最新-第六章智能传感器1-PPT课件.ppt
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1、2022-7-221第六章 智能传感器一、定义一、定义智能传感器【智能传感器【intelligent sensorintelligent sensor】具有】具有信息处理功能的传感器。智能传感器信息处理功能的传感器。智能传感器带有带有微处理机微处理机,具有采集、处理、交换信息的,具有采集、处理、交换信息的能力,是传感器集成化与微处理机相结合能力,是传感器集成化与微处理机相结合的产物。的产物。2022-7-222需要指出,这里讲的需要指出,这里讲的“带微处理器带微处理器”包含两包含两种情况:种情况:(1 1)将传感器与微处理器集成在一个芯片)将传感器与微处理器集成在一个芯片上构成所谓的上构成所谓
2、的“单片智能传感器单片智能传感器”(2 2)传感器能够)传感器能够配微处理器配微处理器。显然,后者的定义范围更宽,但二者均属显然,后者的定义范围更宽,但二者均属于智能传感器的范畴。于智能传感器的范畴。2022-7-223(1)(1)具有自校零、自标定、自校正功能;具有自校零、自标定、自校正功能;(2)(2)具有自动补偿功能;具有自动补偿功能;(3)(3)能够自动采集数据,能够自动采集数据,并对数据进行预处理;并对数据进行预处理;(4)(4)能够自动进行检验、能够自动进行检验、自选量程、自选量程、自寻故障;自寻故障;(5)(5)具有数据存储、记忆与信息处理功能;具有数据存储、记忆与信息处理功能;
3、(6)(6)具有双向通讯、标准化数字输出或者符号输具有双向通讯、标准化数字输出或者符号输出功能出功能(7)(7)具有判断、决策处理功能。具有判断、决策处理功能。智能传感器的功能智能传感器的功能2022-7-224 关于智能传感器的中、英文称谓,目前也尚未关于智能传感器的中、英文称谓,目前也尚未统一。统一。“Intelligent Sensor”Intelligent Sensor”是英国人的称谓,是英国人的称谓,“Smart Sensor”Smart Sensor”是美国人的俗称。是美国人的俗称。对对“Smart Sensor”Smart Sensor”的中文译名有译为的中文译名有译为“灵巧灵
4、巧传感器传感器”的,的,也有译为也有译为“智能传感器智能传感器”的。的。2022-7-225智能传感器实现的途径智能传感器实现的途径 1 1、利用计算机、利用计算机 非集成化实现非集成化实现 集成化实现集成化实现2 2、利用特殊材料、利用特殊材料3 3、利用功能化几何结构、利用功能化几何结构2022-7-226 非集成化实现非集成化实现 非集成式智能传感器框图 2022-7-227 集成化实现集成化实现 集成智能传感器外形示意图集成智能传感器外形示意图 2022-7-2282022-7-229近几年来,人们提出了智能结构的概念,近几年来,人们提出了智能结构的概念,也就是将传感元件、致动元件以及
5、微处理也就是将传感元件、致动元件以及微处理器集成于基底材料中,使器集成于基底材料中,使材料或结构材料或结构具有具有自感知、自诊断、自适应的智能能力。智自感知、自诊断、自适应的智能能力。智能结构涉及到传感技术、控制技术、人工能结构涉及到传感技术、控制技术、人工智能、信息处理和材料学等多种学科与技智能、信息处理和材料学等多种学科与技术,是当今国内外竞相研究开发的跨世纪术,是当今国内外竞相研究开发的跨世纪前沿科技。前沿科技。利用特殊材料利用特殊材料利用功能化几何结构利用功能化几何结构2022-7-2210n2020世纪世纪5050年代提出智能结构年代提出智能结构n19741974年美国首次提出将压电
6、陶瓷嵌入复合材料制年美国首次提出将压电陶瓷嵌入复合材料制成构件成构件n进入进入8080年代末期以来年代末期以来,智能结构已经有了长足的进智能结构已经有了长足的进展(日本日立公司的机械手)展(日本日立公司的机械手)主要研究国家:美、日、德、英为代表的发达国家102022-7-2211n航天航空工程(威胁警报、智能机翼、噪声控制)n土木工程(智能混凝土结构、结构灾害反应控制系统、结构健康监测与诊断系统)n机器人2022-7-2212智能微尘传感器智能微尘传感器 智能微尘智能微尘(Smart Micro DustSmart Micro Dust)是一种具有电脑)是一种具有电脑功能的功能的超微型传感器
