算达到一定渗碳层深度所需要的时根据上式可以估算达到一定渗碳层深度所需要的时间。间。)2(0Dtxerfccccsxs28由由 可知,规定浓度的渗层厚度正比于渗碳时间的平方根。显然,同可知,规定浓度的渗层厚度正比于渗碳时间的平方根。显然,同一条件下要使渗层厚度增大一倍,则渗碳时间将为原来的四倍。一条件下要使渗层厚度增大一倍,则渗碳时间将为原来的四倍。另外,除了化学热处理之外,金属的真空除气、钢铁材料在
18、高温下的表面脱另外,除了化学热处理之外,金属的真空除气、钢铁材料在高温下的表面脱碳也是半无限长扩散的例子,只不过对于后者来说,表面浓度始终为零。碳也是半无限长扩散的例子,只不过对于后者来说,表面浓度始终为零。DtKx 29例例1 1:含:含0.20%0.20%碳的碳钢在碳的碳钢在927 927 进行气体渗碳。假定表进行气体渗碳。假定表面面C C含量增加到含量增加到0.9%0.9%,试求距表面,试求距表面0.5mm0.5mm处的处的C C含量达含量达0.4%0.4%所需的时间。已知所需的时间。已知D D972972=1.28=1.28 1010-11-11 m m2 2/s/s。解:已知解:已知
19、c cs s,x x,c c0 0,D D,c cx x代入式得代入式得erferf()=0.7143=0.7143查表得查表得erferf(0.80.8)=0.7421=0.7421,erferf(0.750.75)=0.7112=0.7112,用内差,用内差法可得法可得=0.755=0.755因此,因此,t=8567s=2.38ht=8567s=2.38h)2(0Dtxerfccccsxs30例例2 2:渗碳用钢及渗碳温度同上,求渗碳:渗碳用钢及渗碳温度同上,求渗碳5h5h后距表后距表面面0.5mm0.5mm处的处的c c含量。含量。解:已知解:已知c cs s,x x,c c0 0,D
20、D,t t代入式得代入式得(0.9%-c 0.9%-c x x )/0.7%=erf/0.7%=erf(0.5210.521)=0.538=0.538 c c x x=0.52%=0.52%与例与例1 1比较可以看出,渗碳时间由比较可以看出,渗碳时间由2.38h2.38h增加到增加到5h5h,含含0.2%C0.2%C的碳钢表面的碳钢表面0.5mm0.5mm处的处的C C含量仅由含量仅由0.4%0.4%增加增加到到0.52%0.52%。)2(0Dtxerfccccsxs31(二)高斯函数解(二)高斯函数解高斯解(又称薄膜解)适用于满足以下条件的扩散:扩散组元先集中在高斯解(又称薄膜解)适用于满足
21、以下条件的扩散:扩散组元先集中在表面形成一层厚度可忽略的薄膜,在扩散进行中其总量保持定值表面形成一层厚度可忽略的薄膜,在扩散进行中其总量保持定值MM。例如,。例如,在半导体器件生产中,往往先在硅表面沉积一层硼薄膜,然后加热使硼在半导体器件生产中,往往先在硅表面沉积一层硼薄膜,然后加热使硼在硅中扩散。在硅中扩散。32则扩散第二方程的初始、边界条件是:则扩散第二方程的初始、边界条件是:其解为其解为33 如果沉积薄层处于一对扩散偶的对焊面上,则扩散由原如果沉积薄层处于一对扩散偶的对焊面上,则扩散由原来的一侧扩散变为向左右两侧扩散。若组成扩散偶的两来的一侧扩散变为向左右两侧扩散。若组成扩散偶的两个扩散
22、体性质完全相同,则上式改写为个扩散体性质完全相同,则上式改写为 在一定温度下扩散一定时间后,扩散组元浓度将以对焊在一定温度下扩散一定时间后,扩散组元浓度将以对焊面为中心呈对称分布面为中心呈对称分布 34在上式中,令在上式中,令 ,它们分别表示浓度分布曲线的振,它们分别表示浓度分布曲线的振幅和宽度。当幅和宽度。当t t0 0时,时,A A,B B0 0;当;当t t时,时,A A0 0,B B。因此,。因此,随着时间延长,浓度曲线的振幅减小,宽度增加,这就是高斯函数解的随着时间延长,浓度曲线的振幅减小,宽度增加,这就是高斯函数解的性质,性质,DtBDtMA2,2/薄膜扩散源的浓度随距离及时间的变
23、化,数字表示不同的薄膜扩散源的浓度随距离及时间的变化,数字表示不同的DtDt值值35 例例 制作半导体元件时,在硅表面涂敷总量制作半导体元件时,在硅表面涂敷总量MM=9.43=9.4310101919原子的硼薄层,加原子的硼薄层,加热到热到11001100使之扩散使之扩散7 710107 7s s后,表面硼浓度达到多少?测得此温度下硼在后,表面硼浓度达到多少?测得此温度下硼在硅中的扩散系数硅中的扩散系数D D=4=41010-7-7m m2 2/s/s。解:表面处即解:表面处即x x=0=0,利用高斯解可得:,利用高斯解可得:C C=1=110101919原子原子/m/m3 336第三节第三节
24、 扩散微观机制及现象扩散微观机制及现象上节给出了固体材料中物质扩散的宏观规律,为进一步明确扩散的本上节给出了固体材料中物质扩散的宏观规律,为进一步明确扩散的本质,有必要深入了解扩散的微观机制,从原子(或分子)的热振动出质,有必要深入了解扩散的微观机制,从原子(或分子)的热振动出发研究其扩散行为。发研究其扩散行为。原子扩散既可以沿晶体的表面或晶体缺陷进行,也可以在晶体内部通原子扩散既可以沿晶体的表面或晶体缺陷进行,也可以在晶体内部通过晶体点阵进行体扩散,对于后者提出了多种可能的扩散机制,目前过晶体点阵进行体扩散,对于后者提出了多种可能的扩散机制,目前被普遍认可的是间隙机制和空位机制。被普遍认可的
25、是间隙机制和空位机制。37(一)间隙机制(一)间隙机制 按照发生迁移的原子尺寸大小,可将间隙机制分为直接和间接间隙机按照发生迁移的原子尺寸大小,可将间隙机制分为直接和间接间隙机制两种。制两种。1.1.直接间隙机制直接间隙机制在间隙型固溶体中,像氢、碳、氧、氮等尺寸较小的间隙型溶质原子在在间隙型固溶体中,像氢、碳、氧、氮等尺寸较小的间隙型溶质原子在晶格中从一个间隙位置跳动到另一个相邻的间隙位置即是以这种方式进晶格中从一个间隙位置跳动到另一个相邻的间隙位置即是以这种方式进行。行。38面心立方晶体的八面体间隙及(面心立方晶体的八面体间隙及(001001)晶面)晶面原子的自由能与位置之间的关系原子的自
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