QCC短路圈会成果报告汇编课件.ppt

1、QCC短路圈會圈會成員：圈長：賴國城 輔導員：黃貴煥 圈員：陳俊廷、龔靖城 陳溢群、陳建銘 方麒銘工作進度六月:收集不良樣本，層別不良原因。七月:對策實施、數據確認、對策修正。八月:全品目水平展開。九月:對策數據確認與修正。對策品目選定對策品目選定依據每月計劃投入LOT數及LOT不良率，我們選定兩個對策品目:FD0475FS0512 不良現況依據取樣1142 PCS觀察分析，層別出目前FD0475與FS0512主要有下列不良現況:1.銅面上有異物沾附(膜屑)，導致銅材未被氯化銅攻擊2.蝕刻不淨3.其他因素 銅面上異物沾附(膜屑):70.3%蝕刻不淨:19.1%(FS0512)其他因素:10.6

2、%膜屑反沾膜屑反沾問題層別我們將顯像後的製品烘乾，用顯微鏡觀察發現，有大量膜屑沾附。觀察顯像後水洗槽的濾網，發現大量膜屑被帶出。我們取樣5月份週保前後各5 LOTs做比對資料來源:ERP週保前日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS05539505-00565073.50%9505-00566132.00%9505-00567031.50%9505-00568031.50%9505-00569343.50%5月14日FS05939505-02722070.29%9505-02723030.13%9505-027240100.42%9505-02725830.46%9505-02726040

3、.17%9505-07155單位:Pcs週保後日期品目製番銅殘短路LOT不良率5月9日FS02829505-01335030.03%9505-01336060.06%9505-01337000.00%9505-01338120.03%9505-01339030.03%5月14日FS06969505-04280020.10%9505-04281000.00%9505-04282020.10%9505-05265040.20%9505-05266020.10%5月21日FS06339504-15837000.00%9504-15838000.00%9504-15839000.00%9504-158

4、40010.01%9504-15841000.00%平均LOT不良率:0.04%故我們假設造成短路LOT不良率差異的原因為:1.濾袋更換，提高過濾效果。2.藥水更新，提高顯像能力。3.滾輪清潔、降低反沾機率。要因分析:膜屑反沾人濾網清洗未落實，濾袋更換未落實。機過濾效果不佳，滾輪排列設計不佳。料濾袋、濾網網目過大，法藥水老化，自動定量效果不佳。對策:1.變更滾輪排列，減少實心滾輪使用2.增加顯像藥液、濾心濾袋更換頻度3.建浴室建浴程序標準化4.調整自動添加系統，維持藥水穩定變更滾輪排列變更前變更後將原有放置於顯像槽與水洗槽間之實心滾輪，變更為輪片式滾輪，減少滾輪與製品接觸面積，降低異物反沾之機

5、率。將水質PH值控制於7.5以上，防止弱酸水質與帶出的顯影液再反應。資料來源:ERP單位:Pcs對策前對策後製番批號 短路銅殘LOT不良率製番批號 短路銅殘LOT不良率9505-099471400.88%9506-00795100.63%9505-099483302.06%9506-00803130.81%9505-09949991.13%9506-0079880.50%9505-099501030.81%9506-00804110.69%9505-099542601.63%9506-0079690.56%9505-099532311.50%9506-00801140.88%9505-0995

6、81000.63%9506-03239100.63%9505-09961400.25%9506-03240110.69%9505-099621500.94%9506-03241130.81%9505-099632081.75%9506-0324670.44%我們測試了12 LOTS，並與測試前做比對。變更濾網網目我們將顯像後水洗槽原本使用25網目的濾罐更換為48網目，藉以提高過濾效果。濾網變更後，仍有大量膜屑帶出分析藥水老化與溶膜量顯像藥液顯像藥液:DOWN槽後，追蹤其葯液變化發現，自動添加系統無法維持穩定的作業濃度。取樣時間2006/8/11 13:002006/8/11 18:30PH值碳

7、酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.420.96%10.810.84%雙面顯影槽10.530.89%10.850.87%取樣時間2006/8/12 07:302006/8/12 13:10PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.880.87%10.850.87%雙面顯影槽10.680.83%週保養取樣時間2006/8/15 08:202006/8/15 12:30PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉濃度單面顯影槽10.990.96%110.97%雙面顯影槽10.970.99%10.980.92%取樣時間2006/8/16 08:502006/8/16 15:20PH值碳酸鈉濃度PH值碳酸鈉

8、濃度單面顯影槽11.040.98%11.120.91%雙面顯影槽11.031.00%11.090.89%根據DRY FILM供應商華立的建議:25um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S)要 0.4m2/L20um厚度的DRY FLIM藥水實際溶膜量(S)要 0.5m2/L依廠內生產品目去做估算:0.25m*0.3m*30%(被溶蝕率)*100(張數)=2.25 m2/lot 1000(槽體積)*0.5=500m2 1000(槽體積)*0.4=400m2 500/2.25=222 lots 20um厚DRY FILM(單面板)400/2.25=177 lots 25um厚DRY FILM(

