物联网概论第三章-物联网技术基础课件.ppt
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1、物联网概论物联网概论第三章第三章 物联网技术基础物联网技术基础 2 目目 录录3.1 传感器技术传感器技术 3.2 MEMS技术技术 3.3 无线传感器网络无线传感器网络 3.4 无线网络技术无线网络技术 3.5 自动识别技术自动识别技术 3.6 条形码技术条形码技术 3.7 定位技术定位技术 33.1传感器技术传感器技术传感器和人们的日常生活密切相关传感器具有的社会意义传感器具有的社会意义传感器在经济建设中占据重要地位43.1传感器技术传感器技术 尽管21世纪的人们并没有实现科幻小说中的某些预言。然而更为奇妙的场景很快便会成为现实:只需一台电脑,一切尽在掌控之中。你可以一边从个人pc中调控欣
2、赏在平面电视上播放的影片,一边控制烤箱的温度,等待享受美味的下午茶,同时密切地监控与了解一切需要关注的信息:工作室里机器的运行,实验室里研究的进度,家中饮用水的成分和空气中或许可能出现有毒物质的示警,酒窖里不同位置的温度与湿度,私家公路的灯光调控,各类仪表的数据变更不会再有过火而败味的美食,更不会有小鬼当家中入室的匪徒,火灾和毒气泄漏都将最大程度地被防止,博物馆的馆长则不再担惊受怕地忧虑古董名画的命运。53.1传感器技术传感器技术 传感器的定义传感器的定义传感器的组成传感器的组成 传感器的分类传感器的分类 传感器的应用传感器的应用 63.1.1传感器的定义传感器的定义 传感器(传感器(Sens
3、orSensor)的定义:)的定义:能感知外界信息并能按一定规能感知外界信息并能按一定规律将这些信息转换成可用信号的装置。律将这些信息转换成可用信号的装置。传感器的组成:传感器的组成:由敏感元器件(感知元件)和转换器件两由敏感元器件(感知元件)和转换器件两部分组成。部分组成。半导体敏感元器件可以直接输出电半导体敏感元器件可以直接输出电信号,本身就构成传感器!信号,本身就构成传感器!73.1.1传感器的定义传感器的定义物理类:基于力、热、光、电、磁和声等物理类:基于力、热、光、电、磁和声等物理效应物理效应。化学类:基于化学类:基于化学反应化学反应的原理。的原理。生物类生物类:基于基于酶酶、抗体和
4、激素等分子识别功能。、抗体和激素等分子识别功能。敏感元器件品种敏感元器件品种83.1.1传感器的定义传感器的定义 索诺马溪谷,气温急剧上升。但这家位于吉克庄园的索诺马溪谷,气温急剧上升。但这家位于吉克庄园的葡萄酒商正在通过每棵葡萄树上的小型无线葡萄酒商正在通过每棵葡萄树上的小型无线ZigbeeZigbee传感器传感器密切地监控自己的田地。这些一枚硬币大小的机器可以跟密切地监控自己的田地。这些一枚硬币大小的机器可以跟踪土壤的温度和营养成分等数据。它们利用卫星无线发射踪土壤的温度和营养成分等数据。它们利用卫星无线发射机相连接。机相连接。商业周刊商业周刊93.1.1传感器的定义传感器的定义 光化学传
5、感器是近年发展起来的一种新型微量和痕量分析技术,光化学传感器是近年发展起来的一种新型微量和痕量分析技术,它是把特定的化学物质的种类和浓度变成电信号来表示的功能元件。它是把特定的化学物质的种类和浓度变成电信号来表示的功能元件。主要是利用光敏感材料与被测物质中的分子、主要是利用光敏感材料与被测物质中的分子、离子或生物物质相互离子或生物物质相互接触时直接或间接地引起电极电势等电信号的变化接触时直接或间接地引起电极电势等电信号的变化 ,使得很少的化学使得很少的化学物质加入体系后物质加入体系后 ,会有放大了许多倍的信号被检出会有放大了许多倍的信号被检出 ,借此可以获得某借此可以获得某种化学物质的浓度。目