7、超微型传感器。从肉眼看来,它和一颗沙粒没。从肉眼看来,它和一颗沙粒没有多大区别。但内部却包含了从信息收集、信息处理有多大区别。但内部却包含了从信息收集、信息处理到信息发送所必需的全部部件。到信息发送所必需的全部部件。智能微尘还可以智能微尘还可以“永久永久”使用使用,因为它不仅自带微,因为它不仅自带微型薄膜电池,还有一个微型的太阳能电池为它充电。型薄膜电池,还有一个微型的太阳能电池为它充电。最近,美国英特尔公司制定了最近,美国英特尔公司制定了基于微型传感器网络的基于微型传感器网络的新型计算机的发展规划新型计算机的发展规划,也将致力于研究智能微尘传,也将致力于研究智能微尘传感器网络的工作。感器网络
8、的工作。2022-7-2213 目前,直径约为目前,直径约为5mm5mm的智能微尘已经问世,智能的智能微尘已经问世,智能微尘的外形及内部结构如图所示。未来的智能微尘甚微尘的外形及内部结构如图所示。未来的智能微尘甚至可以悬浮在空中几个小时,搜集、处理并无线发射至可以悬浮在空中几个小时,搜集、处理并无线发射信息。信息。a)肉眼所看到的智能微尘 b)智能微尘的内部结构智能微尘的外形及内部结构 2022-7-2214二、二、实现的功能实现的功能 1.1.复合敏感功能复合敏感功能 n周围的自然现象,常见的信号有声、光、电、周围的自然现象,常见的信号有声、光、电、热、力、化学等。智能传感器具有复合功能,热
9、、力、化学等。智能传感器具有复合功能,能够同时测量多种物理量和化学量,给出能能够同时测量多种物理量和化学量,给出能够较全面反映物质运动规律的信息。够较全面反映物质运动规律的信息。n美国加利弗尼亚大学研制的复合液体传感器,美国加利弗尼亚大学研制的复合液体传感器,可同时测量介质的温度、流速、压力和密度。可同时测量介质的温度、流速、压力和密度。美国美国EG&G IC SensorsEG&G IC Sensors公司研制的复合力学传公司研制的复合力学传感器,可同时测量物体某一点的三维振动加感器,可同时测量物体某一点的三维振动加速度、速度、位移,等等。速度、速度、位移,等等。2022-7-22152.2
10、.自补偿和计算功能自补偿和计算功能 n传统传感器没有从根本上解决传感器的传统传感器没有从根本上解决传感器的温度漂移和输出非线性的补偿工作。温度漂移和输出非线性的补偿工作。n智能传感器的自补偿和计算功能为传感智能传感器的自补偿和计算功能为传感器的温度漂移和非线性补偿开辟了新的器的温度漂移和非线性补偿开辟了新的道路。放宽传感器加工精密度要求,只道路。放宽传感器加工精密度要求,只要能保证传感器的重复性好,利用微处要能保证传感器的重复性好,利用微处理器对测试的信号通过软件计算,采用理器对测试的信号通过软件计算,采用多次拟合和差值计算方法对漂移和非线多次拟合和差值计算方法对漂移和非线性进行补偿,从而能获
11、得较精确的测量性进行补偿,从而能获得较精确的测量结果。结果。2022-7-22163.3.自检、自校、自诊断功能自检、自校、自诊断功能 n 普通传感器需要定期检验和标定,以保普通传感器需要定期检验和标定,以保证它在正常使用时足够的准确度,证它在正常使用时足够的准确度,n常规传感器常规传感器-从使用现场拆卸送到实验从使用现场拆卸送到实验室或检验部门进行。对于在线测量传感室或检验部门进行。对于在线测量传感器出现异常则不能及时诊断。器出现异常则不能及时诊断。n智能传感器智能传感器-首先自诊断功能在电源接首先自诊断功能在电源接通时进行自检,诊断测试以确定组件有通时进行自检,诊断测试以确定组件有无故障。
12、其次根据使用时间可以在线进无故障。其次根据使用时间可以在线进行校正,微处理器利用存在行校正,微处理器利用存在EPROMEPROM内的计内的计量特性数据进行对比校对。量特性数据进行对比校对。2022-7-2217自校零、自校零、自标定、自标定、自校正自校正系统的自校零与自校准功能充分利用了微控制系统的自校零与自校准功能充分利用了微控制器的功能,用软件和少量硬件,在软件程序的器的功能,用软件和少量硬件,在软件程序的导引下进行导引下进行三步测量法三步测量法,自动校准零点以及自,自动校准零点以及自动消除因零点、增益漂移而引入的系统误差,动消除因零点、增益漂移而引入的系统误差,从而提高系统的精度和稳定度