9、雙面板)再導入每班產出量:單面板:70 lots/班 222/70=3.17 班(約1.5天)雙面板:40 lots/班 177/40=4.43 班(約2.5天)我們依據華立提供的滴定方法，量測單面板機台顯影槽DOWN槽前、後實際溶膜量。DOWN槽前一日(12:00)取樣滴定S=0.37789DOWN槽後(09:00)取樣滴定S=0.13966DOWN槽後一日(10:00)取樣滴定S=0.31217DOWN槽後一日(16:00)取樣滴定S=0.39432單面蝕刻機(S 0.5)增加DOWN槽頻度、濾袋更換頻度。1.先開立暫定條件，增加DOWN槽頻度，提高藥水溶膜能力。2.增加濾袋更換頻度，增加

10、顯像槽過濾能力。設定補充秒數設定間隔秒數實際補充秒數實際間隔秒數CYCLE TIME實際補充量預估每日補充量中繼次數1030106070625ml771.43 L123420302060801250ml1350 L1080 30303060901980ml1900.8 L9601010104050625ml1080 L17281020105060625ml900 L14401030106070625ml771.43 L1234單面蝕刻機顯象中繼槽作動測試設定補充秒數設定間隔秒數實際補充秒數實際間隔秒數CYCLE TIME實際補充量預估每日補充量中繼次數1030106070475ml586.29

11、 L12342030206080980ml1058.40 L1080 30303060901450ml1566 L9601010104050475ml820.8 L17281020105060475ml640 L14401030106070475ml586.29 L1234雙面蝕刻機顯象中繼槽作動測試建浴室:在自動添加的測試中發現建浴室顯像藥水的調配程序未被標準化，影響測試的準確性。在調整自動添加量的過程，我們導入了PH值作為顯像藥水老化與否的判定依據。條件一、自動添加設定10秒，間隔10秒 單面機台:每次補充量 625ml，平均PH值為10.57 雙面機台:每次補充量 475ml，平均PH值

12、為10.49條件二、自動添加設定30秒，間隔30秒 單面機台:每次補充量 1980ml，平均PH值為11.12 雙面機台:每次補充量 1450ml，平均PH值為11.09藥水商給的建議是在PH11以上，而參考旗勝的管制點是設在PH10.5以上FD0475 LOT不良率資料來源:ERP月份4月5月6月7月8月銅殘1.43820.41120.26980.10110短路0.36441.21180.79960.17290銅殘+短路(Q版)000.09960.5390.6294LOT不良率(合計)1.80261.6231.1690.8130.6294改善效益:FS0512 LOT不良率資料來源:ERP月

13、份4月5月6月7月8月銅殘0.040460.20790.05361.69640.0047短路4.68919.14693.95324.59880.4638銅殘+短路(Q版)000.506402.2325LOT不良率(合計)4.729569.35484.51326.29522.701八月導入全品目後:TARGET:0.37資料來源:ERP擷取自10月24日止月份4月5月6月7月8月9月10月銅殘0.150.210.10.070.0100短路0.490.670.420.18000銅殘+短路(新制)000.070.390.750.720.59LOT不良率(合計)0.640.880.590.640.76

14、0.720.59 蝕刻不淨要因分析:蝕刻不淨人蝕刻速度過快未在作業前做測速動作品目切換未接PET作間隔，直接調整速度機平行度平行度未校正，導致製品均勻性不佳擺動機構異常，噴嘴藥液噴灑無法涵蓋製品噴嘴、噴管阻塞或破裂料來料異常銅厚不均法線寬間距DRY FILMDRY FILM與乾膜厚度搭配不佳設計補正值平行度校正導入:將平行度校正步驟標準化，並由製技人員測試完成後，再以教育訓練模式將技術移交現場推行。平行度校正前平行度校正後FS0512平行度與BP點確認數據量測方向蝕刻前進方向位置顯像後線寬顯像後線距蝕刻後線寬蝕刻後線距上-10.0830.0430.0550.069上-20.0840.0420.

15、0600.066上-30.0840.0410.0610.068上-40.0780.0460.0610.067上-50.0830.0450.0560.068上-60.0810.0390.0510.075上-70.0900.0430.0580.067上-80.0880.0370.0510.075位置顯像後線寬顯像後線距蝕刻後線寬蝕刻後線距下-10.0920.0450.0570.069下-20.0800.0380.0610.065下-30.0860.0390.0610.067下-40.0840.0430.0620.068下-50.0830.0440.0620.066下-60.0830.0480.0540.072下-70.0880.0470.0570.067下-80.0870.0460.0540.079 測試品目:FS0512