6、前种化学物质的浓度。目前 ,化学传感器的研究受到了广泛的关注化学传感器的研究受到了广泛的关注 ,由由于其具有灵敏度非常高于其具有灵敏度非常高 ,选择性好选择性好 ,携带方便携带方便 ,易微型化易微型化 ,能用于现能用于现场分析和监控等特点场分析和监控等特点 ,因此在矿山开发、因此在矿山开发、石油化工、石油化工、生物医学及日生物医学及日常生活中越来越多的被用来作为易燃常生活中越来越多的被用来作为易燃 ,易爆易爆 ,有毒有毒 ,有害气体的检测有害气体的检测预报和自动控制装置预报和自动控制装置 ,或用来测定多种含量极低的物质或用来测定多种含量极低的物质 ,甚至可以测甚至可以测量细胞中的离子浓度。医学
7、上采用化学传感器作病情诊断及治疗过程量细胞中的离子浓度。医学上采用化学传感器作病情诊断及治疗过程的自动控制。的自动控制。103.1.1传感器的定义传感器的定义 日本制成多功能生物传感器,它能测定血液和尿中的各种物日本制成多功能生物传感器,它能测定血液和尿中的各种物质,如糖、蛋白质和胆固醇等。英国科学家研制一种如同一支钢笔质,如糖、蛋白质和胆固醇等。英国科学家研制一种如同一支钢笔大小的酶传感器。它可在瞬间测出汽车驾驶员血液中的酒精含量,大小的酶传感器。它可在瞬间测出汽车驾驶员血液中的酒精含量,从而大大方便了警察的执法。日本九州大学的科研人员研制出比人从而大大方便了警察的执法。日本九州大学的科研人
8、员研制出比人的舌头还要灵敏的舌头还要灵敏1010倍的味觉传感器。利用传感器产生不同的电位差,倍的味觉传感器。利用传感器产生不同的电位差,从电位差的变化可了解产生味道的浓度。从电位差的变化可了解产生味道的浓度。113.1.2 传感器的组成传感器的组成传感器一般由敏感元件、转换元件、基本转换电路和辅助电源等组成传感器一般由敏感元件、转换元件、基本转换电路和辅助电源等组成123.1.2 传感器的组成传感器的组成敏感元件:直接感受被测量,并输出与被测量成确定关系的某一物理量的元件。转换元件:敏感元件的输出就是它的输入,把输入转换成电路参量。基本转换电路:上述电路参数接入基本转换电路(简称转换电路),便
9、可转换成电量输出。133.1.2 传感器的分类传感器的分类 物理传感器:物理传感器:应用的是物理效应,诸如应用的是物理效应,诸如压电效应,磁致伸缩现象,离化、极化、压电效应,磁致伸缩现象,离化、极化、热电、光电、磁电等效应。被测信号量热电、光电、磁电等效应。被测信号量的微小变化都将转换成电信号。的微小变化都将转换成电信号。化学传感器:化学传感器:包括那些以化学吸附、电包括那些以化学吸附、电化学反应等现象为因果关系的传感器,化学反应等现象为因果关系的传感器,被测信号量的微小变化也将转换成电信被测信号量的微小变化也将转换成电信号。号。根据传感根据传感器的工具器的工具原理划分原理划分143.1.3
10、传感器的分类传感器的分类 根据传感根据传感器的用途器的用途划分划分压敏和力敏传感器、位置传感器、液面压敏和力敏传感器、位置传感器、液面传感器、能耗传感器、速度传感器、加传感器、能耗传感器、速度传感器、加速度传感器、辐射传感器、热敏传感器速度传感器、辐射传感器、热敏传感器等。等。根据传感根据传感器的原理器的原理划分划分振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、振动传感器、湿敏传感器、磁敏传感器、气敏传感器、真空度传感器、生物传感气敏传感器、真空度传感器、生物传感器等。器等。153.1.3 传感器的分类传感器的分类 根据输出根据输出的信号的信号膺数字传感器膺数字传感器:将被测量的信号量转换成将被测量的信