13、。采用这种智能从而提高系统的精度和稳定度。采用这种智能化技术,可以使低精度、低稳定度的测量系统化技术,可以使低精度、低稳定度的测量系统获得高精度的测量结果。测量精度仅决定于测获得高精度的测量结果。测量精度仅决定于测量标准。量标准。2022-7-2218量程的自动切换量程的自动切换也就是增益的自动选择,也就是增益的自动选择,要综合考虑被测量的数值范围,以及对要综合考虑被测量的数值范围,以及对测量精度、分辨率的要求诸因素来确定测量精度、分辨率的要求诸因素来确定增益增益(含衰减含衰减)档数的设定和确定切换档档数的设定和确定切换档的准则,这些都依具体问题而定。的准则,这些都依具体问题而定。我公司最近研
14、制出高精度小外型压力变送器,我公司最近研制出高精度小外型压力变送器,线路采用半导体薄膜工艺制作,线路采用半导体薄膜工艺制作,量程自选量程自选:0 020KPa20KPa60MPa60MPa,输出,输出4 420mA20mA,精度可,精度可达到达到0.10.1级,防爆等级:本安型,隔爆型。级,防爆等级:本安型,隔爆型。生产许可证,防爆等级证书齐全。本企业通生产许可证,防爆等级证书齐全。本企业通过了过了ISO9001ISO9001质量体系认证质量体系认证 2022-7-2219n4.4.信息存储和传输信息存储和传输 n智能集散控制系统智能集散控制系统(Smart Distributed(Smart
15、 Distributed System)System)的飞速发展,对智能单元要求具的飞速发展,对智能单元要求具备通信功能,用通信网络以数字形式进备通信功能,用通信网络以数字形式进行双向通信,这也是智能传感器关键标行双向通信,这也是智能传感器关键标志之一。志之一。n智能传感器通过测试数据传输或接收指智能传感器通过测试数据传输或接收指令来实现各项功能。如增益的设置、补令来实现各项功能。如增益的设置、补偿参数的设置、内检参数设置、测试数偿参数的设置、内检参数设置、测试数据输出等。据输出等。2022-7-2220三、智能传感器三、智能传感器的发展的发展n1 1、最初是由美国宇航局、最初是由美国宇航局1
16、9781978年在开发出来的年在开发出来的产品。宇宙飞船上需要大量的传感器不断向地产品。宇宙飞船上需要大量的传感器不断向地面发送温度、位置、速度和姿态等数据信息,面发送温度、位置、速度和姿态等数据信息,用一台大型计算机很难同时处理如此庞杂的数用一台大型计算机很难同时处理如此庞杂的数据,于是提出把据,于是提出把CPUCPU分散化,从而产生出智能分散化,从而产生出智能化传感器。化传感器。2 2、19831983年美国年美国HoneywellHoneywell公司首次推公司首次推出用于过程工业的智能压力传感器出用于过程工业的智能压力传感器-ST3000ST3000系列智能压力传感器。它具有系列智能压
17、力传感器。它具有的多参数传感的多参数传感(差压、静压和温度差压、静压和温度)与与智能化的信号调理功能智能化的信号调理功能 。2022-7-2221n3 3、半导体技术的迅速发展,使微控制器、半导体技术的迅速发展,使微控制器的功能不断升级,价格不断下降,从而引的功能不断升级,价格不断下降,从而引起工业传感器设计的革命。起工业传感器设计的革命。n带微控制器的智能激光传感器可实现带微控制器的智能激光传感器可实现3mm3mm的分辨率。的分辨率。n带有带有1616位微控制器的光纤传感器可实现位微控制器的光纤传感器可实现1212比特的比特的A/DA/D分辨率分辨率 n彩色条码检测装置至少能检测彩色条码检测
18、装置至少能检测1616个灰度等个灰度等级级 2022-7-2222n4 4、嵌入智能增加了设计的灵活性,缩短、嵌入智能增加了设计的灵活性,缩短了完成周期,降低了开发新应用的成本。了完成周期,降低了开发新应用的成本。n设计工程师只用一个传感器通过改变或重设计工程师只用一个传感器通过改变或重新编程微控制器,或者通过升级软件的方新编程微控制器,或者通过升级软件的方法就能满足许多检测的需要。法就能满足许多检测的需要。2022-7-2223四、智能传感器四、智能传感器的特点的特点性能指标1.精度高 2.高可靠性与高稳定性 3.高信噪比与高的分辨力 4.强的自适应性 5.低的价格性能比 2022-7-22
19、24现代现代智能智能传感器技术传感器技术,是指以硅材料为基是指以硅材料为基础础(优良的电性能优良的电性能,又有极好的机械性能又有极好的机械性能),),采用微米级的微机械加工技术和大规模集采用微米级的微机械加工技术和大规模集成电路工艺来实现,特点是成电路工艺来实现,特点是:1.1.微型化微型化微型压力传感器已经可以小到放在注射针微型压力传感器已经可以小到放在注射针头内送进血管测量血液流动情况头内送进血管测量血液流动情况,装在飞装在飞机或发动机叶片表面用以测量气体的流速机或发动机叶片表面用以测量气体的流速和压力和压力.美国最近研究成功的微型加速度美国最近研究成功的微型加速度计可以使火箭或飞船的制导
