最新-85炉简介1-PPT精品课件.ppt
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1、TDR85A-ZJS型全自动单晶炉提纲n一、概述n二、机械特点n三、电气硬件TDR85A-ZJS全自动单晶炉技术指标n1、可拉制最大硅棒直径、可拉制最大硅棒直径200mm(8););n2、极限真空度、极限真空度25mT,空炉真空泄漏率,空炉真空泄漏率45mT/hrn3、籽晶总行程:、籽晶总行程:3000mm;n4、籽晶拉速范围:、籽晶拉速范围:0480mm/h;n5、籽晶快速提升速度:、籽晶快速提升速度:400mm/min;n6、籽晶转速范围:、籽晶转速范围:048rpm;n7、坩埚的升速范围:、坩埚的升速范围:0240mm/h;n8、坩埚的快速提升速度:、坩埚的快速提升速度:100mm/mi
2、n;n9、坩埚的旋转速度范围:、坩埚的旋转速度范围:020rpm;n10、坩埚的有效行程:、坩埚的有效行程:400mm;n11、主变压器容量:、主变压器容量:200KVA。全全自自动动单单晶晶炉炉自自动动工工艺艺n抽真空两次充氩气,抽极限真空抽真空两次充氩气,抽极限真空n检漏自动报警检漏自动报警n调压节流阀调节调压节流阀调节n熔料自动定埚位,氩气,功率等熔料自动定埚位,氩气,功率等n稳定缓慢稳定拉晶埚位,功率,埚转稳定缓慢稳定拉晶埚位,功率,埚转n熔接液面控温,插入籽晶熔接液面控温,插入籽晶n引晶自动控制直径引晶自动控制直径46mm,拉速目标控制,拉速目标控制n放肩自动降温曲线,拉速曲线等控制
3、放肩自动降温曲线,拉速曲线等控制n转肩缓慢等径切换转肩缓慢等径切换n等径等径控制,补温控制,直径、晶转、埚转,等径等径控制,补温控制,直径、晶转、埚转,n 炉压、埚跟、氩气等曲线控制炉压、埚跟、氩气等曲线控制n收尾收尾2种方式选择种方式选择n停炉晶位,埚位,氩气自动控制,热检漏停炉晶位,埚位,氩气自动控制,热检漏n氧化大直径炉专用,防止爆炸氧化大直径炉专用,防止爆炸n隔离隔离 自动切换氩气,计算单晶重量自动切换氩气,计算单晶重量n净化自动净化副室进行重新拉晶净化自动净化副室进行重新拉晶控制软件n 本系统控制软件,中英文界面,拥有完全自主知识产权。系统能按照工艺员写入的工艺文件,进行全自动拉晶全
4、自动拉晶。同时工艺文件可以在触摸屏上直直接修改接修改,下载立即生效,自动工艺可以单步单步执行也可以连续自动连续自动流程,为操作提供极大的自由。n在温度闭环上增加功率限制,信号故障判断诊断功能,可以排除观察孔污染,信号被干扰观察孔污染,信号被干扰,加热电源故障,加热器短路,加热器电阻突变加热器短路,加热器电阻突变,人工输入失误等错误,可以提高成晶率。6英寸单晶的等径控制8英寸等径控制 电气系统采用进口采用进口PLCPLC和工业触摸屏,进行单和工业触摸屏,进行单晶炉全自动控制。系统可靠性高,晶炉全自动控制。系统可靠性高,发热低,寿命长,维护简单。发热低,寿命长,维护简单。而某国外销售炉子采用在单个
5、工控而某国外销售炉子采用在单个工控机进行同时控制和显示。系统可靠机进行同时控制和显示。系统可靠性不高,发热大元件易老化,维护性不高,发热大元件易老化,维护成本高成本高采用最新采用最新MatroxMatrox公司的图像系统,公司的图像系统,自主开发双自主开发双CCDCCD测量系统。测量系统。9090以上的进口元件,故障低;模以上的进口元件,故障低;模块化设计能带电快速维修故障。块化设计能带电快速维修故障。双CCD测径采用光学系统将晶体图像分采用光学系统将晶体图像分到到2个独立个独立CCD完成引晶,完成引晶,等径的单独控制。等径的单独控制。图像处理速度快,引晶跟踪图像处理速度快,引晶跟踪能力强,引
6、晶效果好能力强,引晶效果好机械调整简单机械调整简单工作站监控监控8台单晶炉台单晶炉RS422高速通讯高速通讯光隔传输光隔传输实时监控实时监控EXCEL标准数据标准数据输出格式输出格式电源系统6脉波功率闭环脉波功率闭环水冷变压器,噪音小,环境温升低水冷变压器,噪音小,环境温升低电极接地故障报警电极接地故障报警限流限压连续可调限流限压连续可调缺相缺相,断水断水,超温超温,过流保护过流保护电控柜外观信号管理A电源电源B信号信号C提拉头提拉头D坩埚(与坩埚(与C映射映射)E-电源温度电源温度带指示保险丝,指示各带指示保险丝,指示各路路24V工作情况。工作情况。传感器,气动元件均为传感器,气动元件均为2
7、4VDC安全电压工作。安全电压工作。端子式线号命端子式线号命名原则便于名原则便于维护维护分色处理分色处理电控柜硬件系统电气设计示例接触器线圈接触器线圈接触器状接触器状态返回态返回过流,过热,过流,过热,漏电保护漏电保护真空泵真空泵真空按钮真空按钮0N真空按钮真空按钮0FF按钮自锁按钮自锁控制控制PLC控控制器制器接触器接触器380VAC液压系统,真空系统,加热系统的硬件监控保护设计。真空球阀真空球阀开启条件开启条件电源系统主控器结构工控机处理图像系统工控机处理图像系统PLC控制系统控制系统触摸屏触摸屏人机交换人机交换通讯线通讯线通讯线通讯线通讯线通讯线主控面板CF卡用于保存sop文件应急操作区
8、键盘仓模拟显示面板n可直观显示炉体超温状态、阀状态、冷却水量和氩气压力情况按钮面板n操作液压泵和真空泵电路插板手动引晶器n引晶软线手柄,可提供两种预设拉速n两种速度在软件界面上可实时修改故障速查表故障现象可能原因解决方案无法开机1220V电源未接入2UPS输出输出空气开关断开3UPS损坏1功率柜上电,合上220V输出空开2合上UPS输出输出空开3将UPS插头拔下,电源电源插头插在UPS插座上,UPS送修无法开启加热器动力电源未供给加热系统F9保险丝熔断功率柜未开机或处于内控状态功率柜系统故障炉体冷却水不足炉盖未合上或限位开关未压到位动力电源上电更换保险丝功率柜开机,控制方式手柄选到内控功率柜相
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