11、号量转换成频率信号或短周期信号的输出(包括直频率信号或短周期信号的输出(包括直接或间接转换)。接或间接转换)。模拟传感器模拟传感器:将被测量的非电学量转换成将被测量的非电学量转换成模拟电信号。模拟电信号。开关传感器开关传感器:当一个被测量的信号达到某当一个被测量的信号达到某个特定的阈值时,传感器相应地输出一个特定的阈值时,传感器相应地输出一个设定的低电平或高电平信号。个设定的低电平或高电平信号。数字传感器数字传感器:将被测量的非电学量转换成将被测量的非电学量转换成数字输出信号。数字输出信号。163.1.4 传感器的应用传感器的应用在现代工业上的应用在现代工业上的应用 现代工业生产尤其是自动化生
12、产过程中,要用各种传现代工业生产尤其是自动化生产过程中,要用各种传感器来监视和控制生产过程中的各种参数,使设备工作在感器来监视和控制生产过程中的各种参数,使设备工作在最佳或正常状态,并使产品达到质量要求。最佳或正常状态,并使产品达到质量要求。钢铁企业应用各种传感器和通信网络,在生产过程中钢铁企业应用各种传感器和通信网络,在生产过程中实现对加工产品的宽度、厚度、温度的实时监控,从而提实现对加工产品的宽度、厚度、温度的实时监控,从而提高了产品质量,优化了生产流程。高了产品质量,优化了生产流程。173.1.4 传感器的应用传感器的应用在家用电器领域的应用在家用电器领域的应用 如全自动洗衣机、电饭煲和
13、微波炉等都离不开传感器。如全自动洗衣机、电饭煲和微波炉等都离不开传感器。医疗卫生领域,电子脉博仪、体温计、医用呼吸机、超声医疗卫生领域,电子脉博仪、体温计、医用呼吸机、超声波诊断仪、断层扫描(波诊断仪、断层扫描(CTCT)及核磁共振诊断设备等,都大)及核磁共振诊断设备等,都大量地使用了各种各样的传感技术。量地使用了各种各样的传感技术。温度传感器广泛应用于室内空调、电冰箱和微波炉等温度传感器广泛应用于室内空调、电冰箱和微波炉等家用电器中,它是利用热敏电阻的阻值随温度变化而变化家用电器中,它是利用热敏电阻的阻值随温度变化而变化的特性工作的的特性工作的.183.1.4 传感器的应用传感器的应用在军事
14、国防领域的应用在军事国防领域的应用 在军事国防领域,各种侦测设备,红外夜视探测,雷在军事国防领域,各种侦测设备,红外夜视探测,雷达跟踪、武器精确制导等,没有传感器是难以实现的。达跟踪、武器精确制导等,没有传感器是难以实现的。目前每架军用飞机需目前每架军用飞机需 20 20 多种力学量的传感器,对操多种力学量的传感器,对操纵杆拉力、起落着陆冲击力、发动机的推动力、救生装置纵杆拉力、起落着陆冲击力、发动机的推动力、救生装置弹射力、进气管压力场分布及动态中各种压力、振动、加弹射力、进气管压力场分布及动态中各种压力、振动、加速度、角加速度、位移等参量的测量,还要对过载和燃油速度、角加速度、位移等参量的
15、测量,还要对过载和燃油密度及飞行员呼吸的流量等参数的测量,检测机舱内含氧密度及飞行员呼吸的流量等参数的测量,检测机舱内含氧量、舱内烟雾报警、机载火控系统的设计、隐型用传感器量、舱内烟雾报警、机载火控系统的设计、隐型用传感器等。等。193.1.4 传感器的应用传感器的应用在航天领域的应用在航天领域的应用 在航空航天领域,空中管制、导航、飞机的飞行管理在航空航天领域,空中管制、导航、飞机的飞行管理和自动驾驶着陆系统等,都需要大量的传感器。人造卫星和自动驾驶着陆系统等,都需要大量的传感器。人造卫星的遥感遥测等都与传感器紧密相关。的遥感遥测等都与传感器紧密相关。“阿波罗阿波罗10”的运载火箭部分,检测