20、系统质量从几计可以使火箭或飞船的制导系统质量从几公斤下降至几克公斤下降至几克.2022-7-22252.2.结构一体化结构一体化压阻式压力压阻式压力(差差)传感器是最早实现一体化传感器是最早实现一体化结构的结构的.传统在金属杯的圆膜片上粘贴电阻变换器传统在金属杯的圆膜片上粘贴电阻变换器(应变片应变片)而构成压力而构成压力(差差)传感器传感器,这就不这就不可避免地存在蠕变可避免地存在蠕变,迟滞迟滞,非线性特性非线性特性.采用微机械加工和集成化工艺采用微机械加工和集成化工艺,不仅不仅 硅杯硅杯 一次整体成型一次整体成型,而且电阻变换器与硅杯是而且电阻变换器与硅杯是完全一体化的完全一体化的.进而可在
21、硅杯非受力区制进而可在硅杯非受力区制作调理电路作调理电路,微处理器单元微处理器单元,甚至微执行器甚至微执行器,从而实现不同程度的从而实现不同程度的,乃至整个系统的一乃至整个系统的一体化体化.2022-7-22263.3.精度高精度高比起分体结构比起分体结构,传感器结构本身一体化后传感器结构本身一体化后,迟滞迟滞,重复性指标将大大改善重复性指标将大大改善,时间漂移大大减小时间漂移大大减小,精度提高精度提高.后续的信号调理电路与敏感元件一体化后后续的信号调理电路与敏感元件一体化后可以大大减小由引线长度带来的寄生参可以大大减小由引线长度带来的寄生参量的影响量的影响,这对电容式传感器更有特别这对电容式
22、传感器更有特别重要的意义重要的意义.2022-7-2227n4.4.多功能多功能微米级敏感元件结构的实现特别有利于在同一微米级敏感元件结构的实现特别有利于在同一硅片上制作不同功能的多个传感器硅片上制作不同功能的多个传感器,如如,美国霍美国霍尼韦尔公司尼韦尔公司,80,80 年代初期生产的年代初期生产的ST-3000ST-3000型智型智能压力能压力(差差)和温度变送器和温度变送器,就是在一块硅片上就是在一块硅片上制作了感受压力制作了感受压力,压差及温度三个参量的压差及温度三个参量的,具具有三种功能有三种功能(可测压力可测压力,压差压差,温度温度)的敏感元的敏感元件结构的传感器件结构的传感器.不
23、仅增加了传感器的功能不仅增加了传感器的功能,而且可以通过采用数据融合技术消除交叉灵敏而且可以通过采用数据融合技术消除交叉灵敏度的影响度的影响,提高传感器的稳定性与精度提高传感器的稳定性与精度 2022-7-2228n5.5.阵列式阵列式微米技术已经可以在一平方厘米大小的微米技术已经可以在一平方厘米大小的硅芯片上制作含有几千个压力传感器阵硅芯片上制作含有几千个压力传感器阵列列,譬如譬如,丰田中央研究所半导体研究室丰田中央研究所半导体研究室用微机械加工技术制作的集成化应变计用微机械加工技术制作的集成化应变计式面阵触觉传感器式面阵触觉传感器,在在8 mm8 mm8 mm8 mm的硅的硅片上制作了片上
24、制作了1 0241 024个个(32(3232)32)敏感触点敏感触点(桥桥),),基片四周还制作了信号处理电路基片四周还制作了信号处理电路,其元件总数约其元件总数约16 00016 000个个.2022-7-2229五、新一代汽车智能传感器五、新一代汽车智能传感器 汽车智能传感器也必然成为智能车先进系统的汽车智能传感器也必然成为智能车先进系统的“神经末梢神经末梢”,为中央处理器提供必需的感知,为中央处理器提供必需的感知信息,汽车动力性能、操控性能、安全性能和信息,汽车动力性能、操控性能、安全性能和舒适性能等各个方面舒适性能等各个方面 。n发动机管理系统发动机管理系统n底盘与传动系统底盘与传动
25、系统n安全系统安全系统n车身电子系统车身电子系统n空调环境系统空调环境系统2022-7-2230汽车应用相关的传感器除光照度、图像传感器和汽车应用相关的传感器除光照度、图像传感器和主动探测的超声波、微波、毫米波雷达外,还包主动探测的超声波、微波、毫米波雷达外,还包括压力、液位、流量、位置、高度、距离、速度、括压力、液位、流量、位置、高度、距离、速度、转速、转矩、加速度、温度、湿度、气体浓度等转速、转矩、加速度、温度、湿度、气体浓度等传感器,以及适合汽车总线的传感器,以及适合汽车总线的CANCAN总线式智能传感总线式智能传感器器。应用非接触的位置测量、磁阻、磁变、霍尔效应、应用非接触的位置测量、
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