16、加速度、声学、的运载火箭部分,检测加速度、声学、温度、压力、振动、流量、应变等参数的传感器共有温度、压力、振动、流量、应变等参数的传感器共有2077个,宇宙飞船部分共有各种传感器个,宇宙飞船部分共有各种传感器1218个。个。203.2 MEMS技术技术 l MEMSMEMS的基本概念的基本概念 l MEMSMEMS技术的特点技术的特点l MEMSMEMS技术的起源技术的起源l MEMSMEMS的制造工艺的制造工艺 l MEMSMEMS的加工材料的加工材料l MEMSMEMS的分类与应用的分类与应用 l MEMSMEMS的发展前景的发展前景 213.2.1 MEMS的基本概念的基本概念MEMSM
17、EMSMicro Electromechanical Micro Electromechanical SystemSystem,微机电系统,微机电系统MEMSMEMS是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、是指集微型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。223.2.1 MEMS的基本概念的基本概念这种微电子机械系统不仅能采集、处理与发送信息或指令,这种微电子机械系统不仅能采集、处理与发送信息或指令,还能按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行还能按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动动 。2
18、33.2.2 MEMS的基本概念的基本概念微型化微型化 MEMSMEMS的基本特点的基本特点低能耗、灵敏度和工作效率高低能耗、灵敏度和工作效率高 以硅为主要原料以硅为主要原料 可批量生产可批量生产 集成化集成化 学科上的交叉学科上的交叉 应用上的高度与广泛应用上的高度与广泛 243.2.3 MEMS的起源的起源半导体传感器半导体传感器微型传感器微型传感器微机械加工技术微机械加工技术微执行器微执行器253.2.4MEMS的制造工艺的制造工艺微米/纳米技术包括了从亚毫米到亚微米范围内的材料工艺和装置的加工制造和综合集成。微米制造技术包括对微米材料的加工和制造。它的制造工艺包括光刻、刻蚀、淀积外延生
19、长、扩散、离子注入、测试、监测与封装。纳米制造技术和工艺除了包括微米制造的一些技术(如离子束光刻等与工艺外,还包括为了利用材料的本质特性而对材料进行分子和原子量级的加工与排列技术和工艺等。263.2.5 MEMS的加工材料的加工材料MEMS技术采用的材料一般可分为衬底材料和附加材料两类。目前微机械加工采用的衬底材料以硅为主。衬底材料则可以是其他非半导体材料,包括金属、玻璃、石英、其他晶态绝缘体、陶瓷、塑料、高聚物以及其他有机和无机材料。273.2.6 MEMS器件的分类与应用器件的分类与应用力学换能器热学换能器光学换能器电磁学换能器化学与生物传感器及微流体器件28力学换能器力学换能器分为:力学
20、传感器、力学执行器和机械电路元件3种。力学传感器:1速度2压力3应变4声音5触觉 29力学换能器力学换能器力学执行器:根据实际采用的原理,力学执行器可分为静电式、热学式和压电式30力学换能器力学换能器机械电路元件:包括采用微机械加工的方法制作的谐振器、通用继电器和射频开关等。31光学换能器光学换能器光学换能器可分为传感器和执行器两类。传感器的种类很多主要是采用微机械加工技术制作的半导体光学传感器和传感器阵列(如CCD 器件-Charge-coupled Device,电荷耦合元件。可称CCD图像传感器,是一种半导体器件,能把光学影像转化为数字信号。CCD上植入微光敏物质称作像素(Pixel)。
21、一块CCD上包含的像素数越多,其提供的画面分辨率也就越高。CCD的作用如胶片,但它是把图像像素转换成数字信号)。具体采用的效应有光电效应、光伏效应、光倒效应和热电效应等。光学执行器光学执行器-早期是微型发光器及其阵早期是微型发光器及其阵列(包括列(包括LEDLED、激光、激光LEDLED、等离子光源、等离子光源、荧光光源)和液晶显示阵列。荧光光源)和液晶显示阵列。33热学换能器热学换能器热学换能器也分为传感器和执行器。传感器主要有热电阻、热电偶原理和PN结效应制作的多种微型温度传感器、微型露点传感器、微型热量计等。执行器有制冷器和Peltier效应(两种不同的金属构成闭合回路,当回路中存在直流
22、电流时,两个接头之间将产生温差。这就是Peltier效应),是法国科学家珀尔帖于1834年发现的)热泵等。34电磁学换能器电磁学换能器(1)磁传感器:包括霍尔效应传感器、磁敏电阻式传感器、真空电子式磁传感、磁通门式磁力计、隧道式磁力计和超导量子干涉磁力计等。(2)电磁执行器:目前已有采用磁致伸缩原理和传统电机驱动原理制作的执行器。为了能在微结构中产生磁场,可采用制作永磁薄膜和微型线圈的办法。35化学与生物传感器及微流体器件化学与生物传感器及微流体器件化学和生物传感器主要用在医学诊断、植入式检测、环境监测和食品工艺检测等方面,基本还处在研究阶段。除了与宏观化学和生物传感器对应的微观器件外,这类传
23、感器还包括基因芯片及各种可与生物神经系统接口的微电极阵列等。36微流体器件微流体器件(1)流体传感器 包括检测流量、流速、密度和粘滞性等物理量的传感器。(2)阀 微型阀根据有无动力执行机构可分为有源和无源两类。有源阀的开关动作执行机构可采用热膨胀、气动、压电静电和电磁等原理。(3)泵 微流体泵可实现的功能有输送反应物或悬浮颗粒、产生压力差、使冷却水循环、产生推进力等。(4)流体通道 流体通道是微流体系统的基本构件,可以采用包括硅在内的多种材料,采用的方法是体或表面微机械加工技术。(5)集成的化学分析系统 这类实例包括气体和液体的色彩分析系统、细胞融合装置以及DNA放大分析系统等。373.2.7
24、 MEMS发展前景发展前景 与应用领域与应用领域 MEMS MEMS技术也正发展成为一个巨大的产业,多数工业观技术也正发展成为一个巨大的产业,多数工业观察家预测,未来察家预测,未来5 5年年MEMSMEMS器件的销售额将呈迅速增长之势,器件的销售额将呈迅速增长之势,年平均增长率约为年平均增长率约为18%18%,因此对机械电子工程、精密机械及,因此对机械电子工程、精密机械及仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻仪器、半导体物理等学科的发展提供了极好的机遇和严峻的挑战。的挑战。38MEMS的应用领域的应用领域(1)航空航天在飞机和载人航天器上应用的各种传感器数量很大,若采用微型集成传感
25、器,体积、质量、耗电功率将减少很多,对航天器来说,仪表系统的体积质量减少后,运载效益将非常可观。MEMS技术首先将促进航天器内传感器的微型化,使之节能、降低成本和大幅度提高系统可靠性。微型卫星和小卫星就是这一领域的成果。39MEMS的应用领域的应用领域(2)医药卫生应用于生物医学领域的微机电系统,通常称为生物微机电系统(BioMEMS)。传统上把在数平方厘米大小的硅片等材料上加工出的应用于生化分析的生物微机电系统称为生物芯片(BioChip)以生物芯片为核心的微全分析系统(Micro Total Analysis Systems,MTAS)是微机电系统当前的研究热点之一。由于具有效率高、成本低
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